放电灯用阴极部件的制作方法

放电灯用阴极部件的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种耐久性高的放电灯用阴极部件。是具备线径2～35mm的躯干部、前端细的前端部的放电灯用阴极部件，上述阴极部件的特征在于：上述阴极部件由按照氧化物ThO2换算而含有0.5～3wt％的钍成分的钨合金构成，在上述躯干部的圆周方向截面中，以单位面积300μm×300μm的面积比观察钨的结晶时的、结晶粒径处于1～80μm的范围内的钨结晶为90％以上，并且在上述躯干部的侧面方向截面中，以单位面积300μm×300μm的面积比观察钨的结晶时的、结晶粒径处于10～120μm的范围内的钨结晶为90％以上。
【专利说明】放电灯用阴极部件

【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种放电灯用阴极部件。

【背景技术】
[0002] 放电灯大致区分分为低压放电灯和高压放电灯的2种。低压放电灯可以列举一般 照明、用于道路、隧道等的特殊照明、涂料硬化装置、UV硬化装置、杀菌装置、半导体等的光 清洗装置等各种电弧放电型的放电灯。另外，高压放电灯可以列举上下水的处理装置、一般 照明、体育场等的室外照明、UV硬化装置、半导体、印刷基板等的曝光装置、晶圆检查装置、 投影仪等的高压水银灯、金属齒化物水银灯、超高压水银灯、氙气灯、钠蒸气灯等。这样，放 电灯被用于照明装置、制造装置等各种装置。
[0003] 放电灯用阴极部件使用以前包含氧化钍（Th02)的钨合金。在日本特开 2002-226935号公报中，公开了通过将钍和钍化合物的平均粒径设为0. 3 μ m以下而使其细 微分散来提高耐变形性的含钍的钨合金。
[0004] 现有技术文献
[0005] 专利文献
[0006] 专利文献1 :日本特开2002-226935号公报


【发明内容】

[0007] 在上述日本特开2002-226935号公报中，使用直径3mm的线圈调查耐变形性。如 果是由上述公报所记载的含钍的钨合金构成的线圈，则的确耐变形性提高。另一方面，放电 灯的阴极部件是施加10V以上、进而数百V的电压而发挥放射特性的部件。在施加这样大 的电压的情况下，如在日本特开2002-226935号公报中提出的那样，对于细致分散了具有 0. 3 μ m以下的平均粒径的钍所得的材料，钍马上蒸发，因此存在放电灯的寿命短的问题。
[0008] 另外，在使平均粒径为0. 3μ以下那样的细微的钍均匀分散时，制造工序的负荷 大。如果钍的分散状态不均匀，则在阴极部件内产生放射的产生位置的不均匀，从该点出 发，也难以长寿命化。
[0009] 本发明用于解决这样的问题，其目的在于：提供一种例如在施加10V以上的高电 压的放电灯中能够达到长寿命的阴极部件。
[0010] 本发明的放电灯用阴极部件具备线径2?35mm的躯干部、前端细的前端部，该放 电灯用阴极部件的特征在于：上述阴极部件由按照氧化物Th02换算而含有0. 5?3wt%的 ?土成分的鹤合金构成，在上述躯干部的圆周方向截面中，以单位面积300 μ mX 300 μ m的面 积比观察钨的结晶时的、结晶粒径处于1?80 μ m的范围内的钨结晶为90%以上，并且在上 述躯干部的侧面方向截面中，以单位面积300 μ mX300 μ m的面积比观察钨的结晶时的、结 晶粒径处于10?120 μ m的范围内的鹤结晶为90%以上。
