专利名称：用于电浆表面处理的高密度电极装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种电极装置，特别是涉及一种用于电浆表面处理的高密度电极
装置O
背景技术：
在半导体制程中容易因运送过程或工作环境等因素影响，而在基板上附着污染 物，恐会对后续镀膜或封装产生不良影响，中国台湾专利第1298235号专利所公开的一种 「RF射频电浆表面处理之电极板」，通过电浆表面处理将污染物吸附清洁以提高产品良率， 其中，腔体接地作为阳极，电极板连接RF射频作为阴极，而待清洁物放置于电极板前方，当 电极板与腔体间电压足够时可以裂解腔体内的气体而产生电浆。但，上述专利的配置方式， 电极板除了朝向前方产生电浆以外，朝向背后、朝向侧边同样会产生电浆，无法集中方向产 生电浆，而使得处理效果与产能降低。参阅图1，中国台湾专利第M356342号专利所公开的「一种偏压式电浆源以及包含 其之电浆处理机构」，包含一个电极盘10、一个支撑体11，及一个位于该电极盘10与支撑体 11间的绝缘环12，虽上述专利已可达到该电极盘10不朝背后产生电浆的功效，但会朝向侧 边产生电浆，使得处理效果与产能降低。此外，由于不朝背后产生电浆所以电浆密度较高， 该电极盘10容易有过热的现象发生，进而影响电浆输出的稳定度。
发明内容本实用新型的目的在于提供一种可以集中朝向前方产生电浆的用于电浆表面处 理的高密度电极装置。本实用新型的用于电浆表面处理的高密度电极装置，包含一个阳极单元、一个阴 极单元、一片绝缘板及一个冷却回路。该阳极单元包括一片背板，及一个连接于该背板前侧 面的侧框板，该阴极单元包括一片设置于该背板前侧面且容置于该侧框板中的阴极板，该 绝缘板夹设于该背板与该阴极单元间，该冷却回路设置于该阴极单元中。本实用新型的用于电浆表面处理的高密度电极装置中，该阴极板与该侧框板间具 有一无电浆的间隙。本实用新型的用于电浆表面处理的高密度电极装置中，该背板呈中空矩形框状。本实用新型的用于电浆表面处理的高密度电极装置中，该绝缘板呈中空矩形框 状。本实用新型的用于电浆表面处理的高密度电极装置中，该背板呈矩形片体状。本实用新型的用于电浆表面处理的高密度电极装置中，该绝缘板呈矩形片体状。 本实用新型的用于电浆表面处理的高密度电极装置中，该高密度电极装置还包含 一个伸缩单元，该伸缩单元包括一个固定座、一个穿过该固定座安装于该阳极单元背板背 面的连接座、一个形成于该连接座的键槽、一个安装于该固定座内的滑键，及一个设置于该 固定座上并与该连接座螺合的螺帽，该连接座通过该键槽与滑键相配合而进行伸缩。[0012]本实用新型的用于电浆表面处理的高密度电极装置中，该阴极单元还包括一片设 置于该阴极板前侧面的保护板。本实用新型的用于电浆表面处理的高密度电极装置中，该冷却回路开设于该阴极 板背面，该阴极单元还包括一片设置于该阴极板背面并封闭该冷却回路的盖板。本实用新型的用于电浆表面处理的高密度电极装置中，该冷却回路凿设于该阴极 板中，该冷却回路还包括开设于该阴极板背面的一个入口及一个出口。本实用新型的有益效果在于通过该阳极单元背板、侧框板，以达到让该阴极板朝 向背后、朝向侧边的方向皆受到阻隔，让该阴极板集中朝向前方产生电浆，并能避免过热， 提高处理效果与产能。
