靶材浸润处理的辅助装置的制作方法

本实用新型涉及机械加工领域，特别涉及一种靶材浸润处理的辅助装置。

背景技术：

钎焊是一种材料连接方法，人们常使用这种方法连接靶材。在钎焊时，将低于靶材熔点的钎料与靶材同时加热到钎料熔化的温度后，使得所述钎料为液态，利用所述液态钎料能够铺展到靶材表面以填充靶材表面的缝隙，使靶材的靶坯和背板的表面连接。液体与固体接触时，有的液体表面张力大，难以和固体相互附着，为了增加这种附着力，一般要对固体表面进行表面浸润处理。现有技术中，使用超声波对固体表面进行处理，使得液体铺展到整个钎焊面上并且形成较强的附着力。

但是，现有技术中，在对靶材表面浸润处理时，一般是操作者手持超声波处理仪器，由于超声波处理焊接面时间比较持久，需要反复处理很多遍，所以，人为手持超声波处理仪器进行处理焊接面容易使人疲惫，工作效率无法提高，特别是针对半导体晶圆磁控溅射镀膜用的靶材，这种靶材的靶坯表面是圆形，要使得超声波处理器能够均匀处理到该圆形的每个细节处，增加了浸润处理的难度，使得工作效率非常低，更加不利于大批量作业。

因此，极需要一种辅助装置，可以提高操作者的工作效率，有益于大批量作业。

技术实现要素：

本实用新型解决的问题是在对靶坯表面使用超声波处理器进行浸润处理时，提高操作者的工作效率。

为解决上述问题，本实用新型提供一种靶材浸润处理的辅助装置，传动杆以及支撑架，所述支撑架适于支撑所述传动杆；超声波盘，所述超声波盘与所述传动杆一端固定连接，所述超声波盘上固定连接有至少一个超声波处理器。

可选的，所述支撑架包括支撑腿与支撑杆，所述支撑腿的数量至少为两条，所述支撑腿与所述支撑杆固定连接，且所述支撑腿支撑所述支撑杆。

可选的，还包括轴承，所述轴承外圈固定于所述支撑杆，所述轴承内圈与所述传动杆径向外圈固定。

可选的，还包括轴承盘，所述轴承盘固定于所述支撑杆。

可选的，所述传动杆与所述轴承盘通过轴承固定连接。

可选的，所述轴承盘厚度方向上具有通孔，所述传动杆穿过所述通孔。

可选的，在所述通孔内，所述轴承外圈与所述通孔内壁固定连接，所述轴承内圈与所述传动杆径向外端固定连接。

可选的，具有两个所述支撑腿，两个所述支撑腿分别设立在所述支撑杆轴向两端。

可选的，具有两个所述支撑腿，两条所述支撑腿设置在所述支撑杆局部，且所述支撑腿适于支撑所述支撑杆。

可选的，具有三条所述支撑腿，所述支撑杆适于固定在所述支撑腿上。

可选的，所述超声波处理器通过焊接或螺纹连接固定在所述超声波盘上。

可选的，所述传动杆包括手持部与连接部，所述连接部为杆状，所述连接部一端与所述手持部固定连接，另一端与所述超声波盘固定连接。

与现有技术相比，本实用新型的技术方案具有以下优点：

一种靶材浸润处理的辅助装置，包括：传动杆以及支撑架，所述支撑架适于支撑所述传动杆；还包括：超声波盘，所述超声波盘与所述传动杆一端固定连接，所述超声波盘底部固定连接有至少一个超声波处理器。由于所述支撑架支撑所述传动杆与所述超声波盘，所以操作者在使用所述超声波处理器对靶坯或者其他待浸润处理的表面进行处理时可以借助所述支撑架的力，而不需要手持所述超声波处理器，很大程度的节约了操作者的劳动力；并且所述传动杆与所述超声波盘固定连接，当操作者手持所述传动杆，且旋转所述传动杆时，所述超声波盘会随着所述传动杆的旋转而旋转，当所述超声波盘旋转，所述超声波盘底部固定的超声波处理器就会沿固定的环绕轨道旋转，使得所述超声波处理器可以处理到靶坯或者其他待浸润处理的表面每一个细节部位，使得浸润结果更加稳定和均匀。