[0011] 另外，在本发明的实施方式中，理想的是在上述躯干部的圆周方向截面中，以单位 面积300 μ mX 300 μ m的面积比观察杜成分颗粒时的、粒径处于1?15 μ m的范围内的杜成 分颗粒为90%以上，并且在上述躯干部的侧面方向截面中，以单位面积300μπιΧ300μπι的 面积比观察钍成分颗粒时的、粒径处于1?30 μ m的范围内的钍成分颗粒为90%以上。
[0012] 另外，在本发明的实施方式中，理想的是上述钨的结晶在圆周方向截面中长宽比 不足3,在侧面方向截面中长宽比为3以上。
[0013] 另外，在本发明的实施方式中，理想的是Mo含有量为0.005wt%以下。
[0014] 另外，在本发明的实施方式中，理想的是Fe含有量为0. 003wt %以下。
[0015] 另外，在本发明的实施方式中，理想的是比重在17?19g/cm3的范围内。
[0016] 另外，在本发明的实施方式中，理想的是硬度（HRA)在55?80的范围内。
[0017] 另外，在本发明的实施方式中，理想的是表面粗糙度Ra为5μπι以下。
[0018] 另外，在本发明的实施方式中，阴极部件也可以用于施加电压为100V以上的放电 灯。
[0019] 根据本发明，通过在躯干部的截面方向和侧面方向截面的双方控制钨结晶大小， 能够实现具有优良的放射特性和高温强度的放电灯用阴极部件。因此，使用它的放电灯能 够变得长寿命。

【专利附图】

【附图说明】
[0020] 图1是表示本发明的阴极部件的一个例子的图。
[0021] 图2是表示圆周方向截面的一个例子的图。
[0022] 图3是表示侧面方向截面的一个例子的图。
[0023] 图4是表示本发明的阴极部件的一个例子的图。
[0024] 图5是表示本发明的放电灯的一个例子的图。

【具体实施方式】
[0025] 本发明的放电灯用阴极部件具备线径2?35_的躯干部、前端细的前端部，由按 照氧化物（Th0 2)换算而含有0.5?3wt%的钍成分的钨合金构成。另外，在本发明中，其特 征在于：在上述躯干部的圆周方向截面中，以单位面积300 μ mX300 μ m的面积比观察钨的 结晶时的、结晶粒径处于1?80 μ m的范围内的鹤结晶为90%以上，并且，在上述躯干部的 侧面方向截面中，以单位面积300 μ mX300 μ m的面积比观察钨的结晶时的、结晶粒径处于 10?120 μ m的范围内的钨结晶为90%以上。
[0026] 首先，钍成分是指金属钍、氧化钍的1种或2种。本发明的放电灯用阴极部件按照 氧化物（Th02)换算而含有0. 5?3wt %的钍成分。在不满0. 5wt %时添加的效果小，如果 超过3wt%，则烧结性和加工性降低。因此，理想的是钍成分的含有量按照氧化物（Th02)换 算为0· 8?2. 5wt%的范围。
[0027] 另外，阴极部件具备线径2?35mm的躯干部和前端细的前端部。在图1和图4中， 表示了本发明的放电灯用阴极部件的一个例子。在图中，1是阴极部件，2是躯干部，3是前 端部。躯干部2是圆柱形状，躯干部2的直径是2?35mm。另外，理想的是躯干部2的长 度是10?600mm。如上述那样，放电灯的用途有各种领域，对其要求的亮度也有各种各样。 因此，与所要求的亮度对应地，改变阴极部件的躯干部的粗度（直径）。另外，关于躯干部的 长度，也与放电灯的大小一致地改变。
[0028] 另外，前端部3如图1所示，例示截面梯形形状，在图4中例示截面三角形状。另 夕卜，对于截面三角形状，前端不必须是锐角，也可以是R形状。另外，在本发明中，前端部的 形状并不限于上述2种，只要能够用作放电灯用阴极部件，则并没有特别限定。阴极部件必 须前端部是前端细的形状。在放电灯中，相对地组装一对阴极部件。如果前端部是前端细 的形状，则能够高效地进行一对阴极部件之间的放电。