图1是以往中国台湾专利第M356342号专利所公开的一种电极装置的立体图图2是本实用新型用于电浆表面处理的高密度电极装置的第一较佳实施例的立 体图；图3是本第一较佳实施例的一个阳极单元、一个阴极单元及一片绝缘板的立体分 解图；图4是本第一较佳实施例各元件间的组合关系的剖视图；图5是本实用新型用于电浆表面处理的高密度电极装置的第二较佳实施例的立 体图；图6是本第二较佳实施例的该阳极单元、阴极单元及绝缘板的立体分解图；图7是本第二较佳实施例各元件间的组合关系的剖视图。
具体实施方式
有关本实用新型前述及其它技术内容、特点与功效，在以下配合参考图式的两个 较佳实施例的详细说明中，将可清楚地呈现。在本实用新型被详细描述前，要注意的是，在以下的说明内容中，类似的元件以相 同的编号来表示。参阅图2、图3与图4，本实用新型用于电浆表面处理的高密度电极装置的第一较 佳实施例包含一个阳极单元2、一个阴极单元3、一片绝缘板4，及一个冷却回路5。该阳极单元2接地作为阳极，包括一个呈中空矩形框状的背板21，及一个连接于 该背板21前侧面的侧框板22，在本第一较佳实施例中，该背板21同时作为一个处理腔体 (图未示)的可掀启式封盖。该阴极单元3设置于该背板21前侧面，包括彼此相叠合的一片容置于该侧框板22 中的阴极板31、一片设置于该阴极板31背面并封闭该冷却回路5的盖板32，及一片设置于 该阴极板31前侧面的保护板33。该阴极板31的厚度小于该侧框板22的厚度，容置在侧框板22中时不凸出，再加 上该阴极板31与该侧框板22间的间隙7宽度小到足使该侧框板22落在阴极暗区内，确实 达到该阴极板31不朝侧边产生电浆的功效，换而言之，该间隙7无电浆。该阴极单元3产生电浆的表面易损耗，而通过该保护板33延长该阴极板31的寿命，而仅需替换厚度较薄、成本较低的保护板33就可达到维护该阴极单元3的功效。该绝缘板4夹设于该阳极单元2的背板21与该阴极单元3的阴极板31间，且该 绝缘板4呈中空矩形框状，该绝缘板4用于避免该阳极单元2与阴极单元3形成电通路。该绝缘板4除了提供绝缘功效外，也阻隔气体流入该阴极单元3背面，促使该阴极 单元3达到不朝背后产生电浆的功效。该冷却回路5设置于该阴极单元3中，并开设于该阴极单元3的阴极板31背面， 呈开放渠道状，该盖板32用于由后朝前封闭该冷却回路5，该冷却回路5包括开设于该盖板 32的一个入口 51及一个出口 52，在操作时，该冷却回路5中可以导入冷水或其它冷媒。本第一较佳实施例通过该绝缘板4提供该阴极单元3不朝背后产生电浆的功效， 通过该阳极单元2的侧框板22提供该阴极单元3不朝侧边产生电浆的功效，让该阴极单元 3集中朝向前方产生电浆，提高处理效果与产能。而因为电浆集中朝向前方产生，电浆密度较高，该阴极单元3的温度也跟着升高， 通过该冷却回路5设置于该阴极单元3中，而能避免该阴极单元3因产生密度较高的电浆 而过热。参阅图5、图6与图7，本实用新型用于电浆表面处理的高密度电极装置的第二较 佳实施例与该第一较佳实施例构件与组装方式大致相同，不同处在于该第二较佳实施例还 包含一个伸缩单元8。在本第二较佳实施例中，该阳极单元2的背板21呈矩形片体状，位于一个处理腔 体(图中仅以一片腔壁6示意)内，该阴极单元3仅包括该阴极板31，而该绝缘板4呈矩形 片体状，此外，该冷却回路5凿设于该阴极板31中，且该入口 51与出口 52开设于该阴极板 31背面。该伸缩单元8用于调整该阴极单元3与待清洁物(图未示)间的距离，以达到最 佳的电浆表面处理效果，该伸缩单元8包括一个固定于该腔壁6的固定座81、一个穿过该固 定座81安装于该阳极单元2背板21背面的连接座82、一个形成于该连接座82的键槽83、 一个安装于该固定座81内的滑键84，及一个设置于该固定座81上并与该连接座82螺合的 螺帽85。