线放电加工机的控制装置、线放电加工机的控制方法与流程

本发明涉及一种线放电加工机的控制装置、线放电加工机的控制方法。

背景技术：

放电加工装置是通过使加工用电极和被加工物之间(极间)产生电弧放电而对被加工物进行加工的装置。放电加工装置需要用于使极间产生放电的电源。如果在极间施加高电压、或者使极间的距离变短而提高电场强度，则由于绝缘破坏而产生放电，对被加工物进行去除加工。在放电结束、绝缘恢复之后进行再次放电时，极间的距离变宽，因此需要对极间施加高电压、或者使极间变窄而提高电场强度。

另外，在使用放电加工装置的加工中，根据目标尺寸和表面粗糙度的精度的不同而一边改变加工条件一边进行多次重复加工。存在首先从被加工物加工出目标形状的工序(第1次加工，以后称为第1加工)，存在然后匹配目标而提高形状的精度、使表面粗糙度变小的工序(形状修正加工)。

在加工工序之中的第1加工中，为了提高生产率而要求高速度化，在为了进行高速加工而投入高能量的过程中，加工形状与目标形状产生偏离。作为其原因，可以想到为了防止在高速加工时断线而提高所喷射的液压、基于加工次数而引起的导线张力的变动、以及由于加工时的残留应力而在加工物发生畸变。这样，由于在第1加工中产生下述问题，即，在加工中，发生加工用电极的随机性的动作、被加工物的难以预想的膨胀、收缩、加工后的被加工物的形状与目标形状偏离的问题，因此需要在第1加工之后对形状进行修正的工序。

在形状修正加工中，要求一边对在第1加工中发生的形状的偏离进行修正、一边提高表面粗糙度的精度。然而，在第1加工中形状相对于加工行进方向沿哪个方向偏离多少是根据加工样本的形状、加工行进方向、加工条件等而变化的。在形状修正加工中，要求即使要修正的加工量由于加工场所、对应于加工行进方向的方向而变化，也要按目标尺寸进行加工的能力。如果在形状修正加工中不能按目标尺寸对形状进行修正，则极间距离会由于加工场所而变化，表面粗糙度的波动变大的可能性提高。

因此，为了提高形状修正能力，通常采用下述控制方式，即，作为对放电加工中的加工状态进行检测的手段而监视极间平均加工电压，以使得极间平均加工电压成为设定电压的方式控制相对移动速度。

专利文献1：日本特开2011－110649(第6、7页、图1、图2)

专利文献2：日本特开平10－138048(第2页、图1)

背景技术

然而，形状修正加工的加工量依赖于在被加工物的前加工工序中残留的程度，即使在一个加工形状之中也不始终限于恒定。实际上，根据加工机的构造、加工液压、被加工物的畸变，进行加工的量由于加工面(X+、Y+、X－、Y－)而变化。图1是表示形状修正加工的加工量根据第1加工后的被加工物的形状而变化的情况的图。虚线是第1加工的设定形状(被编程为第1加工用的目标形状)，实线是实际的第1加工后的形状，点划线是形状修正加工的设定形状(被编程为形状修正加工用的目标形状)。根据相对于第1加工的设定形状的偏离，形状修正加工中的加工量相对于设定值而增减。因此，即使采用现有的控制方式，也存在不能按尺寸加工的问题，该现有的控制方式以使形状修正加工中测定出的平均电压与所设定的电压一致的方式对加工速度进行控制。

因此，作为在形状修正加工中通过现有的控制方式所实现的控制不充分的原因，发明人们想到形状修正加工特有的两个原因。首先，第一个是，仅利用加工中的极间平均加工电压不能完全测定侧间隙和前间隙的差。这里，前间隙是指由在加工用电极的行进方向正进行的放电所生成的加工用电极和被加工物之间的距离，侧间隙是指在与加工行进方向垂直的方向生成的加工用电极和被加工物之间的距离。另外，作为形状修正加工的重要作用的形状修正是使侧间隙恒定。图2是表示加工用电极与被加工物的位置关系、和前间隙、侧间隙的定义的图。极间平均加工电压能够对产生了放电的情况进行监视，但不知道在哪里产生了放电。然而，通过本次实验判明，即使实际上以将极间平均加工电压设为恒定的方式进行加工，侧间隙也会由于加工速度而无法成为恒定，可知为了提高形状修正加工的精度而仅使极间平均加工电压恒定的控制是不充分的。