[0029] 在本发明中，必须是在躯干部的圆周方向截面中，以单位面积300μπιΧ300μπι的 面积比观察钨的结晶时的、结晶粒径处于1?80 μ m的范围内的钨结晶为90%以上，并且在 躯干部的侧面方向截面中，以单位面积300 μ mX300 μ m的面积比观察钨的结晶时的、结晶 粒径处于10?120 μ m的范围内的钨结晶为90%以上。在图2中表示出躯干部的圆周方向 截面的一个例子，在图3中表不出躯干部的侧面方向截面的一个例子。圆周方向截面如图 2所示与侧面垂直地取截面。只要在侧面中是垂直的，取截面的位置是任意的，但理想的是 在躯干部长度的中心的截面中进行测定。另外，侧面方面截面取与侧面平行的截面。只要 与侧面平行，则取截面的位置是任意的，但理想的是将躯干部长度的中心的截面作为圆周 方向截面，在其中点在垂直方向上取侧面方向截面。
[0030] 在本发明中，其特征在于：在上述躯干部的圆周方向截面中，以单位面积 300 μ mX 300 μ m的面积比观察钨的结晶时的、结晶粒径处于1?80 μ m的范围内的钨结晶 为90%以上。粒径处于1?80 μ m的范围的钨结晶在面积比上为90%以上表示在单位面 积300 μ mX 300 μ m中，粒径不满1 μ m和超过80 μ m的钨结晶颗粒在面积比上不满10 %。 艮P，表不粒径不满1 μ m的微小结晶和粒径超过80 μ m的粗大结晶的比例少。另外，理想的 是在躯干部的圆周方向截面中，结晶粒径处于1?80 μ m的范围内的钨结晶在面积比上为 100%。
[0031] 另外，在本发明中，其特征在于：在躯干部的侧面方向截面中，以单位面积 300 μ mX 300 μ m的面积比观察钨的结晶时的、结晶粒径处于10?120 μ m的范围内的钨结 晶为90%以上。粒径处于10?120 μ m的范围的鹤结晶颗粒在面积比上为90%以上表不 在单位面积300 μ mX 300 μ m中，粒径不满10 μ m和超过120 μ m的钨结晶颗粒在面积比上 不满10%。另外，理想的是在躯干部的侧面方向截面中，结晶粒径处于1?80 μ m的范围内 的钨结晶在面积比上为100%。
[0032] 钨的结晶颗粒的大小对阴极部件的强度、放射特性产生影响。成为放射材料的钍 成分分散在钨结晶之间的粒界。通过将钨结晶大小设为上述范围，能够三维地控制钍成分 分散的钨结晶之间的粒界的均匀性。即，不是简单地一个方向的截面组织，而是控制躯干部 的圆周方向截面和侧面方向截面的双方，能够使钨结晶之间的粒界三维地均匀存在。其结 果是能够使钍成分的分散状态均匀。另外，如果从均匀分散的观点出发，则理想的是在躯干 部的圆周方向截面中，在以单位面积300 μ mX 300 μ m的面积比观察钨的结晶时，结晶粒径 处于2?30 μ m的范围内的钨结晶为90 %以上，并且在躯干部的侧面方向截面中，在以单位 面积300 μ mX 300 μ m的面积比观察钨的结晶时，结晶粒径处于15?50 μ m的范围内的钨 结晶为90%以上。
[0033] 另外，理想的是在躯干部的圆周方向截面中，在以单位面积300 μ mX300 μ m的面 积比观察躯干部所含有的钍成分颗粒时，粒径处于1?15 μ m的范围内的钍成分颗粒为 90%以上，并且在躯干部的侧面方向截面中，以单位面积300 μ mX300 μ m的面积比观察钍 成分颗粒时的、粒径处于1?30 μ m的范围内的钍成分颗粒为90%以上。可以使用与观察 钨结晶颗粒时相同的截面照片测定钍成分颗粒的粒径。钍成分是金属钍或氧化钍（Th02)。 