辐射敏感树脂组合物及电子部件的制作方法_2

文档序号:9713464阅读:来源:国知局
正十二烷基、正十三烷基、正十四烷基、正十五烷基、正十六烷基等直链烷基;环丙基、环丁 基、环戊基、环己基、环庚基、环辛基、环壬基、环癸基、环十一烷基、环十二烷基、降冰片基、 冰片基、异冰片基、十氢萘基、三环癸基、金刚烷基等环状烷基;2-丙基、2-丁基、2-甲基-1-丙基、2-甲基-2-丙基、1-甲基丁基、2-甲基丁基、1-甲基戊基、1-乙基丁基、2-甲基己基、2-乙基己基、4-甲基庚基、1-甲基壬基、1-甲基十三烷基、1-甲基十四烷基等分支状烷基;等 等。另外,作为芳基的具体例,可列举苄基等。这些中,从耐热性以及在极性溶剂中的溶解性 更为优异的观点出发,优选碳原子数6~14的烷基及芳基,更优选碳原子数6~10的烷基及 芳基。碳原子数为4以下时,在极性溶剂中的溶解性不良,碳原子数为17以上时,耐热性不 良,在进一步对树脂膜进行图案化的情况下,存在会因热而发生熔融、图案消失的问题。
[0043] 作为上述通式(2)所示的单体的具体例,可列举:双环[2.2.1]庚-5-烯-2,3_二羧 酰亚胺、N-苯基-双环[2.2.1 ]庚-5-烯-2,3-二羧酰亚胺、N-甲基双环[2.2.1 ]庚-5-烯-2,3-二羧酰亚胺、N-乙基双环[2.2.1 ]庚-5-烯-2,3-二羧酰亚胺、N-丙基双环[2.2.1 ]庚-5-烯-2,3-二羧酰亚胺、N-丁基双环[2.2.1 ]庚-5-烯-2,3-二羧酰亚胺、N-环己基双环[2.2.1 ]庚- 5-烯-2,3-二羧酰亚胺、N-金刚烷基双环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧酰亚胺、1(1-甲基丁 基)-双环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧酰亚胺、N-(2-甲基丁基)-双环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧酰亚胺、N-(l-甲基戊基)-双环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧酰亚胺、N-(2-甲基戊基)-双 环[2.2.1 ]庚_5_稀-2,3-二駿酰亚胺、N_( 1-乙基丁基)-双环[2.2.1 ]庚_5_稀-2,3-二駿酰 亚胺、N-(2-乙基丁基)-双环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧酰亚胺川-(1-甲基己基)-双环
[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧酰亚胺、N-(2-甲基己基)-双环[2.2.1]庚-5-烯-2,3_二羧酰亚 胺、N-(3-甲基己基)-双环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧酰亚胺川-(1-丁基戊基)-双环 [2.2.1 ]庚_5_稀-2,3-二駿酰亚胺、N-(2-丁基戊基)-双环[2.2.1 ]庚_5_稀-2,3-二駿酰亚 胺、N-(l-甲基庚基)-双环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧酰亚胺川-(2-甲基庚基)-双环 [2.2.1 ]庚-5-烯-2,3-二羧酰亚胺、N-( 3-甲基庚基)-双环[2.2.1 ]庚-5-烯-2,3-二羧酰亚 胺、N-(4-甲基庚基)-双环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧酰亚胺川-(1-乙基己基)-双环 [2.2.1 ]庚_5_稀-2,3-二駿酰亚胺、N-(2-乙基己基)-双环[2.2.1 ]庚_5_稀-2,3-二駿酰亚 胺、N-(3-乙基己基)-双环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧酰亚胺川-(1-丙基戊基)-双环