作为现有的控制方式不充分的原因之二，认为是表示进行放电的范围的放电间隙随着时间而生长的现象。这里，放电间隙可以解释为在加工用电极和被加工物之间能够产生放电的距离。放电间隙的生长是指下述现象，即，如果使加工用电极与被加工物以不短路的长度充分接近地进行放电，则与被加工物的距离随着时间而变大。能够产生放电的极间距离为小于或等于几十微米，在一次放电中放电间隙扩展几个微米。在形状修正加工中，加工用电极与被加工物的位置关系如图2所示。在加工用电极相对于被加工物而移动的情况下，在速度大的情况下加工在侧间隙扩展之前进行，在速度小的情况下在直至侧间隙扩展至接近能够产生放电的极间距离的最大值的同时进行加工。在现有的控制方式中未考虑到放电间隙的生长，因此对于使侧间隙恒定而言是不充分的。

例如在专利文献1中，在以使得加工用电极和被加工物之间的极间平均加工电压成为设定电压的方式对相对移动速度进行控制的方式中，存在与加工条件(加工用电极的直径、被加工物的材质、被加工物的板厚)相应的校正系数的表，利用校正系数而对极间平均加工电压进行校正。即，通过恒定的系数以恒定的校正值增减而对极间平均加工电压进行校正，因此在一个加工条件下具有恒定的校正值。

另外，在专利文献2中提出了下述技术，即，在多台相同结构的装置中，为了提高相同条件下的加工精度的再现性而对极间平均加工电压值进行校正。在电极和被加工物之间施加电压，对断开状态的平均断开电压进行测量，极间平均加工电压值的校正值根据规定的基准电压值而进行设定。专利文献2的控制是利用所述的校正系数而对在加工中测量的极间平均加工电压值进行校正，对相对移动速度进行控制以达到设定电压。

然而，在专利文献1及2中，提示了基于事先加工的结果而统一进行校正的方法，在该方法中，在一个加工形状的加工中仅具有恒定的校正值，因此存在下述问题，即，不能对应于在一个加工形状之中产生的加工量的波动而进行形状修正。

本发明就是为了解决上述课题而提出的，得到一种线放电加工机，该线放电加工机一边进行加工一边检测加工状态，以对应于该状态而使得侧间隙恒定的方式对设定电压或者极间平均加工电压的至少任一者进行校正，由此能够提高加工精度。

在本发明所涉及的线放电加工机的控制装置中，该线放电加工机具有对应于设定电压和极间平均加工电压的差值而对加工速度进行控制的控制装置，所述线放电加工机的控制装置的特征在于，控制装置对应于加工速度的变化而对设定电压或者极间平均加工电压的至少任一者进行校正。

发明的效果

本发明对应于加工速度控制部所计算出的加工速度和预先设定的设定速度的差值而对设定电压或者极间平均加工电压的至少任一者进行校正，因此能够使侧间隙恒定，能够提高加工精度。

附图说明

图1是表示形状修正加工的加工量根据第1加工后的被加工物的形状而变化的情况的图。

图2是表示加工用电极与被加工物的位置关系和前间隙、侧间隙的定义的图。

图3是表示本发明的实施方式1的线放电加工机的框图。

图4是表示进行现有的控制的线放电加工机的框图。

图5是表示在形状修正加工时所测定的极间平均加工电压与侧间隙的关系的一个例子的图形。

图6是表示在形状修正加工时所测定的极间平均加工电压、加工速度及侧间隙的关系的图形。

图7是表示本发明的实施方式1的线放电加工机中的控制过程的框图。

图8是表示通过本发明的实施方式1的线放电加工机中的控制实现的加工速度与通过现有控制实现的加工速度的对比的图形。

图9是表示本发明的实施方式2的线放电加工机的构造和控制结构的图。

图10是表示本发明的实施方式2的线放电加工机中的控制过程的框图。

图11是表示通过本发明的实施方式2的线放电加工机中的控制实现的加工速度和通过现有控制实现的加工速度的对比的图形。

图12是表示通过本发明的实施方式3的线放电加工机中的控制实现的加工速度和通过现有控制实现的加工速度的对比的图形。

图13是表示通过本发明的实施方式4的线放电加工机中的控制实现的加工速度和通过现有控制实现的加工速度的对比的图形。

具体实施方式

实施方式1.

