等离子显示面板的制造方法

专利名称：等离子显示面板的制造方法
技术领域：
本发明涉及在显示装置等中使用的等离子显示面板的制造方法。
背景技术：
等离子显示面板(以下称为PDP)，由于可以实现高精细化、大画面化，已经在65英 寸级别的电视等中被商品化。近年来，PDP在与以往的NTSC方式相比扫描线数为两倍以上 的高清晰电视中的应用正在开展，同时，对环境问题的关注要求不含有铅成分的PDP。
PDP基本上包括前面板和背面板。前面板包括玻璃基板、显示电极、电介质层、保 护层。显示电极由在玻璃基板的一个主面上形成的条纹状的透明电极和汇流电极构成。电 介质层覆盖显示电极而作为电容器起作用。保护层由形成在电介质层上的氧化镁(Mg0)构 成。另一方面，背面板包括玻璃基板、寻址电极、基底电介质层、隔壁、荧光体层。寻址电极 在玻璃基板的一个主面上形成为条纹状。基底电介质层覆盖寻址电极。隔壁形成在基底电 介质层上。荧光体层形成在各隔壁之间，分别进行红色、绿色和蓝色发光。
将前面板和背面板以其电极形成面侧相对的方式气密封，在由隔壁分隔成的放电 空间内以400Torr 600Torr的压力封入Ne-Xe放电气体。对于PDP而言，通过对显示电 极选择性地附加显像信号电压而使其放电，基于该放电产生的紫外线激发各色荧光体层而 使其发出红色、绿色、蓝色的光，从而实现彩色图像显示。此种PDP在专利文献1中公开。
在此种PDP中，在前面板的电介质层上形成的保护层具有保护电介质层免受由放 电引起的离子冲击、释放用于产生寻址放电的初期电子等功能。保护电介质层免受离子冲 击对于防止放电电压的上升有重要的作用。另外，释放用于产生寻址放电的初期电子对防 止寻址放电错误有重要的作用，而寻址放电错误是图像闪烁的原因。 近年来，电视的高精细化逐渐发展，市场上要求低成本、低耗电、高亮度的Fu11 HD(高清晰度)(1920X1080像素逐行显示)PDP。由于来自保护层的电子释放特性决定 PDP的画质，因此控制电子释放特性是非常重要的。
专利文献1 :日本特开2003-128430号公报

发明内容
—种等离子显示面板的制造方法，所述等离子显示面板具有前面板和背面板，所 述前面板以覆盖形成在基板上的显示电极的方式形成电介质层，且在所述电介质层上形成 保护层；所述背面板与前面板相对配置以形成放电空间，并且在与显示电极相交叉的方向 上形成寻址电极，且设置有划分放电空间的隔壁，前面板的保护层按如下方式构成，即，在 电介质层上蒸镀底膜后，对底膜实施表面处理，此后形成由金属氧化物构成的多个结晶粒 子和由有机溶剂构成的墨液膜，此后通过真空干燥从墨液膜除去有机溶剂而使多个结晶粒 子附着在底膜上。


图1是示出本发明的实施方式中的PDP的结构的立体图。图2是示出本发明的实施方式中的PDP的前面板的结构的剖面图。图3是示出本发明的实施方式中的PDP的凝集粒子的说明图。图4是示出在本发明的PDP的制造方法中的保护层形成的步骤的图。标号说明1PDP2前面板3前玻璃基板4扫描电极4a、5a透明电极4b、5b金属汇流电极5维持电极6显示电极7黑条纹(遮光层)8电介质层9保护层10背面板ll背面玻璃基板12寻址电极13基底电介质层14隔壁15荧光体层16放电空间81第一电介质层82第二电介质层91底膜92凝集粒子92a结晶粒子
具体实施例方式
在制造具有高电子放出能并且具有縮小作为存储器功能的电荷的减衰率的即高
电荷保持特性的所谓同时具有相反的两个特性的PDP的基础上，在显示面内均匀配置由金
属氧化物构成多个结晶粒子所凝集的凝集粒子，且以低成本制造的情况重要。 本发明是鉴于以上技术问题而开展的，能够以低成本制造具备高精细且高亮度的