附图说明

图1是本实用新型提供实施例的正视图；

图2是图1实施例中超声波盘底部视图。

具体实施方式

由背景技术可知，现有技术中在使用超声波处理器对靶坯表面或者其他待浸润处理的表面的工作中，操作者容易疲惫，浪费人力，不利于持久大批量的作业。

分析发现，现有的技术中给半导体晶圆磁控溅射镀膜用的靶材表面进行浸润处理时，是通过操作者手持超声波处理器对靶坯进行处理，处理过程虽然简单，但是超声波处理器具有一定重量，而且需要持久反复对所述靶坯表面进行处理，并且操作者还需控制所述超声波处理器与所述靶坯表面的距离，难免存在晃动，造成对所述靶坯表面处理不均匀的情况，操作者也会容易疲惫，影响工作效率，不利于持久大批量的作业。

为解决上述问题，本实用新型提供一种靶材浸润处理的辅助装置，通过支撑架支撑传动杆与超声波盘，超声波盘底部固定有超声波处理器，借助支撑架减小操作者在使用所述超声波处理器对靶坯或者其他待浸润处理的表面进行处理时的负担，很大程度的节约了操作者的劳动力；并且超声波盘与所述靶坯或者其他待浸润处理的表面的距离一定，所以保障了浸润处理结果更加均匀。

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施例做详细的说明。

参考图1与图2，本实用新型提供的实施例中靶材浸润处理的辅助装置，包括：传动杆20以及支撑架10，所述支撑架10适于支撑所述传动杆20；还包括：超声波盘30，所述超声波盘30与所述传动杆20一端固定连接，所述超声波盘30上固定连接有至少一个超声波处理器。

所述支撑架10固定在工作台上，包括支撑腿10a与支撑杆10b，所述支撑腿10a的数量至少为2，所述支撑腿10a与所述支撑杆10b固定连接，所述支撑腿10a支撑所述支撑杆10b。所述支撑架10具有两个所述支撑腿10a，所述支撑腿10a的高度范围根据所述靶坯表面或者其他待浸润处理的表面而定，一般所述支撑腿10a的高度为50mm-100mm。

本实施例中，所述支撑腿10a的高度为80mm，所述支撑杆10b轴向两端固定连接所述支撑腿10a。所述支撑腿10a与所述支撑杆10b要使用不易变形且稳固的材料，具体的可以使用不锈钢或者钛合金，以保障所述支撑架10的支撑作用稳定，不易变形或损坏。所述支撑腿10a的数量为2，使得所述支撑架10能够达到支撑效果的同时，使得整体结构简易不复杂，采用最简便的方法达到支撑目的。

在其他实施例中，当所述支撑腿10a的数量为2时，所述支撑腿10a的位置不限于在所述支撑杆10b的轴向两端，所述支撑杆10b为所述支撑腿10a支撑即可。

在其他实施例中，所述支撑腿10a数量为3个，3个所述支撑腿10a使得所述支撑架10的结构使得支撑效果更加平稳良好。

需要说明的是，当所述支撑架10的高度不够时，可以使用平稳的金属垫块放置在所述支撑腿10a的底部，使得所述支撑架10的整体高度合适。

所述传动杆20固定在所述支撑架10上，具体的，所述传动杆20包括手持部20b与连接部20a，所述手持部20b与所述连接部20a固定连接，所述连接部20a为金属圆柱体，竖直方向延伸，所述手持部20b与所述连接部20a顶端固定连接，且所述手持部具有与所述连接部20a垂直的第一手持部以及所述第一手持部垂直的第二手持部，这样设置的好处是，操作者在使用所述辅助装置时，所述第一手持部与所述第二手持部配合使得操作者推动旋转所述传动杆20时，力矩减小，有益于操作者旋转所述传动杆20。

