节元件，因此可以增加其可以输运的热通量，而保持弯曲强度不变。
[0089]在该实施例中，也在以下说明书的实施例中，基底板12可以提供有附加装置，比如冷却鳍或冷却通道，以能够更好地将从反射镜吸收的热量散发。附加或者替换地，基底板可以热耦合到热沉。
[0090]根据图2的反射镜单元110的实施例对于功能相同的部件使用如图1中的附图标记并增加100，这也相应地应用于其他的实施例中。
[0091]与根据图1的板簧18相比，根据图2的板簧118在旋转轴24的方向上具有更小的宽度130。为了保证由板簧118形成的固态关节所需要的稳定性，板簧118的数目与根据图1的板簧18的数目相比明显增加。五个相邻布置的组在旋转轴24的每侧延伸，每个组具有相互平行排列的四个板簧118。与图1所示的实施例相比，板簧118的总截面进一步增加且因此其可输运的热通量进一步增加，而没有由此明显改变弯曲强度。
[0092]图3示意性地示出反射镜单元210，其包括基底板212、立方反射镜214和弯曲元件232，弯曲元件232设计为压电移动传感器。通过施加电势到弯曲元件232的电极(未示出)，可以产生反射镜214从中性位置(未示出)的偏移，到如图3所示的偏移位置。从而，弯曲元件232可以诱发反射镜214的足够大的旋转角度，其具有相对于反射镜214的范围的足够小的截面部分。由于该截面部分，仅一部分在反射镜214中的辐射吸收所释放的热量被散发到基底212中。
[0093]为了避免反射镜214的过热，反射镜单元具有金属丝234，金属丝234的第一端热传导地连接到反射镜214 (优选在周边附近)且其第二端热传导地连接到基底板212。金属丝234使得来自反射镜214的热量散发到基底板212。金属丝234的直径小以使得它们具有高的柔韧性，即可忽略的弹性属性。因此，金属丝234仅以小量的阻力来对抗反射镜214的旋转移动，该小量的阻力可以容易地通过弯曲元件232被克服。为了改善到反射镜213和基底板212的热耦合，在该实施例中，金属丝234被紧固在金属条235上，金属条235继而被分别平地安装在反射镜213上和基底板212上。
[0094]替代诸如铜、银或金的金属，可以使用硅、硅化合物(特别是碳化硅)或碳作为细丝热传导元件。热传导元件也可以为带的形式并具有其他截面，只要能够保证足够的柔韧性。
[0095]在根据图4的反射镜单元310中，反射镜314被安装以使得其可以经由球形分段形式的支撑元件336通过旋转而被移动，该支撑元件336被保持在支撑块338的球形帽形凹陷中。作为相对于基底板312控制反射镜314的装置，条340、342被设置为以梳状方式相互接合，且分别紧固在基底板312上和反射镜314上，且被分成(没有示出)四个圆形象限，每个象限具有约90度的角度。如果旋转可以仅绕一个旋转轴发生，那么条340、342可以为圆柱壁分段的形式，如图4所示。在旋转可以绕两个正交轴发生的情况下，条340、342应该非常短或者相对于旋转轴不具有弯曲。
[0096]条340、342分别配备有电绝缘涂层(未示出)，从而静电驱动可以通过施加不同电势到布置在象限中的条340、342而形成。通过改变施加的电势，这种驱动允许反射镜绕相互垂直的两个旋转轴作旋转移动。条340、342也具有将通过从反射镜314的辐射吸收所释放的热量传递到基底板312的功能。
[0097]在图4所示的实施例中，旋转仅绕一个旋转轴发生，条340、342可以接触而无论反射镜314的排列如何，从而它们可以从一个条340到相邻的条342直接传递热量，即，经由固体中的热传导。由于多个相对小的条340、342，可以获得用于热传递的大的表面积。然而，通常在条340、342之间仍保留宽度小于反射镜214的反射表面的最大尺寸的1/10的狭窄间隙。热传递则通过包含在间隙中的气体分子发生。假设充分小的间隙宽度，大的热通量是可能的，即使当气体压强非常低时，如在EUV照明系统中的情况。条沿着彼此掠过而没有接触的优点主要是避免摩擦损失，否则摩擦损失将造成更高的控制力和相应更多的精细驱动。
[0098]具有两个反射镜414的反射镜单元410，如图5所示，具有与如图3所示的反射镜单元210相类似的结构。与根据图3所示的反射镜单元210相反，在根据图5的反射镜单元410中提供反射镜414下侧的流体冷却。为了防止冷却剂跑到位于反射镜414上方的辐照空间中，反射镜414周边区域分别连接到柔性密封元件444，该元件444被紧固在相邻的反射镜414上或壁区域446上。由薄壁金属箔制成的密封元件444允许反射镜414的相互相对移动，并且与反射镜414和基底板一起限定了封闭的体积部分445，冷却剂可以在该体积部分445中流动。体积部分也可以一次性填充冷却剂，冷却剂将永久或在很长时期内保留在那里。
[0099]冷却剂可以是液体，例如水银、水或镓铟锡。为了增加热传导率，也可以添加金属颗粒到该液体中。
[0100]然而，也可以构想使用气体作为冷却剂。密封元件444则将在体积部分445中处于高压的气体冷却剂与填充密封元件444的另一侧的体积的保护气体(其特别在EUV系统中处于非常低的压强)隔离。从而反射镜414上的力和尤其在密封元件444的力不会变得太大，然而，邻近于密封元件444的两种气体之间的压强差应该不会太大。因为气体的热传导率在低压时大约随着压强线性增加，即使将压强增加10的一次或二次幂就足以显著增加热传导率。