显示性能、且低耗电的PDP。 以下，对于本发明的一个实施方式中的PDP，利用附图进行说明。图l是示出本发 明的实施方式所实现的PDP的结构的立体图。PDP的基本结构与一般的交流面放电型PDP 相同。如图1所示，PDP1中，由前玻璃基板3等构成的前面板2与由背玻璃基板11等构成的背面板IO相对配置，且其外周部被包含玻璃料等的密封材料气密封。在被密封了的PDP1 内部的放电空间16中，以400Torr 600Torr的压力封入含有Ne和Xe等的放电气体。
在前面板2的前玻璃基板3上，互相平行地分别配置多列显示电极6和黑条纹(遮 光层)7，所述显示电极6是由扫描电极4和维持电极5形成的一对带状的显示电极。在前 玻璃基板3上以覆盖显示电极6和遮光层7的方式形成发挥作为电容器功能的电介质层8， 进而在电介质层8的表面形成包含氧化镁(MgO)等的保护层9。 另外，在背面板10的背玻璃基板11上，在与前面板2的扫描电极4和维持电极5 相正交的方向，互相平行地配置多个带状的寻址电极12，而基底电介质层13覆盖寻址电极 12。进而，在寻址电极12之间的基底电介质层13上，形成有划分放电空间16的规定高度 的隔壁14。在隔壁14之间的槽中以寻址电极12为单位依次涂敷形成紫外线下分别发出红 色、绿色和蓝色光的荧光体层15。在扫描电极4、维持电极5与寻址电极12相交叉的位置 形成放电单元，具有沿着显示电极6方向排列的红色、绿色、蓝色的荧光体层15的放电单元 成为用于彩色显示的像素。 图2是示出本发明的一实施方式所实现的PDP1的前面板2的结构的剖面图，图2 以将图l上下反转的方式进行显示。将由扫描电极4和维持电极5形成的显示电极6以及 遮光层7图案化形成。扫描电极4由包含铟锡氧化物(IT0)、氧化锡(Sn02)等的透明电极 4a和在透明电极4a上形成的金属汇流电极4b构成，维持电极5由包含铟锡氧化物(ITO)、 氧化锡(Sn02)等的透明电极5a和在透明电极5a上形成的金属汇流电极5b构成。电介质 层8具有第一电介质层81和第二电介质层82双层结构。进而，在第二电介质层82上形成 保护层9 。第一 电介质层81用于覆盖在前玻璃基板3上形成的这些透明电极4a、 5a和金属 汇流电极4b、5b以及遮光层7而设置。第二电介质层82形成在第一电介质层81上。
保护层9通过以下方式构成在电介质层8上形成由含有杂质A1的MgO构成的底 膜91，同时，在该底膜91上，使多个作为金属氧化物的MgO的结晶粒子92a凝集成的凝集粒 子92离散地散布而使其以遍及整个面大致均匀分布的方式附着。 图3是示出本发明的实施方式中的PDP的前面板的结构的说明图。所谓凝集粒子 92，是指如图3所示的具有规定的一次粒径的结晶粒子92a发生凝集或者縮颈的状态而形 成的粒子。作为固体不是具有大结合力而结合，而是通过静电力、范德华力等由多个一次粒 子形成集合体的体，因此它们以以下的程度结合，即，通过超声波等外在剌激，其一部分或 者全部变成一次粒子的状态程度。作为凝集粒子92的粒径，为约lym左右，作为结晶粒子 92a，希望其具有14面体、12面体等有7面以上的面的多面体形状。 接下来，图4是示出在本发明的PDP的制造方法中的保护层形成的步骤的步骤图。 说明本发明的一实施方式、即形成保护层9的制造步骤。如图4所示，进行形成电介质层8 的电介质层形成步骤Sll，所述电介质层8由第一电介质层81和第二电介质层82的层叠结 构构成。然后，在接下来的底膜蒸镀步骤S12中，以含A1的MgO的烧结体作为原材料，通过 真空蒸镀法在电介质层8的第二电介质层82上形成包含MgO的底膜91。
接下来，在底膜表面处理步骤S13中，使中心波长172nm的受激准分子UV灯以在 基板表面上的累计照射量成为80mJ以上的方式照射。若使用例如40mW输出的受激准分子 UV灯，将灯基板间距离设定为3mm，通过N2流将处理气氛的氧量和水分量调整为低，则能抑 制UV光(紫外线光)的减衰。如此，在约6秒的照射时间下，在基板表面能得到150mJ的