[2.2.1 ]庚-5-稀-2,3-二駿酰亚胺、N-(2-丙基戊基)-双环[2.2.1 ]庚-5-稀-2,3-二駿酰亚 胺、N-(l-甲基辛基)-双环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧酰亚胺川-(2-甲基辛基)-双环 [2.2.1 ]庚-5-烯-2,3-二羧酰亚胺、N-( 3-甲基辛基)-双环[2.2.1 ]庚-5-烯-2,3-二羧酰亚 胺、N-(4-甲基辛基)-双环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧酰亚胺川-(1-乙基庚基)-双环 [2.2.1 ]庚_5_稀-2,3-二駿酰亚胺、N-(2-乙基庚基)-双环[2.2.1 ]庚_5_稀-2,3-二駿酰亚 胺、N-(3-乙基庚基)-双环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧酰亚胺川-(4-乙基庚基)-双环 [2.2.1 ]庚-5-烯-2,3-二羧酰亚胺、N-(l-丙基己基)-双环[2.2.1 ]庚-5-烯-2,3-二羧酰亚 胺、Ν-(2-丙基己基)-双环[2.2.1 ]庚_5_稀-2,3_二駿酰亚胺、Ν-(3-丙基己基)-双环 [2.2.1 ]庚-5-烯-2,3-二羧酰亚胺、N-(l-甲基壬基)-双环[2.2.1 ]庚-5-烯-2,3-二羧酰亚 胺、Ν-(2-甲基壬基)-双环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧酰亚胺川-(3-甲基壬基)-双环 [2.2.1 ]庚-5-烯-2,3-二羧酰亚胺、Ν-(4-甲基壬基)-双环[2.2.1 ]庚-5-烯-2,3-二羧酰亚 胺、Ν-(5-甲基壬基)-双环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧酰亚胺川-(1-乙基辛基)-双环 [2.2.1 ]庚_5_稀-2,3-二駿酰亚胺、Ν-(2-乙基辛基)-双环[2.2.1 ]庚_5_稀-2,3-二駿酰亚 胺、Ν-(3-乙基辛基)-双环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧酰亚胺川-(4-乙基辛基)-双环 [2.2.1 ]庚-5-烯-2,3-二羧酰亚胺、N-(l-甲基癸基)-双环[2.2.1 ]庚-5-烯-2,3-二羧酰亚 胺、N-(l-甲基十二烷基)-双环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧酰亚胺、1(1-甲基^^一烷基)-双 环[2.2.1 ]庚_5_稀-2,3-二駿酰亚胺、Ν_( 1-甲基十二烷基)-双环[2.2.1 ]庚_5_稀-2,3-二 羧酰亚胺、N-(l-甲基十三烷基)-双环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧酰亚胺、^(1-甲基十四烷 基)-双环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧酰亚胺、N-(l-甲基十五烷基)-双环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧酰亚胺、N-苯基-四环[6.2.1.1 3,6.02,7]十二碳-9-烯-4,5-二羧酰亚胺、N-(2,4-二 甲氧基苯基)-四环[6.2.1.1 3,6.02,7]十二碳-9-烯-4,5-二羧酰亚胺等。需要说明的是,这些 单体可以分别单独使用,也可以将2种以上组合使用。
