专利名称：一种电极结构及其制作方法
技术领域：
本发明属于平板显示领域，尤其涉及一种可用于等离子显示屏的电极结构及其制作方法。
背景技术：
近年来，随着消费者对显示器件功能需求的不断提高和科学的进步，出现了PDP (Plasma Display Panel,等离子显不屏)、LCD (Liquid Crystal Display,液晶显不屏)等新型平板显示器件，它们以其清晰度高、重量轻、耗电少、无辐射、环保性能好等优点越来越多的进入人们的社会生活领域，特别是在超大屏幕的平板显示器件中，PDP技术有绝对的优势。PDP由第一基板(一般为玻璃基板)和第二基板(一般为玻璃基板)组成，在第一基板上设置有透明电极和总线电极以及前介质和覆盖在前介质表面的保护层，所述总线电极为金属电极，且设置在透明电极表面上；在第二基板上设置有地址电极和后介质以及障壁。PDP利用了气体放电原理，由障壁和前介质、后介质组成微小的绝缘放电间，放电间填满用于等离子放电的放电气体，通过等离子放电激发涂覆在放电间上的荧光粉层发光。但是，现有技术中，等离子显示屏的总线电极会有导电不良的现象出现，甚至会出现总线电极不能导电、失去作用的现象。
发明内容
为解决上述技术问题，本发明提供了一种电极结构及其制作方法以及一种具有上述电极结构的等离子显示屏，具体方案如下一种电极结构，包括总线电极，所述总线电极设置在一基板表面上；透明电极，所述透明电极设置在所述基板和总线电极表面上，且所述透明电极包覆住总线电极。优选的，所述总线电极为镉铜镉电极。优选的，所述总线电极为钥铝钥电极。优选的，所述透明电极为氧化铟锡电极。优选的，所述透明电极为氧化铟锌电极。优选的，所述透明电极为石墨烯电极。一种上述电极结构的制作方法，包括提供一基板；在所述基板表面淀积金属电极层，通过光刻工艺在所述金属电极层上形成总线电极；在所述总线电极和基板表面上淀积透明电极层，通过光刻工艺在所述透明电极层上形成透明电极，所述透明电极包覆住总线电极。
一种等离子显示屏，包括第一基板，所述第一基板包括一电极结构，且所述电极结构为上述电极结构；前介质层，所述前介质层设置在所述第一基板表面上；第二基板，所述第二基板包括地址电极，且所述第二基板具有地址电极的一面和第一基板具有前介质层的一面相对设置；后介质层，所述后介质层设置在所述第二基板与第一基板相对的表面上；障壁，所述障壁设置在所述后介质层表面上。由上述方案可以看出，本发明所提供的电极结构中，透明电极将总线电极包覆住，而且透明电极均为非金属电极，其化学性质较稳定，不易发生氧化，并且由于总线电极为金属电极，即化学性质不稳定的总线电极被透明电极包覆住，与外界隔绝，也就避免了金属电极氧化现象的发生，即总线电极就不会因为氧化而出现电阻变大的现象，避免了总线电极导电不良甚至失去导电功能的现象出现。
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图I是现有的等离子显示屏中的一种电极结构；图2是本发明所提供的一种电极结构。
具体实施例方式为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。正如背景技术部分所述，在现有生产等离子显示屏的技术下，时常会有等离子显示屏的总线电极导电不良的现象出现，甚至会出现总线电极不能导电、失去作用的现象。发明人研究发现，在等离子显示屏的生产过程中，如图I所示，由于总线电极I为金属电极，且设置在透明电极2上，即在后续制作工艺中，总线电极与外界接触，由于其化学性质不稳定，因此容易被氧化，进而生产得到的等离子显示屏的总线电极的电阻变大，总线电极导电不良、甚至失去导电功能。