专利名称：分立双室离子镀膜机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种离子镀膜装置，具体地说是涉及一种双室可交替作业的离子镀膜机。
背景技术：
镀膜技术由蒸发镀发展到多弧离子镀，在镀膜质量方面有很大提高，镀层硬度及膜层与基体的结合都得到很大改善，且膜的品种大大增加。目前，多弧离子镀膜方法多数采用单室离子镀膜机，这种机型存在以下缺陷1、本机制造成本高及镀膜生产成本高；2、单室多弧离子镀膜机一般采用8套或12套蒸发离化源，由于某些原因往往出现熄弧，弧头越多镀膜时灭弧的几率越大，从而导致镀膜质量下降。
发明内容
本实用新型的目的是为了解决已有技术中单室镀膜机制造成本高，镀膜生产成本高以及在镀膜时常出现熄弧而影响产品质量等问题。
本实用新型主要由真空镀膜室、真空抽气系统、主弧电源、轰偏电源、加热测量装置、配气系统和控制台组成，其特征在于两个真空镀膜室分立，构成左右两部分，共用一套电源系统、电控系统和抽真空系统，主抽气管道与两个真空镀膜室相联，两室的配气通过控制台切换。真空镀膜室为筒体结构，蒸发离化源(3)分布室壁四周，公自转挂架位于室顶部。通常每个真空镀膜室内均等距离布置四套蒸发离化源。在连接两个真空镀膜室的主抽管道上用两个高真空阀将两室分隔，在辅抽管道上也装有两个低真空阀。
与同等生产效率的单室离子镀膜机相比，本实用新型可减小真空镀膜室的尺寸，减少蒸发离化源的数量，利于真空室及弧头的清理，从而使灭弧的可能性减到最小，提高镀膜制品的质量；此外，其抽真空系统功率、轰偏电源功率均较小等原因使得双室机比单室机的制造成本降低20-30％。
本实用新型的双室可交替作业，极大降低了镀膜制品的生产成本。现以八个蒸发离化源的单室机与本实用新型作生产概况分析比较
图1为分立双室离子镀膜机俯视简图，其中1、真空镀膜1室(简称1室)，2、真空镀膜2室(简称2室)，3、蒸发离化源，4、主抽气管道，5-1、高真空阀，5-2、高真空阀，6、辅抽气管道，7-1、低真空阀，7-2、低真空阀，14、电离真空规管。
图2为分立双室离子镀膜机后视简图，其中10、扩散泵，11、节流阀，12、机框(用于布置走线、冷却水等)，13、调整螺栓，Δ1、接主抽系统机械泵，Δ2、接辅抽系统机械泵。
图3为分立双室离子镀膜机结构示意图，其中8、辅抽机械泵，9、主抽机械泵，10、扩散泵。
具体实施方式
1、参照附图1、2，1室和2室是两个独立的同规格的真空镀膜室，采用拉门结构，每个室装有四套蒸发离化源，两个观察窗口，一个测温孔，两个配气孔和一个泄放孔，顶部有螺旋挂架及高真空规管测量孔，底部装有加热器，轰偏电源负高压与挂架相连。抽气管道设计在真空室侧壁，两室下部装有充气阀。主抽系统由主抽管道、高真空阀、节流阀、扩散泵和真空机械泵组成。辅抽系统由辅抽管道、低真空阀和真空机械泵组成。冷却水管组焊在两室内壁衬套上，下部是进水口，上部是出水口。蒸发离化源最大输出电流120A，工作电压20V，装有泄放电路，保证弧电流突变时，电源不受损坏。各蒸发离化源单独引弧供电，使熄弧的可能性减少到最低程度。
2、操作步骤参照图3，1室完成镀前工作，控制台切换到1室。打开低真空阀7-1。辅轴机械泵8抽初真空，5-8分钟后，达6-8×10[0]Pa，关闭低真空阀7-1，打开高真空阀5-1，主抽机械泵9和扩散泵10抽高真空，10—15分钟后，达2-6×10[-2]Pa，开始放电清洗，配气镀膜。此时2室的镀前工作完成，打开低真空阀7-2，辅抽机械泵抽2室初真空，1室的镀膜工序完成，关闭高真空阀5-1，电控系统切换到2室。1室充气，取出镀件。此时2室完成初抽，关闭低真空阀7-2。打开高真空阀5-1，主抽系统抽2室高真空，……2室的镀膜工作完成，1室的镀前准备工作和预抽工作以完成。依此循环，工作有条不紊。
权利要求1.分立双室离子镀膜机，主要由真空镀膜室、真空抽气系统、主弧电源、轰偏电源、加热测量装置、配气系统和控制台组成，其特征在于两个真空镀膜室分立，构成左右两部分，共用一套电源系统、电控系统和抽真空系统，主抽气管道与两个真空镀膜室相联，两室的配气通过控制台切换。
2.根据权利要求1所述的分立双室离子镀膜机，其特征在于真空镀膜室为筒体结构，蒸发离化源(3)分布室壁四周，公自转挂架位于室顶部。
3.根据权利要求1所述的分立双室离子镀膜机，其特征在于每个真空镀膜室内均等距离布置四套蒸发离化源(3)。
4.根据权利要求2或3所述的分立双室离子镀膜机，其特征在于主抽气管道(4)上用两个高真空阀将两个真空镀膜室分隔，在辅抽气功管道上装有两个低真空阀。
专利摘要本实用新型涉及一种离子镀膜装置，主要由真空镀膜室、真空抽气系统、主弧电源、轰偏电源、加热测量装置、配气系统和控制台组成，其特征在于两个真空镀膜室分立，构成左右两部分，共用一套电源系统、电控系统和抽空系统，主抽气管道与两个真空镀膜室相联，两室的配气通过控制台切换交替工作。与同等生产效率的单室离子镀膜机相比，其制造成本低20－30％，镀膜制品的生产成本下降50％多且质量好。
文档编号C23C14/30GK2542681SQ02219249
公开日2003年4月2日 申请日期2002年3月8日 优先权日2002年3月8日
发明者徐惠生 申请人:徐惠生