面安装有具有与X轴正交的反射面的X移动镜68x (棒反射镜)。
[0070]如图2所示，一对X支承构件61在Y轴方向的间隔，与Y步进定盘20的一对X导件24的间隔对应。在一对X支承构件61各自的下面，如图7 (B)所示安装有其轴承面面对X导件24(参照图4)的上面的空气轴承64。基板支承构件60通过空气轴承64的作用而被悬浮支承在一对X导件24上(参照图1)，Y步进定盘20发挥在基板支承构件60移动在X轴方向时的定盘的功能。
[0071]基板支承构件60，如图2所示，通过两个X音圈马达29x及两个Y音圈马达29y被相对一对X托架70微幅驱动在X轴、Y轴、以及θ ζ方向。两个X音圈马达29x的一方及两个Y音圈马达29y的一方配置在基板支承构件60的-Y侧，两个X音圈马达29x的另一方及两个Y音圈马达29y的另一方配置在基板支承构件60的+Y侧。一方及另一方的X音圈马达29x配置于彼此相对并合有基板支承构件60与基板P的系统的重心位置CG成为点对称的位置，一方及另一方的Y音圈马达29y配置于彼此相对上述重心位置CG成为点对称的位置。
[0072]如图2所示，X音圈马达29x包含透过支承构件78固定在X托架70上面的X固定子79x (参照图5及图6)与固定于X支承构件61侧面的X可动子69x (参照图7 (A)及图7 (B))。又，Y音圈马达29y包含通过支承构件78固定在X托架70上面的Y固定子79y (参照图5及图6)与固定于X支承构件61侧面的Y可动子69y(参照图7(A)及图7(B))。X固定子79x、Y固定子79y分别具有例如包含线圈的线圈单元，X可动子69x、Y可动子69y分别具有例如包含永久磁石的磁石单元。
[0073]基板支承构件60，在一对X托架70分别被以既定行程驱动于X轴方向时，是通过两个X音圈马达29x相对一对X托架70被同步驱动(以与一对X托架70相同方向、相同速度驱动)。因此，一对X托架70与基板支承构件60—体移动于X轴方向。又，基板支承构件60在Y步进导件50被以既定行程驱动于Y轴方向时，是通过两个Y音圈马达29y相对一对X托架70被同步驱动(以与一对X托架70相同方向、相同速度驱动)。因此，Y步进导件50 (及Y步进定盘20)与基板支承构件60 —体移动于Υ轴方向。又，基板支承构件60在与一对X托架70 —起以长行程移动于X轴方向时，是通过两个X音圈马达29χ (或两个Υ音圈马达29y)的推力差，绕与通过重心位置CG的Z轴平行的轴线额方向(θ z方向)被适当微幅驱动。
[0074]基板支承构件60在XY平面内的位置信息，如图2所示通过包含X干涉仪66x及Y干涉仪66y之基板干涉仪系统求出。X干涉仪66x通过干涉仪支承构件36固定在一对横柱架32。Y干涉仪66y固定在-Y侧的横柱架32。X干涉仪66x以未图示的分束器将来自未图示的光源光分割，将该分割光作为一对与X轴平行的X测距光照射的X移动镜68x，且作为参照光照射于安装在投影光学系统PL(参照图1。或者能视为与投影光学系统PL—体的构件)的固定镜(未图示)，使上述X测距光的来自X移动镜68x的反射光及参照光的来自固定镜的反射光再度重迭而射入未图示的受光元件，根据该光的干涉求出以固定镜的反射面的X位置为基准的X移动镜68x的反射面的位置(亦即也即，基板支承构件60的X轴方向的移动量)。
[0075]Y干涉仪66y亦同样地，将一对与Y轴平行的Y测距光照射于Y移动镜68y，且将参照光照射于未图示的固定镜，根据该等的反射光求出基板支承构件60的Y轴方向的移动量。此处，是将一对Y测距光的间隔，设定为在基板支承构件60在X轴方向的可移动范围内，从Y干涉仪66y照射的Y测距光的至少一方随时照射于Y移动镜68y (参照图9 (A)?图10(B))。又，是将一对X测距光的间隔，设定为在基板支承构件60在Y轴方向的可移动范围内，从X干涉仪66x照射的一对X测距光随时照射于X移动镜68x，基板支承构件60、亦即即基板P的θ ζ方向的位置信息是通过X干涉仪66x求出。
