朝向而使上述第I反射镜从该基准的朝向起以上述特定的平面的法线为轴旋转的旋转角设为91y、以上述第2反射面的法线向量向上述特定的平面的正投影与上述激光的光轴向上述特定的平面的正投影正交的朝向作为基准的朝向而使上述第2反射镜从该基准的朝向起以上述特定的平面的法线为轴旋转的旋转角设为Q2y，则上述Θ1 满足(90° -0angle) = -02yX2-(9O° — Φ I) X 2—(90° — Θ1 X 2)，上述Θ2满足(90° —Φ2) = —91yX2 —(90°—Θ2Χ2)。
[0124]通过具备上述导光装置，能够实现可形成高输出化以及高效率化的LD模块。
[0125]在本实施方式的LD模块中，优选为，还具备将上述输出光束向光纤的入射端面聚光的聚光透镜，对于与各LD对应的双重反射镜，将第I反射镜以及第2反射镜的朝向调整为使构成上述输出光束的各输出光的传播方向与特定的方向一致，第I反射镜以及第2反射镜的位置调整为使构成上述输出光束的各输出光的光轴在特定的平面内以等间隔排列。
[0126]根据上述的结构，能够生成可高精度聚光的输出光束。
[0127]此外，在本说明书中还记载了以下的发明。
[0128]即，本实施方式的导光装置将由多个输入光构成的输入光束变换为由多个输出光构成的输出光束，该导光装置的特征在于，具备与各输入光对应的双重反射镜，该双重反射镜从与其他输入光对应的双重反射镜分离，与各输入光对应的双重反射镜由载置于特定的平面上的第I反射镜和载置于该第I反射镜上的第2反射镜构成，上述第I反射镜具有反射输入光的第I反射面，第I反射面的法线与上述特定的平面的法线所成的夹角为45°，上述第2反射镜具有反射经上述第I反射面反射后的输入光的第2反射面，第2反射面的法线与上述特定的平面的法线所成的夹角为135°。
[0129]在上述的结构中，反射各输入光的第I反射面被设置在载置于特定的平面上的第I反射镜，反射经第I反射面反射后的输入光的第2反射面被设置在载置于第I反射镜上的第2反射镜。因此，通过使第I反射镜以及第2反射镜分别转动，能够自由调整输出光的传播方向。例如，即使在输入光的传播方向上存在倾斜，也能够将输出光的传播方向调整为规定的方向。另外，通过使第I反射镜以及第2反射镜分别滑动，输出光的光轴位置也能够自由调整。
[0130]并且，在上述的结构中，与各输入光对应的双重反射镜从与其他输入光对应的双重反射镜分离。因此，能够将各输出光的传播方向的调整相互独立地进行。因此，即便在输入光的传播方向存在偏差，也能够将输出光的传播方向调整为规定的方向。另外，各输出光的光轴位置的调整也能够相互独立地进行。
[0131 ]制造上述导光装置的制造方法也被涵盖于本实施方式的范畴内。
[0132]通过包括对于与各输入光对应的双重反射镜，将第I反射镜以及第2反射镜的朝向调整为使构成上述输出光束的各输出光的传播方向与特定的方向一致的工序，或者通过还包括将与各输入光对应的双重反射镜、第I反射镜以及第2反射镜的位置调整为使构成上述输出光束的各输出光的光轴在特定的平面内以等间隔排列的工序，能够制造生产可高精度地聚光的输出光束的导光装置。
[0133]具备上述导光装置的LD模块也被涵盖于本实施方式的范畴内。
[0134]通过具备上述导光装置，能够实现可形成高输出化以及高效率化的LD模块。
[0135][附加事项]
[0136]本发明并不局限于上述的实施方式，可在权利要求所示的范围内进行各种变更。即，对于将在权利要求所示的范围内适当变更后的技术手段组合得出的实施方式，也被涵盖于本发明的技术的范围中。
[0137]产业上的可利用性
[0138]本发明可以适当地利用于LD模块。特别是，可以适当地利用于以LD芯片为光源的LD模块中。
[0139]其中，附图标记说明如下:
[0140]1: LD模块；LDl?LDlO: LD芯片；FACl?FAClO: F轴准直透镜；SACl?SAClO: S轴准直透镜;Ml?MlO:双重反射镜;Mil:第I反射镜；S1:反射面(第I反射面)；Mi2:第2反射镜；S2:反射面(第2反射面);B:基板;FL: F轴聚光透镜;SL: S轴聚光透镜。
【主权项】
1.一种导光装置，将由多个输入光构成的输入光束变换为由多个输出光构成的输出光束，其特征在于， 具备与各输入光对应的双重反射镜，该双重反射镜从与其他输入光对应的双重反射镜分离， 与各输入光对应的双重反射镜由载置于特定的平面上的第I反射镜和载置于该第I反射镜上的第2反射镜构成， 所述第I反射镜具有反射输入光的第I反射面，该第I反射面与所述特定的平面所成的夹角为Θ1， 所述第2反射镜具有反射经所述第I反射面反射后的输入光的第2反射面，该第2反射面与所述特定的平面所成的夹角为Θ2， 如果将所述输入光与所述输出光所成的夹角设为9angle、所述输入光的光轴与所述特定的平面的法线所成的夹角设为Φ 1、所述输出光的光轴与所述特定的平面的法线所成的夹角设为Φ 2、以所述第I反射面的法线向量向所述特定的平面的正投影与所述输入光的光轴向所述特定的平面的正投影平行的朝向作为基准的朝向而使所述第I反射镜从该基准的朝向起以所述特定的平面的法线为轴旋转的旋转角设为91y、以所述第2反射面的法线向量向所述特定的平面的正投影与所述输入光的光轴向所述特定的平面的正投影正交的朝向作为基准的朝向而使所述第2反射镜从该基准的朝向起以所述特定的平面的法线为轴旋转的旋转角设为92y， 则所述Θ1 满足(90° -0angle) = -02yX2-(9O°- Φ I) X2-(90° 一Θ1Χ2)，所述Θ2满足(90° —Φ2) = —91yX2 —(90°—Θ2Χ2)。