该连接座82用于供一根导入管91、一根导出管92及一个连接于该阴极板31的导 体93通过。该键槽83与滑键84相配合提供该连接座82直线的位移路径，通过旋转该螺 帽85带动该连接座82进行伸缩。综上所述，本实用新型的优点在于一、该阴极板31的厚度小于该侧框板22厚度，且该阴极板31与侧框板22间的间 隙7小到足使该侧框板22落在阴极暗区内，使该间隙7无电浆，确实达到使该阴极板31不 朝侧边产生电浆的功效。二、该绝缘板4阻隔气体流入该阴极单元3背面，达到使该阴极单元3不朝背后产 生电浆的功效。三、通过该冷却回路5设置于该阴极单元3中，能避免该阴极单元3因产生密度较 高的电浆而过热。四、该伸缩单元8用于调整该阴极单元3与待清洁物间的距离，以达到最佳的电浆 表面处理效果。
权利要求1. 一种用于电浆表面处理的高密度电极装置，包含一个阳极单元，以及一个阴极单 元，其特征在于该高密度电极装置还包含一片绝缘板及一个冷却回路，该阳极单元包括一 片背板，及一个连接于该背板前侧面的侧框板，该阴极单元包括一片设置于该背板前侧面 且容置于该侧框板中的阴极板，该绝缘板夹设于该背板与该阴极单元间，该冷却回路设置 于该阴极单元中。
2.根据权利要求1所述的用于电浆表面处理的高密度电极装置，其特征在于该阴极 板与该侧框板间具有一无电浆的间隙。
3.根据权利要求1所述的用于电浆表面处理的高密度电极装置，其特征在于该背板 呈中空矩形框状。
4.根据权利要求3所述的用于电浆表面处理的高密度电极装置，其特征在于该绝缘 板呈中空矩形框状。
5.根据权利要求1所述的用于电浆表面处理的高密度电极装置，其特征在于该背板 呈矩形片体状。
6.根据权利要求5所述的用于电浆表面处理的高密度电极装置，其特征在于该绝缘 板呈矩形片体状。
7.根据权利要求5所述的用于电浆表面处理的高密度电极装置，其特征在于该高密 度电极装置还包含一个伸缩单元，该伸缩单元包括一个固定座、一个穿过该固定座安装于 该阳极单元背板背面的连接座、一个形成于该连接座的键槽、一个安装于该固定座内的滑 键，及一个设置于该固定座上并与该连接座螺合的螺帽，该连接座通过该键槽与滑键相配 合而进行伸缩。
8.根据权利要求1所述的用于电浆表面处理的高密度电极装置，其特征在于该阴极 单元还包括一片设置于该阴极板前侧面的保护板。
9.根据权利要求1所述的用于电浆表面处理的高密度电极装置，其特征在于该冷却 回路开设于该阴极板背面，该阴极单元还包括一片设置于该阴极板背面并封闭该冷却回路 的盖板。
10.根据权利要求1所述的用于电浆表面处理的高密度电极装置，其特征在于该冷却 回路凿设于该阴极板中，该冷却回路还包括开设于该阴极板背面的一个入口及一个出口。
专利摘要一种用于电浆表面处理的高密度电极装置包含一个阳极单元、一个阴极单元、一片绝缘板及一个冷却回路。该阳极单元包括一片背板，及一个连接于该背板前侧面的侧框板，该阴极单元包括一片设置于该背板前侧面且容置于该侧框板中的阴极板，该绝缘板夹设于该背板与该阴极单元间，该冷却回路设置于该阴极单元中，通过该阳极单元的背板、侧框板，使该阴极板朝向背后、朝向侧边的方向皆受到阻隔，让该阴极板集中朝向前方产生电浆，提高处理效果与产能。
文档编号H01J37/04GK201788937SQ20102027816
公开日2011年4月6日 申请日期2010年8月2日 优先权日2010年8月2日
发明者谢礼谦, 黄一原 申请人:凌嘉科技股份有限公司