[0076]定点载台80，如图3所示搭载于定点载台架台35上，如图2所示，在组合有Y步进定盘20与Y步进导件50的状态下配置在一对空气悬浮装置用底座53之间。此外，图4中，为了避免图式过于复杂，省略了定点载台80的图示。定点载台80，如图8所示具备搭载于定点载台架台35上的重量抵销装置81、从下方被重量抵销装置81支承的空气夹头装置88、将空气夹头装置88驱动于θχ、0y、以及Ζ轴的三自由度方向的Ζ音圈马达95等。
[0077]此处，一对X柱51间的尺寸(及/或重量抵销装置81的外形尺寸)被设定为在Y步进导件50 (参照图2)以既定行程移动于Y轴方向时，一对X柱51与定点载台80不接触。
[0078]重量抵销装置81具备固定于定点载台架台35的筐体82、收容于筐体82内的可伸缩于Z轴方向的压缩线圈弹簧83、以及搭载于压缩线圈弹簧83上的Z滑件84等。筐体82由+Z侧开口的有底筒状的构件构成。Z滑件84由延伸于Z轴之的筒状构件构成，透过通过平行板弹簧装置85 (包含在Z轴方向分离配置的与XY平面平行的一对板弹簧)连接于筐体82的内壁面。平行板弹簧装置85配置于Z滑件84的+X侧、-X侧、+Y侧、以及-Y侧(+Y侧及-Y侧的平行板弹簧装置85未图示)。Z滑件84通过平行板弹簧装置85所具有的板弹簧的刚性(拉伸刚性)而被限制相对筐体82的往与XY平面平行的方向的相对移动，相对于此，于Z轴方向则可通过板弹簧的可挠性相对筐体82以微幅行程相对移动。Z滑件84的上端部(+Z侧的端部)从筐体82的+Z侧端部往上方突出，而从下方支承空气夹头装置88。又，在Z滑件84的上端面形成有半球状的凹部84a。
[0079]重量抵销装置81通过压缩线圈弹簧83的弹性力(重力方向往上(+Z方向)的力)，抵销基板P、z滑件84、空气夹头装置88等的重量(重力加速度所导致的向下(-Z方向)的力)，而减低对多个Z音圈马达95的负荷。此外，也可取代压缩线圈弹簧83，而如例如美国发明专利申请公开第2010/0018950号说明书所揭示的重量抵销装置，使用空气弹簧等能控制载重的构件来抵销空气夹头装置88等的重量。又，平行板弹簧装置85只要是于上下方向有一组以上，则几组均可。
[0080]空气夹头装置88配置于重量抵销装置81上方(+Z侧)。空气夹头装置88具有底座构件89、固定于底座构件89上的真空预负荷空气轴承90、分别配置于真空预负荷空气轴承90的+X侧、-X侧的一对空气悬浮装置91。
[0081]底座构件89由与XY平面平行配置的板状构件构成。在底座构件89下面中央固定有具有半球面状轴承面的球面空气轴承92。球面空气轴承92插入到形成在Z滑件84的凹部84a。借此，空气夹头装置88相对XY平面摆动自如(在θχ及0y方向旋转自如)地支承在Z滑件84上。此外，作为将空气夹头装置88支承成相对XY平面摆动自如的装置，可可以是例如美国发明专利申请公开第2010/0018950号说明书所揭示的使用多个空气轴承的拟似球面轴承装置，也可使用弹性铰链装置。
[0082]真空预负荷空气轴承90，如图3所示由俯视下为以Y轴方向为长度方向的长方形板状构件构成，其面积设定为较曝光区域IA的面积广些许。真空预负荷空气轴承90在其上面具有气体喷出孔及气体吸引孔，从气体喷出孔将加压气体(例如空气)往基板P(参照图2)的下面喷出，且从气体吸引孔吸引与基板P之间的气体。真空预负荷空气轴承90藉通过往基板P下面喷出的气体的压力和与基板P之间的负压平衡，于其上面与基板P下面之间形成高刚性的气体膜，而将基板P隔着大致一定的空隙(间隙/隙缝)以非接触方式吸附保持。以真空预负荷空气轴承90的上面(基板保持面)与基板P下面之间的距离成为例如数微米?数十微米程度之方式，设定所喷出的气体的流量或压力、及吸引的的气体的流量或压力。