5累计照射量。通过UV照射(紫外线照射)，分解除去由浮游在大气中的油成分产生的污染 等而净化MgO的底膜91表面。净化的面由于经过时间而被再污染，因此底膜表面处理步骤 S13优选在凝集粒子墨液膜形成步骤S14之前实施。 在凝集粒子墨液膜形成步骤S14中使用的墨液由凝集粒子92和溶剂构成，由于不 含有树脂基料，因此粘度非常低，所述凝集粒子92凝集多个作为金属氧化物的Mg0的结晶 粒子92a。凝集粒子92能够通过对碳酸镁或氢氧化镁等Mg0前体进行加热的方法得到，通 过静电力或范德华力等比较弱的力而由多个一次粒子形成集合体的体。如此，在墨液化的 过程中，通过控制超声波分散的条件等，将平均粒径聚集在0. 9 ii m 2 ii m的范围内。溶剂 与Mg0的底膜91或凝集粒子92的亲和性高，并且为了容易进行在接下来的步骤即干燥步 骤S15中的蒸镀除去，蒸气压力在常温下为几十Pa左右，比较高。因此，作为溶剂，使用例 如甲基甲氧基丁醇、萜品醇、丙撑二醇、苯甲醇等有机溶剂单体或它们的混合溶剂。使用了 所述溶剂的墨液的粘度为几mPaS 几十mPaS。 如此，作为将非常低粘度的上述的凝集粒子的墨液在底膜91上涂敷为恒定的膜 厚的机构，使用例如狭缝涂层法。通过狭缝涂层法，平均膜厚8 ii m 20 ii m的墨液膜在所 希望的区域内形成为均质。形成有墨液膜的基板直接向干燥步骤S15移动，进行减压干燥。 由于墨液膜在真空室内在几十秒以内被急速干燥，因此在加热干燥中不产生显而易见的墨 液的对流。因此，凝集粒子92不偏离而均匀地附着在底膜91上。 如此，在对底膜91实施UV处理(紫外线处理)的基础上，对不含有树脂基料的低 粘度墨液进行狭缝涂敷，进行真空干燥，由此能够使凝集粒子92均匀地附着。因此，能够以 低设备成本来生产高品质的面板。 为了实现具备高精细、高亮度的显示性能且低耗电的PDP，而作为保护层的特性， 必须具有高电子放出能并且具有縮小作为存储器功能的电荷的减衰率的即高电荷保持特 性的所谓同时具有相反的两个特性。为此，蒸镀在电介质层上的例如MgO中包含Al或Si 等杂质的底膜上均匀配置凝集粒子的情况重要且需要以低成本形成，所述凝集粒子凝集有 由金属氧化物构成的多个结晶粒子。 从以上的说明可知，根据本发明的制造方法，在底膜上以遍及整面均匀分布的方
式配置多个凝集粒子，且能够以低成本形成，因此，可以实现具备低耗电、高精细、高亮度的
显示性能的PDP。 产业上的可利用性 如上所述的本发明，在实现具备高精细、高亮度的显示性能且低耗电的PDP方面 有用。
权利要求
一种等离子显示面板的制造方法，其中，所述等离子显示面板具有前面板，其以覆盖形成在基板上的显示电极的方式形成电介质层，并且在所述电介质层上形成保护层；背面板，其以形成放电空间的方式与所述前面板相对配置，并且在与所述显示电极交叉的方向上形成寻址电极且设有划分所述放电空间的隔壁，如下形成所述保护层在所述电介质层上蒸镀底膜后，对所述底膜实施表面处理，之后，形成由金属氧化物构成的多个结晶粒子和由有机溶剂构成的墨液膜，之后，通过干燥从所述墨液膜除去有机溶剂而使多个结晶粒子附着在所述底膜上。
2. 根据权利要求1所述的等离子显示面板的制造方法，其中， 所述底膜的表面处理是利用紫外线照射进行的处理。
3. 根据权利要求2所述的等离子显示面板的制造方法，其中， 通过所述紫外线照射所照射的紫外线的波长为185nm以下。
4. 根据权利要求2所述的等离子显示面板的制造方法，其中， 通过所述紫外线照射所照射的紫外线的量为50mJ以上3Q0mJ以下。
全文摘要
本发明提供一种等离子显示面板的制造方法。其中，如下形成前面板的保护层在电介质层上蒸镀底膜后，对该底膜实施表面处理，之后形成由金属氧化物构成的多个结晶粒子和由有机溶剂构成的墨液膜，之后通过真空干燥从所述墨液膜除去有机溶剂而使多个结晶粒子附着在所述底膜上。
文档编号H01J11/12GK101779263SQ20098010012
公开日2010年7月14日 申请日期2009年6月12日 优先权日2008年6月26日
发明者山下英毅, 结城治宏 申请人:松下电器产业株式会社