2.根据权利要求1所述的导光装置，其特征在于， 对于与各输入光对应的双重反射镜，第I反射镜以及第2反射镜的朝向被调整为使构成所述输出光束的各输出光的传播方向与特定的方向一致。3.根据权利要求2所述的导光装置，其特征在于， 对于与各输入光对应的双重反射镜，第I反射镜以及第2反射镜的位置被调整为使构成所述输出光束的各输出光的光轴在特定的平面内以等间隔排列。4.根据权利要求1?3中任一项所述的导光装置，其特征在于， 所述特定的平面与所述第I反射镜的下表面通过在这两个面之间形成的厚度均匀的粘合剂层粘合， 所述第I反射镜的上表面与所述第2反射镜的下表面通过在这两个面之间形成的厚度均勾的粘合剂层粘合。5.根据权利要求1?4中任一项所述的导光装置，其特征在于， 在所述特定的平面与所述第I反射镜的下表面之间形成的粘合剂层的厚度以及在所述第I反射镜的上表面与所述第2反射镜的下表面之间形成的粘合剂层的厚度比所述双重反射镜的尺寸公差小。6.一种制造方法，是制造权利要求1所述的导光装置的制造方法，其特征在于， 包括对于与各输入光对应的双重反射镜，将第I反射镜以及第2反射镜的朝向调整为使构成所述输出光束的各输出光的传播方向与特定的方向一致的工序。7.根据权利要求6所述的制造方法，其特征在于， 还包括对于与各输入光对应的双重反射镜，将第I反射镜以及第2反射镜的位置调整为使构成所述输出光束的各输出光的光轴在特定的平面内以等间隔排列的工序。8.—种半导体激光模块，具备多个半导体激光元件、以及将由从所述多个半导体激光元件分别射出的激光构成的输入光束变换为由多个输出光构成的输出光束的导光装置，其特征在于， 所述导光装置具备与各半导体激光元件对应的双重反射镜，该双重反射镜从与其他半导体激光元件对应的双重反射镜分离， 与各半导体激光元件对应的双重反射镜由载置于特定的平面上的第I反射镜和载置于该第I反射镜上的第2反射镜构成， 所述第I反射镜具有反射从对应的半导体激光元件射出的激光的第I反射面，该第I反射面与所述特定的平面所成的夹角为Θ1， 所述第2反射镜具有反射经所述第I反射面反射后的激光的第2反射面，该第2反射面与所述特定的平面所成的夹角为Θ2， 如果将所述激光与所述输出光所成的夹角设为Θ ang I e、所述激光的光轴与所述特定的平面的法线所成的夹角设为Φ 1、所述输出光的光轴与所述特定的平面的法线所成的夹角设为Φ 2、以所述第I反射面的法线向量向所述特定的平面的正投影与所述激光的光轴向所述特定的平面的正投影平行的朝向作为基准的朝向而使所述第I反射镜从该基准的朝向起以所述特定的平面的法线为轴旋转的旋转角设为91y、以所述第2反射面的法线向量向所述特定的平面的正投影与所述激光的光轴向所述特定的平面的正投影正交的朝向作为基准的朝向而使所述第2反射镜从该基准的朝向起以所述特定的平面的法线为轴旋转的旋转角设为Q2y， 则所述Θ1 满足(90° -0angle) = -02yX2-(9O°- Φ I) X2-(90° 一Θ1Χ2)，所述Θ2满足(90° —Φ2) = —91yX2 —(90°—Θ2Χ2)。9.根据权利要求8所述的半导体激光模块，其特征在于， 所述半导体激光模块还具备将所述输出光束向光纤的入射端面聚光的聚光透镜， 对于与各半导体激光元件对应的双重反射镜，第I反射镜以及第2反射镜的朝向被调整为使构成所述输出光束的各输出光的传播方向与特定的方向一致，第I反射镜以及第2反射镜的位置被调整为使构成所述输出光束的各输出光的光轴在特定的平面内以等间隔排列。
【专利摘要】本发明提供一种导光装置、制造方法以及半导体激光模块。双重反射镜(Mi)由载置于基板(B)的上表面的第1反射镜(Mi1)和载置于第1反射镜(Mi1)的上表面的第2反射镜(Mi2)构成。第1反射镜(Mi1)具有反射输入光的反射面(S1)，第2反射镜(Mi2)具有反射经反射面(S1)反射后的输入光的反射面(S2)。
【IPC分类】G02B6/42, G02B27/10, H01S5/40
【公开号】CN105723265
【申请号】CN201480062468
【发明人】阪本真一, 夈田祥平
【申请人】株式会社藤仓
【公开日】2016年6月29日
【申请日】2014年10月16日
【公告号】WO2015072274A1