图3是表示本发明的实施方式1的线放电加工机的框图。本发明的线放电加工机首先由加工用电极3、电源部90、控制部101构成。电源部90由对加工用电极3和被加工物4之间施加电压的加工用电源2、以及对加工用电源2的接通、断开进行控制的加工用电源控制部1构成。这里，对于电源部90及机械构造的详细内容(电路上存在的开关、电感、电阻、电导的数量和配置)的说明，由于与本发明的主旨不同，因此省略。

在控制部101中，根据加工用电极3和被加工物4之间的极间平均加工电压而对加工速度(加工用电极3和被加工物4的相对速度)进行控制。控制部101在对极间平均加工电压进行检测的极间平均加工电压检测部5、对测定出的极间平均加工电压和设定电压的差进行运算的电压运算部7、对用于以规定的平均电压进行加工的设定电压进行存储的设定电压存储部6、加工速度控制部8、驱动控制装置9的基础上，由对用于以规定的加工速度进行加工的设定速度进行存储的设定速度存储部10、电压校正值运算部11、极间平均加工电压校正部12构成。

此外，本发明中新提出的是设定速度存储部10、电压校正值运算部11和极间平均加工电压校正部12。

这里，首先对现有的控制进行说明。图4是表示进行现有的控制的线放电加工机的框图。对于与图3相同的结构部标注相同的标号。现有的控制部100由极间平均加工电压检测部5、电压运算部7、设定电压存储部6、加工速度控制部8、驱动控制装置9构成。

对现有的线放电加工机的加工中的控制动作进行说明。为了使放电连续发生而进行加工，从电源部90将电压施加至极间，在极间平均加工电压检测部5中对每规定时间的极间平均加工电压进行测定。能够根据每规定时间的极间平均加工电压对放电频率、加工量等放电状况进行推定。被认定为适当的放电频率、加工量等根据加工条件而不同，根据目的而决定适当的极间平均加工电压。在设定电压存储部6中将被认定为与目的相适合的电压预先设定为设定电压。在电压运算部7中，计算出所测定的极间平均加工电压和设定电压的差值。在加工速度控制部8中计算出使得所测定的规定时间内的极间平均加工电压成为设定电压(电压运算部7所计算出的差值成为0)的加工速度(加工用电极3与被加工物4的相对速度)，驱动装置13基于加工速度控制部8所计算出的加工速度，对加工用电极3进行控制。

这里，返回至本实施方式的控制部101内容。如将图3与图4进行对比所知，在本发明的实施方式1的线放电加工机中新导入的是电压校正值运算部11、极间平均加工电压校正部12、设定速度存储部10。对本实施方式的控制部101的动作进行说明。极间平均加工电压检测部5与现有的控制部100相同地，对极间平均加工电压进行检测，输出至详细内容后述的极间平均加工电压校正部12。电压运算部7对来自极间平均加工电压校正部12的输出和预先存储于设定电压存储部6的设定电压之间的差值进行运算。加工速度控制部8与现有技术同样地，计算出使得电压运算部7所计算出的差值成为0的加工速度，驱动装置13基于加工速度控制部8所计算出的加工速度，对加工用电极3进行控制。

另外，下面为相对于现有的控制部100所追加的处理。

除了驱动控制装置9以外，加工速度控制部8将计算出的加工速度还发送至电压校正值运算部11。电压校正值运算部11对预先存储于设定速度存储部10的设定速度、和加工速度控制部8所计算出的加工速度之间的差值进行运算，对差值乘以校正系数而计算出极间平均加工电压的校正值。在极间平均加工电压校正部12中，对来自极间平均加工电压检测部5的极间平均加工电压、和电压校正值运算部11所计算出的极间平均加工电压校正值进行运算，将结果发送至电压运算部7。

此外，由于利用加工速度控制部8使极间平均加工电压与设定电压一致，因此对加工速度进行控制的方式与现有技术相同，这不是本发明的实质。例如对于使极间平均加工电压与设定电压一致的控制方式，可以基于仅为比例项的式子、还具有微分、积分项的式子等计算出加工速度，或者设为最佳控制。