基于上述研究的基础，本发明公开了一种电极结构，该电极结构包括总线电极，所述总线电极设置在一基板表面上；透明电极，所述透明电极设置在所述基板和总线电极表面上，且所述透明电极包覆住总线电极。由上述方案可以看出，本发明所提供的电极结构中，透明电极将总线电极包覆住，而且透明电极均为非金属电极，其化学性质较稳定，不易发生氧化，并且由于总线电极为金属电极，即化学性质不稳定的总线电极被透明电极包覆住，与外界隔绝，也就避免了金属电极氧化现象的发生，即总线电极就不会因为氧化而出现电阻变大的现象，避免了总线电极导电不良甚至失去导电功能的现象出现。以上是本申请的核心思想，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明，但是本发明还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似推广，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。本发明实施例公开了一种电极结构，如图2所示，包括总线电极11，所述总线电极11设置在一基板10表面上，所述基板10为玻璃基板或是其他材料的基板，所述总线电极11为镉铜镉电极或钥铝钥电极或其他的金属电极，所述总线电极11的厚度和形状依据具体情况设置，在此不做具体限定；透明电极12，所述透明电极12设置在所述基板10和总线电极11表面上，所述透明电极12包覆住总线电极11，且所述透明电极12为氧化铟锡电极或氧化铟锌电极或石墨烯电极，所述透明电极12的厚度和形状依据具体情况设置，在此不做具体限定。由于透明电极12为氧化铟锡电极或氧化铟锌电极或石墨烯电极，所以其不易与空气或其他物质发生反应，且透明电极电极12与玻璃粉的结合力较好，不会在高温下与之产生化学反应产生如气泡变色之类的问题，但是总线电极11就不一样，由于总线电极11为金属电极，且金属电极因为其活性较高，尤其是镉铜镉电极极易与空气、有机材料、酸等发生反应，造成电极氧化、电阻增大等缺陷。本发明实施例中，化学性质不稳定的总线电极11被透明电极12包覆住，与外界隔绝，即包覆的效果隔绝了高活性的金属电极与其他物质之间的接触，所以可以避免总线电极11因为接触反应产生的各项缺陷，也就避免了金属电极氧化现象的发生，即总线电极11就不会因为氧化而出现电阻变大的现象，避免了总线电极11导电不良甚至失去导电功能的现象出现，也就提高了制作质量，降低了生产成本。本发明另一实施例公开了一种上述电极结构的制作方法，包括步骤SI、提供一基板，所述基板为玻璃基板。步骤S2、在所述基板表面淀积金属电极层，通过光刻工艺在所述金属电极层上形成总线电极。具体过程包括在基板一侧的主面上通过真空溅射工艺形成金属电极层，然后在金属电极层表面涂覆光致刻蚀剂，形成光致刻蚀剂层，将带有一定图形的光掩模重叠在上面，经过精确对位，进行紫外线照射，在光致刻蚀剂层上形成总线电极图案，经显影后，除去总线电极图案处的光致刻蚀剂，形成总线电极图形，再以具有总线电极图形的光致刻蚀剂层为掩模，通过刻蚀工艺将总线电极图形下方的金属电极层材料去掉，形成总线电极，之后再去除光致刻蚀剂层。所述总线电极图案为光致刻蚀剂层表面上的二维图案，图案区域并不向下延伸，不具有立体形状；所述总线电极图形为具有立体形状的三维图形，该图形的厚度为光致刻蚀剂层的厚度。步骤S3、在所述总线电极和基板表面上淀积透明电极层，通过光刻工艺在所述透明电极层上形成透明电极，所述透明电极包覆住总线电极。具体过程包括采用真空溅射工艺在所述总线电极和基板表面上淀积透明电极层，所述透明电极层为氧化铟锌层或氧化铟锡层或石墨烯电极，然后，通过光刻工艺在所述透明电极层上形成透明电极，所述透明电极包覆住总线电极。