[0083]此处，真空预负荷空气轴承90配置于紧邻投影光学系统PL(参照图1)的下方(-Z侧)，吸附保持位于紧邻投影光学系统PL下方的基板P的与曝光区域IA对应的部位(被曝光部位)。由于真空预负荷空气轴承90对基板P施加所谓预负荷，因此能提高与基板P之间形成的气体膜的刚性，假使基板P产生扭曲或翘曲，也能将基板P中位于紧邻投影光学系统PL下方的被曝光位置的形状确实地沿真空预负荷空气轴承90上面矫正。又，真空预负荷空气轴承90由于不拘束基板P在XY平面内的位置，因此即使是基板P被真空预负荷空气轴承90吸附保持被曝光部位的状态，也能相对照明光IL(参照图1)沿XY平面移动。此种非接触式空气夹头装置(真空预负荷空气轴承)，例如揭示于美国发明专利第7，607，647号说明书等。此外，从真空预负荷空气轴承90喷出的加压气体亦可由外部供应，也可由真空预负荷空气轴承90内藏有送风装置等。又，吸引真空预负荷空气轴承90上面与基板P下面之间的气体的吸引装置(真空装置)亦同样地，也可设于真空预负荷空气轴承90外部，也可由真空预负荷空气轴承90内藏。又，气体喷出孔及气体吸引孔，也可是机械式加工而形成的，也可使用多孔质材料。又，作为真空预负荷的方法，也可不进行气体吸引，而仅使用正压气体(例如贝努里夹头装置)使负压产生。
[0084]一对空气悬浮装置91均与上述空气悬浮装置59同样地，通过从其上面对基板P(参照图2)的下面喷出加压气体(例如空气)来使基板P悬浮。一对空气悬浮装置91上面的ζ位置被设定为与真空预负荷空气轴承90上面的Ζ位置大致相同。又，真空预负荷空气轴承90及一对空气悬浮装置91上面的Ζ位置，设定为较多个空气悬浮装置59上面的Ζ位置高些许。因此，上述多个空气悬浮装置59，是使用能使基板Ρ较一对空气悬浮装置91更高地悬浮的高悬浮类型的装置。此外，一对空气悬浮装置91也可不仅对基板Ρ喷出加压气体，而与真空预负荷空气轴承90同样地吸引其上面与基板Ρ间的空气。此情形下，最好是将吸引压设定为较真空预负荷空气轴承90的预负荷弱的负荷。
[0085]多个Ζ音圈马达95的各个，如图8所示包含固定于地11上所设置的底座框架98的Ζ固定子95a与固定于底座构件89的Z可动子95b。Z音圈马达95例如配置于重量抵销装置81的+X侧、-X侧、+Y侧、以及-Y侧(+Y侧及-Y侧的Z音圈马达95未图示)，能将空气夹头装置88以微幅行程驱动于ΘΧ、0y、以及Ζ轴的三自由度方向。此外，多个Z音圈马达95只要配置在至少不位于同一直线上的三处即可。
[0086]底座框架98包含分别插通形成于定点载台架台35的多个贯通孔35a的多支(例如与Z音圈马达95对应而有四支)脚部98a、以及被该多支脚部98a从下方支承的本体部98bο本体部98b，由俯视为圆环状的板状构件构成，在形成于其中央部的开口部98c内插入上述重量抵销装置81。多支脚部98a均与定点载台架台35为非接触状态，而在振动上分离。因此，使用多个Z音圈马达95驱动空气夹头装置88时的反作用力不会传递至重量抵销装置81。
[0087]被多个Z音圈马达95驱动的空气夹头装置88在三自由度方向的位置信息，是使用固定于定点载台架台35的多个、本实施形态中为例如四个Z感测器96求出。Z感测器96分别于重量抵销装置81的+X侧、-X侧、+Y侧、-Y侧各设有一个(+Y侧及-Y侧的Z感测器未图示)。Z感测器96是使用固定于空气夹头装置88的底座构件89下面的标的部97求出定点载台架台35 (底座框架98的本体部98b)与底座构件89的Z轴方向的距离的变化。未图示的主控制装置，是根据四个Z感测器96的输出随时求出空气夹头装置88在Z轴、θχ及0y方向的位置信息，根据其测量值通过适当控制四个Ζ音圈马达95来控制空气夹头装置88之位置。由于多个Z感测器96及标的部97配置在多个Z音圈马达95附近，因此能进行高速且高回应的控制。此外，Z感测器96与标的部97的配置也可相反。
[0088]此处，空气夹头装置88的最终位置，被控制为通过真空预负荷空气轴承90上方的基板P的上面随时位于投影光学系统PL的焦深内。未图示的主控制装置是一边通过未图示的面位置测量系统(自动聚焦感测器)监测基板P上面的位置(面位置)，一边将空气夹头装置88驱动控制(自动聚焦控制)成该基板P上面随时位于投影光学系统PL的焦深内(投影光学系统PL随时对焦于基板P上面)。此外，由于Z感测器96只要能求出空气夹头装置88在Z轴、ΘΧ及方向的位置信息即可，因此只要设于例