然后，在本发明的实施方式1的线放电加工机中，根据加工速度而对极间平均加工电压进行校正，在图5和图6中示出作为其依据的实验数据。图5和图6的数据是以直径为φ0.2的加工用电极将被加工物加工成钢的板厚为60mm时的数据。图5和图6示出相同的数据，将图6利用加工电压、侧间隙来表示的图是图5。图5表示极间平均加工电压(X轴)和侧间隙(Z轴)之间的关系的一个例子，根据该图可知即使极间平均加工电压恒定，侧间隙也不一定恒定。即，可知即使以使得极间平均加工电压与设定电压一致的方式进行现有的控制，也不能使侧间隙恒定为进行形状修正加工时所需的精度的水平。

对图5追加了加工速度的指标所得到的图6是表示极间平均加工电压(X轴)、加工速度(Y轴)、侧间隙(Z轴)的关系的一个例子的图形。如图6所示，即使是相同的极间平均加工电压而侧间隙也不同的现象与加工速度紧密相关。具体而言，加工速度变得越慢则即使是相同的极间平均加工电压，侧间隙也越大。即，如图5、图6所示，为了提高形状修正加工的精度，除了使极间平均加工电压接近设定电压的控制以外，还需要获取到加工速度的控制方式。此外，详细内容在后面记述，但关于图5、图6，已确认到，即使加工用电极直径、被加工物等的加工条件变化，倾向(后述的式(4))也不变。

根据上述的实验结果，如果以1阶近似的方式求出侧间隙、极间平均加工电压、加工速度的相互关系，则得到式(1)的关系式。这里，SideGap代表侧间隙的测定值，FC代表加工速度的测定值，VG代表极间平均加工电压的测定值，i代表实验数据的编号(i＝1…N)。

SideGap(i)＝A×FC(i)+B×VG(i)+Offset…(1)

如式(1)所示，加工速度、极间平均加工电压和侧间隙是实验值，针对每点而具有不同的值，但A、B、Offset是固定值。利用式(1)，能够根据第(i)个实验数据和第(i+1)个实验数据的差得到式(2)的关系式。

SideGap(i+1)－SideGap(i)＝A×(FC(i+1)－FC(i))+B×(VG(i+1)－VG(i))…(2)

如果为了实现使形状修正加工中的侧间隙恒定的目的，求出在相同侧间隙时加工速度和极间平均加工电压之间的关系，则成为式(3)。这里，ΔFC是第(i+1)个速度和第(i)个速度的差，ΔVG是第(i+1)个电压和第(i)个电压的差。

0＝A×(FC(i+1)－FC(i))+B×(VG(i+1)－VG(i))＝A×ΔFC+B×ΔVG…(3)

可知在侧间隙恒定的情况下，在极间平均加工电压和加工速度之间存在式(4)的关系。

ΔVG＝－(A/B)×ΔFC…(4)

根据以上的形状修正加工的实验分析可知，侧间隙不仅根据极间平均加工电压而变化，还根据加工速度而变化，其关系式能够表达为如式(1)那样。基于上述见解，为了使侧间隙恒定，需要如式(4)的右边那样根据加工速度的变换而对极间平均加工电压进行校正。

此外，在本实施方式中，式(4)的左边设为相对于存储在设定电压存储部6的设定电压的差值，右边设为相对于存储在设定速度存储部10的设定速度的差值。另外，图5以及图6是在加工用电极直径为BSφ0.2、被加工物为St60t的情况下的数据，在任意的加工条件下侧间隙、加工速度、极间平均加工电压的关系满足(4)式的情况已通过实验确认完毕。

因此，对于设定速度以及系数A/B，可以在系统中决定，也可以通过NC上的加工条件任意地设定。这里，设定速度的决定方法可以根据加工条件而变更，也可以设为统一的值。作为设定速度的例子，例如可以统一地设定为1.0mm/min。

在系统中决定设定速度的情况下，为了根据加工用电极的直径或材质、以及被加工物的板厚或材质而设定不同的值而可以具有表，在根据加工条件而决定的情况下，也可以设为固定值。只要是根据所要求的形状修正精度而设定适当的设定速度的决定方法即可。

这里所示的设定速度和系数代表控制的增益和偏差，本发明的控制方式是在1次加工过程中，根据加工场所、对应于加工行进方向的方向而与加工情况匹配地、实时地进行校正。

基于式(1)至式(4)的关系式，在图7中示出本发明的实施方式1的线放电加工机中的控制过程。图7示出在以使图4的进行现有的控制的线放电加工机的极间平均加工电压与设定电压一致的控制为基础，将由式(4)的加工速度引起的电压校正运算为极间平均加工电压的控制。