钍成分颗粒的粒径大小的测定使用放大照片，求出其中拍摄的钍成分颗粒的最大直径。如 果钍成分颗粒的粒径是上述的范围，则容易均匀地分散在钨结晶粒界。如果钍成分颗粒以 规定大小均匀分散，则放射特性提高。另外，放射造成的钍成分颗粒的蒸发均匀化，其结果 是阴极部件变得长寿命化。如果能够实现阴极部件的长寿命化，则能够使得放电灯长寿命 化。特别地放射特性也提高，因此能够保持放电灯的亮度地谋求长寿命化。另外，理想的是 钍成分颗粒在在躯干部的圆周方向截面中，粒径处于1?15 μ m的范围内的钍成分颗粒为 100%，在躯干部的侧面方向截面中，粒径处于1?30μπι的范围内的钍成分颗粒为100%。
[0034] 理想的是钨的结晶在圆周方向截面中长宽比不满3,在侧面方向截面中长宽比为 3以上。如果圆周方向截面的钨结晶的长宽比不满3,则躯干部的圆周方向截面的钨结晶成 为椭圆形状或接近圆形形状的结晶构造。另外，侧面方向截面的钨结晶的长宽比为3以上， 则躯干部的侧面方向截面的钨结晶成为细长的纤维状的结晶构造。长宽比为3以上的纤维 状的结晶成束（烧结体），由此能够提高强度。从提高强度的观点出发，可以考虑将圆周方 向截面中的钨的结晶的长宽比设为3以上而成为纤维状组织。如果圆周方向截面和侧面方 向截面的双方是长宽比3以上，则强度提高，但加工性降低。如果纤维状结晶成为随机取 向，则容易发生拉线加工时的因与拉模的接触造成的断线。如果只在侧面方向截面中，钨的 结晶是纤维状，则与拉模的接触是平滑，能够抑制拉线加工时的断线。另外，如果纤维状结 晶成为随机取向，则在将前端加工为前端细的形状时，磨石和钨结晶的接触角度是随机的， 切削量产生离散。如果切削量产生离散，则均匀加工前端部会花费时间。另外，如果与磨石 的接触角度是随机的，则磨石的消耗加快，其结果是成为成本提高的因素。
[0035] 另外，本发明的阴极部件也可以含有0. 001?0. Olwt %的Κ(钾）、Α1 (铝）、 Si (硅）的至少一种。K、Al、Si作为添加剂材料而发挥功能，通过添加对再结晶组织的控制 有效果。
[0036] 另外，理想的是在本发明的阴极部件中，Mo含有量为0.005wt%以下，Fe含有量为 0. 003wt%以下。本发明的鹤合金也可以合计含有0. lwt%以下（包含0)的杂质金属成分。 在杂质金属成分中，Mo(钥）和Fe(铁）是容易混合到原料中或制造工序中的成分。如果 Mo超过0.005wt% (50wtppm)或Fe超过0.003wt% (30wtppm)，贝lj鹤合金的高温强度有可 能降低。另外，作为Mo和Fe以外的杂质，可以列举Ni、Cr、Cu、Ca、Mg、C。理想的是分别是 Ni (镍）为lOwtppm以下，Cr (铬）为lOwtppm以下，Cu (铜）为lOwtppm以下，Ca( |丐）为 lOwtppm 以下，Mg(镁）为 lOwtppm 以下，Na(钠）为 lOwtppm 以下，C(碳）为 lOwtppm 以 下。另外，理想的是杂质成分分别是0% (检出限界以下）。
[0037] 此外，各成分的分析方法如下。通过氯化氢气体挥发量分离-重量法分析钍成分。 另外，通过氧分解-原子吸光法分析K、Na。另外，通过氧分解-ICP发光分光法分析Al、Si、 Fe、Ni、Cr、Mo、Cu、Ca、Mg。另外，通过高频诱导加热炉燃烧-红外线吸收法分析C。
[0038] 另外，理想的是本发明的阴极部件的比重在17?19g/cm3的范围内。如果比重不 满17g/cm 3则成为密度低、空隙度多的状态，有时作为部件的强度降低，另外如果比重超过 19g/cm3,则有时无法得到更多的效果。