[0044] 另一方面,在上述通式(3)中,R5为碳原子数1~3的2价亚烷基,作为碳原子数1~3 的2价亚烷基,可列举:亚甲基、亚乙基、亚丙基及亚异丙基。这些中,由于聚合活性良好,因 此优选亚甲基及亚乙基。
[0045] 另外,在上述通式(3)中,R6为碳原子数1~10的1价烷基、或碳原子数1~10的1价 卤代烷基。作为碳原子数1~10的1价烷基,可列举例如:甲基、乙基、丙基、异丙基、丁基、仲 丁基、叔丁基、己基及环己基等。作为碳原子数1~10的1价卤代烷基,可列举例如:氟甲基、 氯甲基、溴甲基、二氟甲基、二氯甲基、二氟甲基、三氟甲基、三氯甲基、2,2,2_三氟乙基、五 氟乙基、七氟丙基、全氟丁基及全氟戊基等。这些中,由于在极性溶剂中的溶解性优异,因 此,作为R 3,优选甲基或乙基。
[0046] 需要说明的是,上述通式(2)、(3)所示的单体可以通过例如使对应的胺和5-降冰 片烯-2,3_二羧酸酐进行酰亚胺化反应而得到。另外,对于所得单体,可以通过利用公知的 方法对酰亚胺化反应的反应液进行分离、纯化而进行有效地分离。
[0047]作为具有酯基的环状烯烃,可列举例如:2_乙酰氧基双环[2.2.1]庚-5-烯、2-乙酰 氧基甲基双环[2.2.1]庚-5-烯、2-甲氧基羰基双环[2.2.1]庚-5-烯、2-乙氧基羰基双环 [2.2.1 ]庚-5-烯、2-丙氧基羰基双环[2.2.1 ]庚-5-烯、2-丁氧基羰基双环[2.2.1 ]庚-5-烯、 2-环己氧基羰基双环[2.2.1]庚-5-烯、2-甲基-2-甲氧基羰基双环[2.2.1]庚-5-烯、2-甲 基-2-乙氧基羰基双环[2.2.1 ]庚-5-烯、2-甲基-2-丙氧基羰基双环[2.2.1 ]庚-5-烯、2-甲 基-2-丁氧基羰基双环[2.2.1 ]庚-5-烯、2-甲基-2-环己氧基羰基双环[2.2.1 ]庚-5-烯、2-(2,2,2_三氟乙氧基羰基)双环[2.2.1]庚-5-烯、2-甲基-2-(2,2,2-三氟乙氧基羰基)双环 [2·2· 1]庚-5-烯、2-甲氧基羰基三环[5.2.1 ·02'6]癸-8-烯、2-乙氧基羰基三环[5.2.1 ·02'6] 癸-8-烯、2-丙氧基羰基三环[5.2.1.02, 6]癸-8-烯、4-乙酰氧基四环[6.2.1.13,6.02, 7]十二 碳-9-烯、4-甲氧基羰基四环[6.2.1.13,6.0 2'7]十二碳-9-烯、4-乙氧基羰基四环[6.2.1.13 ,6.02,7]十二碳-9-烯、4-丙氧基羰基四环[6.2.1.1 3,6.02,7]十二碳-9-烯、4-丁氧基羰基四环
[6.2.1.13.6.02.7] 十二碳-9-烯、4-甲基-4-甲氧基羰基四环[6.2.1.13,6.02, 7]十二碳-9-烯、 4-甲基-4-乙氧基羰基四环[6.2.1.13,6.0 2,7]十二碳-9-烯、4-甲基-4-丙氧基羰基四环
[6.2.1.13.6.02.7] 十二碳-9-烯、4-甲基-4-丁氧基羰基四环[6.2.1.13,6.02, 7]十二碳-9-烯、 4-(2,2,2-二氣乙氧基幾基)四环[6.2.1.13'6.0 2'7]十二碳 _9_ 稀、4_甲基-4-(2,2,2-二氣乙 氧基羰基)四环[6.2.1.13,6.0 2,7]十二碳-9-烯等。