设定电压VR是预先设定于图3的设定电压存储部6的设定电压，极间平均加工电压VG是图3的极间平均加工电压检测部5所检测出的测定值，校正系数C是式(4)的A/B，加工速度FC是从图3的加工速度控制部8输出的加工速度。

此外，这里简单地将电源和速度之间的关系表示为一阶公式，但为了更提高精度也可以设为高阶。在高阶的情况下，式(4)表示为如下所示。

ΔVG＝C₁×ΔFC+C₂×ΔFC²+C₃×ΔFC³+…(5)

这里的C₁、C₂、C₃…是各阶的系数。例如式(4)的一阶的系数“－(A/B)”与C₁相当。本发明的特征是对速度变动量进行反馈而对电压进行校正，因此速度变动量的反馈时的阶数可以是任意的。

下面，对图7的处理进行说明。首先，从极间平均加工电压检测部5所检测的值VG减去对加工速度FC和设定速度FA的差值乘以校正系数C所得到的值。将减法运算后的值从设定电压VR中减去，与现有技术相同地，进行从极间加工电压向加工速度FC的变换(控制箱)。该变换也如图3中说明的那样，由于不是本发明的实质，因此省略。利用其结果所计算出的加工速度FC，图3的驱动控制装置9进行驱动控制，加工速度FC和设定速度FA的差值被输入至电压校正值运算部11以与校正系数C相乘。

图8是表示通过本发明的实施方式1的线放电加工机的控制实现的加工速度与通过现有的控制实现的加工速度的对比的图形。横轴是极间平均加工电压，纵轴是加工速度，实线是本发明的实施方式1的线放电加工机的控制的图形，虚线是现有的控制的图形。无论在现有的控制中还是在本发明中，极间平均加工电压和设定电压的差沿正向越大则加工速度越快，极间平均加工电压和设定电压的差沿负向越大则加工速度越慢。其中，在本发明中，基于由式(4)或者(5)表示的加工速度和设定速度的差值而进行了极间平均加工电压的校正，加工速度越快则极间平均加工电压校正值沿负向越大，因此其结果，与现有的控制相比加工速度变慢。另外，加工速度变得越慢则极间平均加工电压校正值沿正向越大，因此其结果，与现有的控制相比加工速度变快。

这样，根据加工速度和设定速度的差值而对极间平均加工电压进行校正，由此能够应对变化的加工量，能够抑制因放电间隙的生长引起的侧间隙的波动，因此能够在形状修正加工时提高加工精度。

实施方式2.

图9是表示本发明的实施方式2的线放电加工机的构造和控制结构的图。实施方式2所提示的技术的特征在于，与实施方式1相同地，基于加工速度对电压进行校正，与实施方式1(图3)不同的方面在于，相对于设定电压而对根据加工速度求出的极间平均加工电压校正值进行校正，而不是相对于极间平均加工电压检测部5所检测的电压。

在图9中，与图3不同之处在于，存在设定电压校正部13以取代极间平均加工电压校正部12，在电压运算部7中对设定电压校正部13校正后的设定电压和极间平均加工电压检测部5检测出的极间平均加工电压的差进行运算。此外，对与图3相同的部位，标注了相同的标号。

在本实施方式中，对设定电压进行校正而不是极间平均加工电压，因此符号与对极间平均加工电压进行校正的校正式相反。即，为了在控制中使用而需要将式(4)设为下面的式(6)。

ΔVG′＝(A/B)×ΔFC (6)

图10是表示本发明的实施方式2的线放电加工机中的控制过程的框图。与图7的差异在于，从设定电压VR中减去对设定速度FA和加工速度FC的差值乘以校正系数C而得到的值。从设定电压减去校正值的运算是在图9的设定电压校正部13中进行的。其他内容与图7相同，因此省略说明。

图11是表示通过实施方式2的线放电加工机中的控制实现的加工速度和通过现有控制实现的加工速度的对比的图形。横轴是极间平均加工电压，纵轴是加工速度，虚线是现有的控制的图形，实线是基于本发明的实施方式2的控制的设定电压。根据极间平均加工电压和设定电压的差的大小和符号而对加工速度进行控制的情况与实施方式1相同。在加工速度变快时，将设定电压向正方向校正，校正后的设定电压变高，在加工速度变慢时，将设定电压向负方向校正，校正后的设定电压变低。这样，在实施方式2中，极间平均加工电压如现有技术那样，使用测定出的结果和校正后的设定电压，计算出ΔVG’。(因此，图10的极间平均加工电压和设定电压的差即ΔVG’是与实施例1的ΔVG相同的值，通过校正实现的伺服速度的变换也等同)。

通过实施方式2实现的效果与实施方式1相同地，通过基于加工速度进行的设定电压的校正，能够考虑与所需的加工量相应的加工、放电间隙的生长，能够使侧间隙恒定。即，能够在形状修正加工中提高加工精度。

实施方式3.