[0101]气体冷却剂的使用是有利的，这是因为流动或静态的气体比液体容易控制。此外，当倾斜反射镜414时，气体冷却剂产生较小的摩擦损失。另一方面，液体冷却剂通常具有更好的热传导属性。
[0102]根据图6的反射镜单元510包括设计为槽的形式的支撑元件548以及提供为将拉力施加在反射镜514上的柔性金属伸缩管552，在支撑元件548中布置相互平行排列并且在反射镜514的条状延伸的表面上接合的两个压电控制器550，两个压电控制器550彼此背对。反射镜514的下侧和支撑元件548的对应滑动表面分别设计为圆柱分段的形式并允许反射镜514在根据图6的图面中旋转。旋转移动通过将电势施加到压电控制器550而被诱发，压电控制器的纵向范围可以根据所施加的电势在所示箭头的方向上被改变，从而相应的力矩施加在反射镜514上。
[0103]在所示的反射镜514的中性设置中，金属伸缩管552在轴方向上向下施加应力，并因此将反射镜514拖进支撑元件548中。由于金属伸缩管552的设计，其可以在根据图6的表示的面中共同进行反射镜514的旋转移动，因而不会积累不期望的高的恢复力。金属伸缩管552可以通过液体密封管(未示出)以施加预应力的流体填充，从而金属伸缩管552的预应力被中和且压力可以施加在反射镜514上。这导致反射镜514和支撑元件548中在图中清晰可见的移动间隙554。当存在移动间隙的情况下进行控制移动时，可以进行反射镜514的实质上无摩擦的调节。在控制移动结束后，金属伸缩管552的增压被减小从而反射镜回到抵靠在支撑元件548上以传递热量。
[0104]移动间隙554优选填充有液体或糊状体(未示出)，例如电流变或磁流变液体、热传导糊状体、真空脂或油，以改善反射镜514和支撑元件548之间的热传递。液体补偿表面粗糙和安装失配，并因此避免仅通过气体内含物能够发生的热传递。为了相同的目的，反射镜514和支撑元件548的相对表面可以由软的但热传导的材料制成，例如铟、铝或铜，或者提供有由这样的材料构成的镶嵌。以DLC(类金刚石碳)的涂层也具有对可获得的散热的有利效果。
[0105]图7所示的反射镜单元610具有与图4所示的反射镜单元310类似的结构。然而，形状类似球形套筒的条640、642仅用于反射镜614和基底板612之间的热传递。布置为形成正方形的四个弯曲元件632的阵列提供为控制装置，其允许反射镜614在两个相互垂直的空间方向上作旋转移动。横向壁区域646布置在基底板612上，与基底板612和反射镜614 一起限定流体空间656，冷却剂可以通过该流体空间656供应，冷却剂例如为诸如氢气的冷却气体或诸如水银、镓铟锡或水的液体。为了供应并释放冷却剂，连接密封管658布置在基底板612中。抽吸密封管660也提供在反射镜614之上的壁区域646中，其能够抽吸可能从流体空间656通过密封间隙654跑出并且可以导致反射镜614附近的光学属性退化的冷却剂。
[0106]在根据图8的反射镜单兀710中，两个折叠伸缩管762布置在反射镜714和基底板712之间，两个折叠伸缩管762填充有液体冷却剂并因此改善反射镜714和基底板712之间的热传递。用于旋转反射镜714的弯曲元件732配备有通孔764，其允许两个折叠伸缩管762之间的流体传递。
[0107]替代通孔764，也可以为流体交换的目的提供延伸通过反射镜714的通道766，如图8中的虚线所示。在另一个变型中，冷却剂在折叠伸缩管762中循环，以允许更好的散热。为此，折叠伸缩管762应该提供有用于冷却剂的入口和出口密封管(未示出)。
[0108]两个分离的折叠伸缩管862提供在根据图9的反射镜单元810中，其可以分别通过分配的液体密封管866提供有增压流体。每个液体密封管866分配有电磁线性马达868，其包括线圈872和在液体密封管866中保持线性移动的永磁体870，线圈872与永磁体870同轴布置并且电压可以施加到线圈872。因为折叠伸缩管862和所相应分配的液体密封管866中的流体体积是封闭的，所以永磁体870的平移移动导致液体密封管866中的体积变化，这会通过折叠伸缩管862中的相反体积变化补偿。在折叠伸缩管862之一中的体积变化导致反射镜814的倾斜。
[0109]如图10至12所示的反射镜单元910包括基底板912，在基底板912上布置总共九个倾斜驱动器974，其允许分配的反射镜914在两个相互正交的空间方向上倾斜。在基底板912之下，布置由具有高热传导率的材料制成的热沉976，其具有用于冷却剂的流动通道978。每个倾斜驱动器974具有四个超声传感器980，其分别具有正方形截面并被分组，从而除了保留在相邻超声传感器980之间的移动间隙982之外，它们形成具有正方形截面的阵列。
[0110]每个超声传感器980设计为压电弯曲元件。分别相对的超声传感器980可以在公共弯曲面984中变形，相邻超声传感器980的弯曲面相互垂直地排列。球形帽分段形式的缺口 986分别设置在超声传感器980的上侧；形成