一种显影装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及显影蚀刻，特别是涉及一种显影装置。
【背景技术】
[0002]现有显影技术通常有两种，一种是将光罩置于显影槽内，人工晃动光罩；另一种是采用专门的喷淋线，将显影液通过喷嘴雾化后喷洒在光罩上。第一种方式受操作人员的影响，效果不可控；第二种方式虽然便于控制，但喷淋线价格昂贵，成本高；另外，喷淋线适合一次对大批量的产品进行作业，对小规模生产并不适用。
【发明内容】
[0003]有鉴于此，提供一种成本低且效果好的显影装置。
[0004]一种显影装置，包括机架、设置于机架上的液槽以及载台，所述载台用于承载光罩，所述液槽用于向光罩排放显影液，所述液槽在其顶部形成有溢流口供显影液溢出，所述载台与溢流口间隔设置，载台在其朝向溢流口的一侧形成有若干台阶，使用时光罩的两侧分别搭载在溢流口以及载台的其中一台阶上，所述各台阶具有不同的水平高度，不同厚度的光罩搭载在不同高度的台阶使光罩保持水平。
[0005]相较于现有技术，本实用新型本实用新型显影装置结构简单、成本低廉；显影液通过溢流口向外溢流，其流动稳定、时间确定、操作可控，效果稳定；通过载台的台阶对不同规格的光罩形成支撑，保证光罩水平，产品通用性好。
【附图说明】
[0006]以下将结合附图及【具体实施方式】对本实用新型进行详细说明。
[0007]图1为本实用新型显影装置的结构示意图。
[0008]图2为本实用新型显影装置的使用状态示意图。
[0009]图3为图2的剖视图。
【具体实施方式】
[0010]如图1所示，本实用新型显影装置包括机架10、设置于显影台上的液槽20、及载台
30 ο
[0011]所述机架10具有一水平的承载面12，所述液槽20位于机架10上，具有一注液口以及一溢流口 22。所述注液口用于向液槽20内注入显影液，其可与一阀门(图未示)连接，以控制注入液槽20内的显影液的流量。所述溢流口 22形成于液槽20的顶部，高于机架10的承载面12。当液槽20内注满显影液时，随着显影液的不断注入，显影液由所述溢流口 22向外溢出液槽20，显影液溢出液槽20的速度与注入液槽20的速度相当，如此通过阀门控制显影液注入液槽20的速度即可控制显影液由溢流口 22溢出的速度，进而根据显影液溢出的速度即可设定显影的时间。
[0012]所述载台30用于承载光罩40，设置于机架10的承载面12上并与液槽20的溢流口 22间隔设置。使用时，如图2及图3所示，光罩40的一侧搭载在液槽20的溢流口 22上，光罩40的相对另一侧则搭载在所述载台30上，整个光罩40呈水平设置，显影液由溢流口22溢出后顺着光罩40的表面流动，在达到设定的时间后，显影液自动关停。由于显影液的溢出速度可以很好的控制，显影液在光罩40的表面流动时速度均匀，在光罩40的表面上形成一层膜面，达到显影刻蚀的效果。在整个过程中，操作人员可以直接观察光罩40表面膜面的变化，判断显影刻蚀的精度。
[0013]较佳地，本实施例中，所述载台30面向溢流口 22的一侧形成有多个台阶32，不同的台阶32位于不同的水平高度，相邻的台阶32在竖直方向上具有一定的高度差，所述高度差可以根据光罩40的厚度设定，如常用的光罩有3.0mm、4.8mm、7.8mm等不同的厚度规格，若某一级的台阶32承载3.0mm厚度的光罩，下一台阶32用于承载4.8mm的光罩，这两级台阶32的高度差即为两光罩的厚度差，1.8mm，如此保证不同厚度规格的光罩40装载在本实用新型的显影装置上之后，其表面始终保持水平，保证显影作业的效果。另外，所述载台30可以在机架10的承载面12上滑动，远离或靠近所述溢流口 22，如此调整两者之间的而艰巨，以适应不同宽度的光罩40。
[0014]综上，本实用新型显影装置结构简单、成本低廉；显影液通过溢流口 22向外溢流，其流动稳定、时间确定、操作可控，效果稳定。另外，通过载台30的台阶32以及载台30的移动对不同厚度、宽度的光罩40形成支撑，保证光罩40水平，产品通用性好。需要说明的是，本实用新型并不局限于上述实施方式，根据本实用新型的创造精神，本领域技术人员还可以做出其他变化，这些依据本实用新型的创造精神所做的变化，都应包含在本实用新型所要求保护的范围之内。
【主权项】
1.一种显影装置，包括机架、设置于机架上的液槽以及载台，所述载台用于承载光罩，所述液槽用于向光罩排放显影液，其特征在于:所述液槽在其顶部形成有溢流口供显影液溢出，所述载台与溢流口间隔设置，载台在其朝向溢流口的一侧形成有若干台阶，使用时光罩的两侧分别搭载在溢流口以及载台的其中一台阶上，所述各台阶具有不同的水平高度，不同厚度的光罩搭载在不同高度的台阶使光罩保持水平。2.如权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述液槽的注液口设置有阀门控制显影液的流速。3.如权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述载台可滑动地设置于机架上以调整载台与溢流口之间的距离，适应不同宽度的光罩。
【专利摘要】一种显影装置，包括机架、设置于机架上的液槽以及载台，所述载台用于承载光罩，所述液槽用于向光罩排放显影液，所述液槽在其顶部形成有溢流口供显影液溢出，所述载台与溢流口间隔设置，载台在其朝向溢流口的一侧形成有若干台阶，使用时光罩的两侧分别搭载在溢流口以及载台的其中一台阶上，所述各台阶具有不同的水平高度，不同厚度的光罩搭载在不同高度的台阶使光罩保持水平，结构简单、成本低廉；显影液通过溢流口向外溢流，其流动稳定、时间确定、操作可控，效果稳定；通过载台的台阶对不同规格的光罩形成支撑，保证光罩水平，产品通用性好。
【IPC分类】G03F7/30
【公开号】CN204694991
【申请号】CN201520292722
【发明人】石孟阳, 崔兴永, 庄奎乾, 谢庆丰
【申请人】深圳市科利德光电材料股份有限公司
【公开日】2015年10月7日
【申请日】2015年5月8日