[0039] 另外，理想的是本发明的阴极部件的硬度（HRA)在55?80的范围内。如果硬度 不满55,则作为部件的强度不足，有可能寿命变短。另外，如果硬度超过80,则过硬而有可 能加工性降低。硬度（HRA)的理想范围是60?70。另外，在硬度（HRA)的调制中，进行上 述那样的钨结晶大小、比重的调制是有效的。另外，使用120°金刚石圆锥压头，通过试验载 荷60kg进行硬度（HRA)的测定。
[0040] 另外，理想的是本发明的阴极部件的表面粗糙度Ra为5 μ m以下。特别理想的是 对于前端部，表面粗糙度Ra为5 μ m以下，进一步希望小于等于3 μ m。如果表面凹凸大，则 放射特性降低。
[0041] 如果是以上那样的放电灯用阴极部件，则能够应用于各种放电灯。因此，即使施加 施加电压为100V以上那样大的电压，也能够成为长寿命。另外，并不特别受到上述那样的 低压放电灯、高压放电灯等使用限制，另外，能够应用到躯干部的线径为2?35mm、线径为 从2mm以上、不满10mm的细线、到10mm以上、35mm以下的粗线。
[0042] 接着，说明本发明的阴极部件的制造方法。本发明的阴极部件只要具有上述的结 构，则制造方法没有特性限定，但作为用于高效得到的制造方法列举如下。
[0043] 首先，作为钨合金的制造方法，调制含有钍成分的钨合金粉末。钨合金粉末的调制 可以列举湿式法和干式法。
[0044] 在湿式法中，首先实施调制钨成分粉末的工序。钨成分粉末可以列举钨酸铵（APT) 粉末、金属钨粉末、氧化钨粉末。钨成分粉末既可以是它们的1种，也可以使用2种以上。 另外，钨酸铵粉末的比较价格便宜，因此是理想的。另外，理想的是钨成分粉末为平均粒径 5 μ m以下。
[0045] 另外，在使用钨酸铵粉末时，在大气中或非活性气氛（氮气、氩气等）中将钨酸铵 粉末加热到400?600°C，使钨酸铵粉末变化为氧化钨粉末。在不满400°C时向氧化钨的变 化不充分，如果超过600°C则氧化钨的颗粒变得粗大，在后面工序中难以与氧化钍粉末均匀 分散。通过该工序，调制氧化钨粉末。
[0046] 接着，实施将钍成分粉末和氧化钨粉末添加到溶液中的工序。钍成分粉末可以列 举金属钍粉末、氧化钍粉末、硝酸钍粉末。其中，硝酸钍粉末是理想的。硝酸钍粉末是容易 在液体中均匀混合的成分。通过该工序，调制含有钍成分和氧化钨粉末的溶液。另外，理想 的是进行添加使得成为与作为最终目的的氧化钍浓度相同、或稍多的浓度。另外，理想的是 钍成分粉末为平均粒径5μπι以下。另外，理想的是溶液是纯水。
[0047] 接着，实施使含有钍成分和氧化钨粉末的溶液的液体成分蒸发的工序。接着，实施 分解工序，即在大气气氛中在400?900°C下进行加热，使硝酸钍等钍成分成为氧化钍。通 过该工序，能够调制氧化钍粉末和氧化钨粉末混合了的混合粉末。另外，理想的是测定所得 到的氧化钍粉末和氧化钨粉末混合了的混合粉末的氧化钍浓度，在浓度低的情况下，追加 氧化钨粉末。
[0048] 接着，实施以下的工序，即在氢等还原气氛中，在750?950°C下加热氧化钍粉末 和氧化钨粉末混合了的混合粉末，将氧化钨粉末还原为金属钨粉末。通过该工序，能够调制 含有氧化杜粉末的鹤粉末。
[0049] 另外，干式法首先准备氧化钍粉末。接着，实施通过球磨机粉碎混合氧化钍粉末的 工序。通过该工序，能够分解凝集的氧化钍粉末，能够降低凝集的氧化钍粉末。另外，在混 合工序时，也可以添加少量的金属鹤粉末。
[0050] 理想的是针对粉碎混合了的氧化钍粉末，根据需要，进行筛取而去除没有完全粉 碎的凝集粉或粗大颗粒。另外，理想的是通过筛取，去除超过最大直径10 μ m的凝集粉或粗 大颗粒。