[0048] 作为具有氰基的环状烯烃,可列举例如:4_氰基四环[6.2.1.13,6.02, 7]十二碳-9-烯、4-甲基-4-氰基四环[6.2.1.13,6.02, 7]十二碳-9-烯、4,5-二氰基四环[6.2.1.13,6.02, 7] 十二碳_9_稀、2_氛基双环[2.2.1 ]庚_5_稀、2_甲基_2_氛基双环[2.2.1 ]庚_5_稀、2,3_二氛 基双环[2.2.1]庚-5-烯等。
[0049] 作为具有酸酐基的环状烯烃,可列举例如:四环[6.2.1.13,6.02, 7]十二碳-9-烯-4, 5_二羧酸酐、双环[2.2.1 ]庚-5-烯-2,3-二羧酸酐、2-羧基甲基-2-羟基羰基双环[2.2.1 ] 庚-5-烯酐等。
[0050] 作为具有卤原子的环状烯烃,可列举例如:2_氯双环[2.2.1]庚-5-烯、2-氯甲基双 环[2.2.1]庚-5-烯、2-(氯苯基)双环[2.2.1]庚-5-烯、4-氯四环[6.2.1.1 3,6.02,7]十二碳-9-烯、4-甲基-4-氯四环[6.2.1.1 3,6.02,7]十二碳-9-烯等。
[0051] 这些单体(bl)可以分别单独使用,也可以将2种以上组合使用。
[0052] 作为不具有极性基团的环状烯烃单体(b2),可列举:双环[2.2.1]庚-2-烯(也称为 "降冰片稀")、5_乙基-双环[2.2.1]庚-2-烯、5-丁基-双环[2.2.1]庚-2-烯、5-乙叉-双环 [2.2.1 ]庚稀、5-甲叉-双环[2.2.1 ]庚稀、5-乙烯基-双环[2.2.1 ]庚稀、二环 [5.2.1.02'6]癸-3,8-二烯(惯用名:双环戊二烯)、四环[10.2.1.0 2,11.04,9]十五碳-4,6,8, 13-四烯、四环[6.2.1.1 3,6.02,7]十二碳-4-烯(也称为"四环十二碳烯")、9_甲基-四环 [6.2.1.1 3'6.02'7]十二碳-4-烯、9-乙基-四环[6.2.1.1 3'6.02'7]十二碳-4-烯、9-甲叉-四环 [6.2.1.1 3'6.02'7]十二碳-4-烯、9-乙叉-四环[6.2.1.1 3'6.02'7]十二碳-4-烯、9-乙烯基-四 环[6.2.1.1 3,6.02,7]十二碳-4-烯、9-丙烯基-四环[6.2.1.1 3,6.02,7]十二碳-4-烯、五环 [9.2.1.1 3,9.02,1().04, 8]十五碳-5,12-二烯、环丁烯、环戊烯、环戊二烯、环己烯、环庚烯、环 辛烯、环辛二烯、茚、3a,5,6,7a-四氢-4,7-桥亚甲基-1H-茚、9-苯基-四环[6.2.1.1 3,6.02,7] 十二碳-4-烯、四环[9.2.1.0 2'1().03'8]十四碳-3,5,7,12-四烯、五环[9.2.1.1 3'9.02'1().04' 8] 十五碳-12-烯等。这些单体(b2)可以分别单独使用,也可以将2种以上组合使用。
[0053] 作为环状烯烃以外的单体(b3)的具体例,可列举:乙烯;丙烯、1-丁烯、1-戊烯、ΙΕ稀、 3-甲基-1-丁稀、 3-甲基-1-戊稀、 3-乙基-1-戊稀、 4-甲基-1-戊稀、 4-甲基-1-己稀、4 , 4-二甲基己稀、4,4-二甲基戊稀、4-乙基己稀、3-乙基己稀、I -辛稀、I-癸稀、 1-十二碳稀、1-十四碳稀、1-十六碳稀、1-十八碳稀、1-二十碳稀等碳原子数2~20的α-稀 烃;1,4_己二烯、1,5_己二烯、4-甲基-1,4_己二烯、5-甲基-1,4_己二烯、1,7_辛二烯等非共 辄二烯、及它们的衍生物;等等。这些中,优选α-烯烃。这些单体(b3)可以分别单独使用,也 可以将2种以上组合使用。
[0054] 这些单体(bl)~(b3)中,从使本发明的效果更显著的观点出发,优选具有酸性基 团以外的极性基团的环状烯烃单体(bl),特别优选具有N-取代酰亚胺基的环状烯烃。
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