实施方式3与实施方式1的线放电加工机相同地，具有图3的构造。在实施方式1中，在加工速度与设定速度偏离的情况下，反馈加工速度的差值，进行极间平均加工电压的校正，与其相对，在实施方式3中，在加工速度以某种程度偏离之后，在加工速度和设定速度的差值成为规定值的情况下进行极间平均加工电压的校正。

图12是表示通过实施方式3的线放电加工机中的控制实现的加工速度和通过现有控制实现的加工速度的对比的图形。虚线是通过现有的控制实现的极间平均加工电压，实线是通过本实施方式实现的极间平均加工电压。例如，在设定加工速度为6.0mm/min、规定值为1.0mm/min的情况下，在利用极间电压和设定电压的差计算出的加工速度处于6.1mm/min、6.2mm/min…6.9mm/min的期间按照通常的控制而进行控制，但如果加工速度为7.0mm/min，则利用对相对于设定加工速度的差值即(7.0－6.0)mm/min乘以校正系数所得到的值而对极间平均加工电压进行校对，利用新校正后的极间平均加工电压进行控制。即使加工速度比设定加工速度慢，按照上述方式在加工速度的差值变得比规定值大之前，也不校正极间平均加工电压，如果加工速度差值比规定值大，则对极间平均加工电压进行校正。

在本实施方式中，在形状修正加工工序中，即使在加工电压由于前加工的加工面粗糙度而急剧地变动的情况下，也能够通过极间平均加工电压而应对因某种程度的加工面粗糙度引起的变动，在加工面的去除量平均地变动的情况下，能够对极间平均加工电压进行校正，因此能够实现侧间隙恒定的加工。

此外，可以在图3的电压校正值运算部11中，在加工速度的差值变得比规定值大之前将极间平均加工电压校正值设为0而输出至极间平均加工电压校正部12，或者也可以在极间平均加工电压校正部12中，在加工速度的差值变得比规定值大之前不对与极间平均加工电压的差值进行计算。

这里，可以预先持有基于加工速度的差值的绝对值而实施的校正系数的表，使校正系数对应于差值的绝对值而变化。这样，与使校正系数恒定的情况相比，形状修正精度的提高效果增大。

实施方式4.

实施方式4与实施方式2的线放电加工机相同地，具有图9的构造。在实施方式4中，在进行设定电压的校正时，与实施方式3相同地，如果利用极间平均加工电压和设定电压的差而计算的加工速度与设定加工速度的差值大于或等于某种程度，则对设定电压进行校正，以新校正后的电压为基准，进行利用与极间平均加工电压的差值来决定加工速度的控制。图13是表示通过实施方式4的线放电加工机中的控制实现的加工速度和通过现有控制实现的加工速度的对比的图形。x＝设定电压的线是通过现有的控制实现的极间平均加工电压，实线是通过本实施方式实现的设定电压。

在该情况下，与实施方式3相同地，在形状修正加工工序中，即使在加工电压由于前加工的加工面粗糙度而急剧地变动的情况下，也能够通过极间平均加工电压而应对因某种程度的加工面粗糙度引起的变动，在加工面的去除量平均地变动的情况下，能够对极间平均加工电压进行校正，因此能够实现侧间隙恒定的加工。

此外，实施方式4与实施方式3相同地，可以预先持有基于加工速度的差值的绝对值而实施的校正系数的表，使校正系数对应于差值的绝对值而变化。这样，与使校正系数恒定的情况相比，形状修正精度的提高效果增大。

标号的说明

3 电极

4 被加工物

5 极间平均加工电压检测部

6 设定电压存储部

7 电压运算部

8 加工速度控制部

9 驱动控制装置

10 设定速度存储部

11 电压校正值运算部

12 极间平均加工电压校正部