[0051] 接着，实施混合金属钨粉末的工序。添加金属钨粉末使得成为作为最终目的的氧 化韦土浓度。将氧化杜粉末和金属鹤粉末的混合粉末加入到混合容器中，使混合容器旋转而 均匀地混合。这时，混合容器为圆筒形状，使其在圆周方向上旋转，由此能够平滑地混合。通 过该工序，能够调制含有氧化钍粉末的钨粉末。
[0052] 通过以上那样的湿式法或干式法，能够调制含有氧化钍粉末的钨粉末。在湿式法 和干式法中，湿式法是理想的。干式法一边使混合容器旋转一边进行混合，因此原料粉末和 容器摩擦而容易混入杂质。另外，氧化钍粉末的含有量是〇. 5?3wt%。
[0053] 接着，使用所得到的含有氧化钍粉末的钨粉末调制成形体。在形成成形体时，根据 需要，可以使用粘合剂。另外，理想的是成形体是直径3?50mm的圆柱形状。另外，成形体 的长度是任意的。
[0054] 接着，实施对成形体进行预备烧结的工序。理想的是在1250?1500°C下进行预备 烧结。通过该工序，能够得到预备烧结体。
[0055] 接着，实施对预备烧结体进行通电烧结的工序。理想的是通电烧结进行通电使得 烧结体成为2100?2500°C的温度。在温度不满2KKTC时，无法充分致密化，有时强度降 低。另外，如果超过2500°C，则氧化钍颗粒和钨颗粒过于颗粒成长，有时无法得到作为目的 的结晶组织。通过该工序，能够得到含有氧化钍的钨烧结体。另外，如果预备烧结体是圆柱 形状，则烧结体也成为圆柱形状。
[0056] 接着，实施以下工序，即通过锻造加工、压延加工、拉线加工等，调整圆柱状烧结体 (铸锭）的线径。理想的是这时的加工率在30?70%的范围内。在此，"加工率"是在将加 工前的圆柱状烧结体的截面积设为A，将加工后的圆柱状烧结体的截面积设为B时，通过加 工率=[(A-B)/A]X 100%求出的。另外，理想的是通过多次的加工进行线径的调整。通过 进行多次的加工，能够对加工前的圆柱状烧结体的气孔进行回炉，得到密度高的阴极部件。
[0057] 例如，使用将直径25mm的圆柱状烧结体加工为直径20mm的圆柱状烧结体的情况 进行说明。直径25mm的圆的截面积A是460. 6mm2,直径20mm的圆的截面积B是314mm2， 因此加工率为32%= [(460. 6-314)/460. 6] X 100%。这时，理想的是通过多次的拉线加工 等，从直径25mm加工到直径20mm。
[0058] 另外，如果加工率低到不满30%，则结晶组织没有充分向加工方向延伸，钨结晶和 钍成分颗粒难以成为目的的大小。另外，如果加工率小到不满30%，有可能加工前的圆柱状 烧结体内部的气孔不充分破碎而保持残存。如果存在内部气孔，则成为阴极部件的耐久性 等降低的原因。另一方面，如果加工率大到超过70%，则有可能由于过于加工而断线，生产 率降低。因此，理想的加工率是30?70%，更理想的是35?55%。
[0059] 另外，在将线径加工为2?35mm后，切断为必要的长度，由此成为阴极部件。另外， 根据需要，也可以进行研磨加工、热处理、形状加工。
[0060] 根据以上那样的制造方法，能够高效地制造本发明的放电灯用阴极部件。
[0061] 实施例1?5
[0062] 在大气中将平均粒径3 μ m的钨酸铵（APT)粉末加热为500°C，使钨酸铵粉末变化 为氧化钨粉末。接着，向氧化钨粉末添加平均粒径3 μ m的硝酸钍粉末，添加纯水，然后搅拌 15小时以上而均匀地混合。接着，使水分完全蒸发，得到硝酸钍粉末和氧化钨粉末均匀地 混合了的混合粉末。接着，在大气中在500°C下进行加热，使硝酸钍粉末变化为氧化钍。接 着，在氢气氛中（还原气氛中）在800°C下进行热处理，使氧化钨粉末还原为金属钨粉末。 由此，调制氧化钍粉末和金属钨粉末的混合粉末（第一原料粉末）。