在其他实施例中，所述传动杆20包括手持部与连接部，所述连接部与上实施例中所述连接部20a的作用和形状结构相同；所述手持部可以为任意形状或任意材料，且与所述连接部的一端固定连接，或者所述手持部与所述连接部一体成型。

在本实施例中，所述连接部20a与所述支撑杆10b连接处还包括轴承盘11，所述轴承盘11剖面为圆形，厚度大于所述支撑杆10b的直径。所述轴承盘11某一径向两端与所述支撑杆10b固定，具体可以通过氩弧焊接固定连接。所述轴承盘11厚度方向上具有通孔，所述连接部20a穿过所述通孔。具体的，所述连接部20a与所述轴承盘11通过轴承固定连接，其中，所述轴承内圈与所述连接部20a径向外端固定，所述轴承外圈与所述通孔内壁固定连接，这里的固定连接方式可以是氩弧焊接。所述连接部20a与所述轴承盘11通过轴承连接，使得所述连接部20a可以固定在所述轴承盘11上，也就是说所述连接部20a固定在所述支撑杆10b上，且所述连接部20a可以相对所述轴承盘11或所述支撑架10转动。

在其他实施例中，所述轴承盘11的剖面形状不限于为圆形，可以为方形，或者其他适于与所述支撑杆10b固定连接的形状，但是所述轴承盘11厚度方向具有所述通孔，且所述通孔宽度允许所述传动杆穿过。

在其他实施例中，所述传动杆20与所述支撑杆10b连接直接通过一个轴承连接，具体的，所述轴承外圈与所述支撑杆10b固定连接，所述轴承内圈与所述连接部20a径向外圈固定。此种方法可以将所述连接部20a固定在所述支撑杆10b上，也就是说，将所述传动杆20固定在所述支撑架10上，并且所述传动杆20可以相对所述支撑架10自由旋转。

所述超声波盘30为圆盘形状，直径范围根据所述待浸润表面而定，通常直径范围为100mm-600mm，固定连接在所述连接部20a的端部，所采用的材料要需经受200摄氏度以上的高温而不发生化学或物理变化；所述超声波盘30用于承接超声波处理器，将所述超声波处理器设置在所述超声波盘30上且面向工作台。启动所述超声波处理器即可对工作台上的所述靶坯表面或者其他待浸润处理的表面进行浸润处理。

本实施例中，所述超声波盘30直径为300mm，具体材料为钛合金，通过焊接的方式将所述超声波盘30水平固定在所述连接部20a的端部。为钛合金材料的优点在于，质量较轻，有利于所述支撑架10的支撑。

需要说明的是，所述超声波盘30面部通过焊接的方式固定三个所述超声波处理器，分别为第一超声波处理器101、第二超声波处理器102、第三超声波处理器103，并且所述超声波盘30距离所述靶坯表面的距离为2mm-5mm。使得所述超声波盘30底部固定的所述超声波处理器以适当的距离进行浸润处理工作。

在其他实施例中，所述超声波盘30与所述连接部20a一体成型，在所述超声波盘30面部设置浅螺纹，将所述超声波处理器螺纹连接的方式固定在所述超声波盘30面部。

在其他实施例中，所述超声波盘30面部固定所述超声波处理器的数量可以为任意个，具体数量根据所述靶坯表面的面积或者其他待处理的浸润表面的面积的确定。

本实用新型提供的所述辅助装置，使用所述支撑架10支撑所述传动杆20与所述超声波盘30，而所述超声波处理器设置在所述超声波盘30上，且所述超声波处理器面向工作台，所以通过推动所述传动杆20使得所述传动杆20转动的同时所述超声波盘30会随着转动，从而所述超声波处理器会随着旋转，操作者可控制所述传动杆20的转动速度来控制所述超声波处理器的转动频率，对工作台上的所述靶坯表面进行浸润处理。本实施例用于所述靶坯表面为圆形的靶材浸润处理。但不限于圆形，当需要对其他形状的靶材表面进行处理时，可以适当移动所述支撑架10以使所述超声波处理器可以辐射到任意位置。

虽然本实用新型披露如上，但本实用新型并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本实用新型的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。