本实施例所提供的电极结构的制作方法所制作的电极结构，由于透明电极将总线电极包覆住，而且透明电极均为非金属电极，其化学性质较稳定，不易发生氧化，并且由于总线电极为金属电极，即化学性质不稳定的总线电极被透明电极包覆住，与外界隔绝，也就避免了金属电极氧化现象的发生，即总线电极就不会因为氧化而出现电阻变大的现象，避免了总线电极导电不良甚至失去导电功能的现象出现。本发明又一实施例公开了一种等离子显示屏，，所述等离子显示屏包括第一基板，所述第一基板包括一电极结构，且所述电极结构为上述实施例所述的电极结构，即所述第一基板包括设置在第一玻璃基板表面上的总线电极和包覆住总线电极透明电极。前介质层，所述前介质层的制作材料优选为无铅玻璃材料，且所述前介质层设置在所述第一基板表面上，覆盖透明电极，此外，所述前介质层表面上还覆盖有保护层，所述保护层的制作材料优选为氧化镁。第二基板，所述第二基板包括地址电极，即所述第二基板包括第二玻璃基板和设置在第二玻璃基板表面上的地址电极，且所述第二基板具有地址电极的一面和第一基板具有前介质层的一面相对设置。后介质层，所述后介质层设置在所述第二基板与第一基板相对的表面上，且所述后介质层的制作材料优选为无铅玻璃材料。障壁，所述障壁设置在所述后介质层表面上，且所述障壁上涂覆有荧光粉层。可见，所述总线电极只是接触第一玻璃基板和透明电极，因为金属电极和玻璃以及金属氧化物之间不易发生化学反应，所以避免了金属电极氧化现象的发生，即总线电极就不会因为氧化而出现电阻变大的现象，避免了总线电极导电不良甚至失去导电功能的现象出现。需要说明的是，本实施例所述电极结构除了应用在等离子显示屏之外，还可以应用到具有类似的金属电极与透明电极相结合的装置之中。本发明又一实施例公开了一种用于等离子显示屏的制作方法，该方法包括以下步骤SI、提供第一基板和第二基板，且所述第一基板上设置上述实施例所述电极结构，即所述第一基板包括设置在第一玻璃基板表面上的总线电极和包覆住总线电极透明电极， 所述第二基板包括第二玻璃基板和设置缩水第二玻璃基板表面上的地址电极。具体的，在对两玻璃基板进行清洗后，可在第一玻璃基板上沿着纵向以一定的间距设置总线电极和透明电极，总线电极的形成具体包括在第一玻璃基板一侧的主面上通过真空溅射工艺形成金属电极层，然后在金属电极层表面涂覆光致刻蚀剂，形成光致刻蚀剂层，将带有一定图形的光掩模重叠在上面，经过精确对位，进行紫外线照射，在光致刻蚀剂层上形成总线电极图案，经显影后，除去总线电极图案处的光致刻蚀剂，形成总线电极图形，再以具有总线电极图形的光致刻蚀剂层为掩模，通过刻蚀工艺将总线电极图形下方的金属电极层材料去掉，形成总线电极，之后再去除光致刻蚀剂层。所述总线电极图案为光致刻蚀剂层表面上的二维图案，图案区域并不向下延伸，不具有立体形状；所述总线电极图形为具有立体形状的三维图形，该图形的厚度为光致刻蚀剂层的厚度。采用如同制作总线电极的光刻方法在总线电极表面上形成透明电极 ，且使得所述透明电极包覆住总线电极。在第二玻璃基板表面上设置地址电极，具体包括采用如同制作总线电极的光刻方法在第二玻璃基板表面上形成地址电极。S2、在所述第一基板上涂覆前介质层，所述前介质层完全覆盖透明电极和第一玻璃基板，具体包括在具有透明电极和总线电极的第一基板表面，涂覆包含前介质层材料的涂料，然后，焙烧涂覆的包含前介质层材料的涂料，形成前介质层，所述前介质层的制作材料优选为无铅玻璃材料。之后还包括在所述前介质层表面用化学气相淀积工艺形成保护层，所述保护层的制作材料优选为氧化镁。S3、在所述第二基板上涂覆后介质层，所述后介质层完全覆盖所述地址电极。在具有地址电极的第二基板表面涂覆包含后介质层材料的涂料，然后，焙烧涂覆的包含后介质层材料的涂料，形成后介质层，所述后介质层的制作材料优选为无铅玻璃材料。