[0063] 另外，与上述分别地，在氮气氛中将平均粒径2μπι的钨酸铵（APT)粉末加热为 450°C，使钨酸铵粉末变化为氧化钨粉末。接着，在氢气氛中（还原气氛中）在700°C下进行 热处理，将氧化钨粉末还原为金属钨粉末。由此，调制金属钨粉末（第二原料粉末）。
[0064] 向上述得到的第一原料粉末添加第二原料粉末，作为实施例1准备钍成分在氧化 钍（Th02)换算下为0. 5wt%的钨粉末。同样，作为实施例2准备钍成分在氧化钍（Th02)换 算下为1. Owt%的钨粉末，作为实施例3准备钍成分在氧化钍（Th02)换算下为1. 5wt%的钨 粉末，作为实施例4准备钍成分在氧化钍（Th02)换算下为2. Owt %的钨粉末，作为实施例5 准备钍成分在氧化钍（Th02)换算下为2. 5wt%的钨粉末。
[0065] 使用如上述那样得到的原料粉末（实施例1?5)，根据表1所示的条件，制作圆柱 状烧结体（铸锭），调整线径，由此得到具有规定的加工率的放电灯用阴极部件。此外，通过 多次的拉线加工进行线径的调整。另外，进行研磨使得表面粗糙度成为Ra5 μ m以下。
[0066] 表 1
[0067]

【权利要求】
1. 一种放电灯用阴极部件，具备线径2?35mm的躯干部、前端细的前端部，该放电灯用 阴极部件的特征在于： 上述阴极部件由按照氧化物Th02换算而含有0. 5?3wt%的杜成分的鹤合金构成， 在上述躯干部的圆周方向截面中，以单位面积300 μ mX 300 μ m的面积比观察钨的结 晶时的、结晶粒径处于1?80 μ m的范围内的鹤结晶为90%以上，并且 在上述躯干部的侧面方向截面中，以单位面积300 μ mX300 μ m的面积比观察钨的结 晶时的、结晶粒径处于10?120 μπι的范围内的鹤结晶为90 %以上。
2. 根据权利要求1所述的放电灯用阴极部件，其特征在于： 在上述躯干部的圆周方向截面中，以单位面积300 μ mX 300 μ m的面积比观察钍成分 颗粒时的、粒径处于1?15 μ m的范围内的钍成分颗粒为90%以上，并且 在上述躯干部的侧面方向截面中，以单位面积300 μ mX300 μ m的面积比观察钍成分 颗粒时的、粒径处于1?30 μ m的范围内的钍成分颗粒为90%以上。
3. 根据权利要求1或2所述的放电灯用阴极部件，其特征在于：上述钨的结晶在圆周 方向截面中长宽比不足3,在侧面方向截面中长宽比为3以上。
4. 根据权利要求1?3的任意一项所述的放电灯用阴极部件，其特征在于：Mo含有量 为0· 005wt%以下。
5. 根据权利要求1?4的任意一项所述的放电灯用阴极部件，其特征在于：Fe含有量 为0· 003wt%以下。
6. 根据权利要求1?5的任意一项所述的放电灯用阴极部件，其特征在于：比重在 17?19g/cm3的范围内。
7. 根据权利要求1?6的任意一项所述的放电灯用阴极部件，其特征在于：硬度HRA在 55?80的范围内。
8. 根据权利要求1?7的任意一项所述的放电灯用阴极部件，其特征在于：表面粗糙 度Ra为5 μ m以下。
9. 根据权利要求1?8的任意一项所述的放电灯用阴极部件，其特征在于：用于施加 电压为100V以上的放电灯。
【文档编号】H01J61/06GK104115254SQ201380009347
【公开日】2014年10月22日 申请日期:2013年2月13日 优先权日:2012年2月15日
【发明者】青山齐, 馆泽正博, 北森升 申请人:株式会社东芝, 东芝高新材料公司