S4、在后介质层表面上每隔邻接的地址电极的间隙形成障壁，该障壁可以通过反复丝网印刷包含有障壁材料的涂料并进行焙烧形成，也可以采用喷砂的方法形成。形成障壁后，还包括在障壁的壁面和两个壁面之间露出的后介质层的表面上涂覆包含有红色荧光粉、绿色荧光法和蓝色荧光粉中任何一种材料的涂料并进行干燥和焙烧，分别形成荧光粉层。S5、将所述第一基板和所述第二基板对合、封排。对合过程具体包括在第二基板表面的后介质层的周边部分涂覆密封材料，接着将第一基板和第二基板设置成保护层与障壁相对的位置，且两个基板纵向正交的重叠在一起，在该状态将两基板送入高热炉，进行焙烧，密封材料熔融，将第一基板和第二基板粘合在一起。之后对两基板进行抽真空，充入工作气体，再进行封离作业。需要说明的是，上述等离子显示器的制作过程，制作第一基板和制作第二基板的顺序可以颠倒，即先制作第一基板再制作第二基板或是同时制作第一基板和第二基板，在此不做具体限定。另外，上述等离子显示器的制作过程相较于现有的制作等离子显示器的过程并未增加任何步骤和材料，所以本实施例所述的制作等离子显示器的方法并未增加任何成本。
本说明书中各个部分采用递进的方式描述，每个部分重点说明的都是与其他部分的不同之处，各个部分之间相同相似部分互相参见即可。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领 域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
权利要求
1.一种电极结构,其特征在于,包括 总线电极，所述总线电极设置在一基板表面上； 透明电极，所述透明电极设置在所述基板和总线电极表面上，且所述透明电极包覆住总线电极。
2.根据权利要求I所述电极结构，其特征在于，所述总线电极为镉铜镉电极。
3.根据权利要求I所述电极结构，其特征在于，所述总线电极为钥铝钥电极。
4.根据权利要求I所述电极结构，其特征在于，所述透明电极为氧化铟锡电极。
5.根据权利要求I所述电极结构，其特征在于，所述透明电极为氧化铟锌电极。
6.根据权利要求I所述电极结构，其特征在于，所述透明电极为石墨烯电极。
7.—种权利要求1-6所述电极结构的制作方法,其特征在于,包括 提供一基板； 在所述基板表面淀积金属电极层，通过光刻工艺在所述金属电极层上形成总线电极；在所述总线电极和基板表面上淀积透明电极层，通过光刻工艺在所述透明电极层上形成透明电极，所述透明电极包覆住总线电极。
8.一种等离子显示屏，其特征在于，包括第一基板，所述第一基板包括一电极结构，且所述电极结构为权利要求1-6所述电极结构； 前介质层，所述前介质层设置在所述第一基板表面上； 第二基板，所述第二基板包括地址电极，且所述第二基板具有地址电极的一面和第一基板具有前介质层的一面相对设置； 后介质层，所述后介质层设置在所述第二基板与第一基板相对的表面上；障壁，所述障壁设置在所述后介质层表面上。
全文摘要
本发明公开了一种电极结构，包括总线电极，所述总线电极设置在一基板表面上；透明电极，所述透明电极设置在所述基板和总线电极表面上，且所述透明电极包覆住总线电极。由于在本发明所公开的电极结构中，透明电极将总线电极包覆住，而且透明电极均为非金属电极，其化学性质较稳定，不易发生氧化，并且由于总线电极为金属电极，即化学性质不稳定的总线电极被透明电极包覆住，与外界隔绝，也就避免了金属电极氧化现象的发生，即总线电极就不会因为氧化而出现电阻变大的现象，避免了总线电极导电不良甚至失去导电功能的现象出现。
文档编号H01J9/02GK102623282SQ20121010683
公开日2012年8月1日 申请日期2012年4月12日 优先权日2012年4月12日
发明者叶飞 申请人:安徽鑫昊等离子显示器件有限公司