公转与自转均可独立调速的真空镀膜机工件转架运动机构的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种真空镀膜机工件转架运动机构。
【背景技术】
[0002]真空镀膜机内都置有用于装夹被镀工件的工件转架运动机构。以立式真空离子镀膜机为例，常用的工件转架运动机构的运动方式通常可分为两重运动或三重运动，自转盘随公转盘公转的同时并进行自转，部分镀膜机除前述基础运动外，还具有第三重运动，即工件自身自转或间歇式自转。现有技术中的镀膜机的工件转架运动机构，无论是采用两重运动方式或是采用三重运动方式，它们都是一种联合运动，运动模式单一。这些工件转架运动机构一般通过变频电机驱动公转盘公转，通过转动的公转部件驱动自转盘自转，再由自转部件驱动工件自转。现有技术中的这种运动机构，虽可以在一定范围内调速，但自转速度都是随同公转速度变化，不能单独调整。
[0003]近年来工件的种类增多，工件形状越加杂复，镀层种类也多样化了，所以对镀膜工艺提出了新的要求，特别是近期出现许多彩色干涉膜，这种类型的镀层对膜层厚度很敏感，所以镀膜工艺上希望工件转架运动机构的公转盘、自转盘的转速能独立调节。现有技术中的工件转架运动机构满足不了上述工艺要求，所以需要一种能提供多种运行模式的工件转架运动机构。
【发明内容】
[0004]本发明所要解决的技术问题是提供一种能提供多种运行模式的真空镀膜机工件转架运动机构，采用本发明的工件转架运动机构，公转与自转均可独立调速。
[0005]本发明的上述技术问题通过如下技术方案解决:一种公转与自转均可独立调速的真空镀膜机工件转架运动机构，包括公转盘，自转盘，大自转轴和小自转轴；
[0006]所述大自转轴围绕所述公转盘的旋转中心转动安装在所述公转盘上，所述自转盘平行于所述公转盘固定在所述大自转轴上部，所述小自转轴围绕所述自转盘的旋转中心转动安装在所述自转盘上；
[0007]其特征在于，所述工件转架运动机构还包括齿轮盘，所述公转盘与所述齿轮盘同轴设置，所述公转盘转动安装在所述齿轮盘上；
[0008]所述大自转轴的下端穿出所述公转盘固定有大扭力传递齿轮，所述齿轮盘与所述大扭力传递齿轮啮合，以便在所述齿轮盘转动时，驱动所述大自转轴带动所述自转盘自转；
[0009]所述公转盘的顶面围绕其旋转中心凸出固定有若干个固定小齿轮，所述大自转轴下端从所述固定小齿轮中部穿过，所述小自转轴下端穿出所述自转盘固定有小扭力传递齿轮，安装在同一自转盘上的小自转轴上的所有所述小扭力传递齿轮啮合于同一所述固定小齿轮；
[0010]所述工件转架运动机构还包括第一齿轮驱动机构和第二齿轮驱动机构，所述第一齿轮驱动机构与所述齿轮盘相连，用于驱动所述齿轮盘旋转，所述第二齿轮驱动机构与所述公转盘相连，用于驱动所述公转盘旋转。
[0011 ]上述结构的工件转架运动机构可进行三种模式的运动:
[0012]运行模式一:第一齿轮驱动机构启动，此时，公转盘不动，大自转轴原地自转，自转盘上小自转轴自转;此时，自转盘转速可调，自转盘上的小自转轴自转速度受自转盘转速控制;
[0013]运行模式二:第二齿轮驱动机构启动，此时，公转盘公转，大自转轴公转并自转，小自转轴公转、随大自转轴转动、再自转;此时，公转盘转速可调，自转盘和自转盘上的小自转轴转速受公转盘控制，不能独立调节；
[0014]运行模式三:第一齿轮驱动机构、第二齿轮驱动机构都启动，此时，公转盘转速可调，自转盘随公转盘公转、自转，且其自转速度可独立调节，自转盘上的小自转轴自转速度受自转盘转速控制，且在公转盘、齿轮盘同步转动时，公转盘公转，大自转轴、小自转轴只随公转盘公转而均不自转。
[0015]作为本发明的优选实施方式:所述工件转架运动机构还包括与所述公转盘同轴设置的固定盘，所述公转盘水平设置，所述齿轮盘转动安装在所述固定盘上，所述固定盘、齿轮盘、公转盘均为一圆环形状的结构体，所述齿轮盘上抵着所述公转盘的内环面安装有若干个公转盘限位轴承，所述固定盘上抵着所述齿轮盘的内环面安装有若干个齿轮盘限位轴承；
[0016]所述齿轮盘的顶面上围绕其旋转中心设有一圈滚珠槽，所述滚珠槽内安装有滚珠，所述公转盘承托在滚珠上从而转动安装在所述齿轮盘上；
[0017]所述固定盘的顶面上围绕其旋转中心设有一圈滚珠槽，所述滚珠槽内安装有滚珠，所述齿轮盘承托在滚珠上从而转动安装在所述固定盘上。
[0018]所述齿轮盘外环面上设有齿牙，所述大扭力传递齿轮啮合于所述齿轮盘的外环面，所述齿轮盘的内环面分为上下两层，上层设有齿牙，所述第一齿轮驱动机构的齿轮啮合于所述齿轮盘内环面的上层，所述齿轮盘限位轴承抵于所述齿轮盘内环面的下层，所述公转盘的外环面设有齿牙，所述第二扭力传递齿轮啮合于所述公转盘的外环面。
[0019]所述固定盘底面还固定有转架绝缘组件，以便将固定盘绝缘安装在真空镀膜机镀膜室的底盘上。
[0020]相对于现有技术，本发明具有如下有益效果:本发明工件转架运动机构可进行三种模式的运动，运动方式不单一，使采用本发明工件转架运动机构的镀膜机，可实现公转与自转速度的独立调节，从而使采用本发明工件转架运动机构的镀膜机能更好的满足现代镀膜工艺对镀膜机的要求。
【附图说明】
[0021 ]图1为本发明较佳实施例的工件转架运动机构的装配图；
[0022]图2为本发明较佳实施例的工件转架运动机构的俯视图；
[0023]图3为图1中左边部分的放大图；
[0024]图4为图1中右边部分的放大图；
[0025]小自转轴I，大自转轴2，自转盘2-2，轴承3，内动力小齿轮6，内动力轴7，小扭力传递齿轮8，固定小齿轮9，外动力小齿轮10，外动力轴11，大扭力传递齿轮12，公转盘13，齿轮盘14，固定盘15，滚珠槽14-1、15-1，滚珠14-2,15-2,公转盘限位轴承14_3，齿轮盘限位轴承15-3，转架绝缘组件16。
【具体实施方式】
[0026]本发明真空镀膜机工件转架运动机构可进行三重运动，其结构如图1、2、3、4所示，主要包括公转盘13，自转盘2-2，大自转轴2、小自转轴1、固定盘15和齿轮盘14。
[0027]公转盘13、齿轮盘14、固定盘15均为一圆环形状的结构体，同轴水平设置。其中，公转盘13转动安装在齿轮盘14上，齿轮盘14转动安装在固定盘15上，固定盘15底面固定有转架绝缘组件16，以便将固定盘15绝缘安装在真空镀膜机镀膜室的底盘(未画出)上。
[0028]公转盘13、齿轮盘14的转动安装结构具体为:
[0029]齿轮盘14的顶面上围绕其旋转中心设有一圈滚珠槽14-1，滚珠槽14-1内安装有滚珠14-2，公转盘13承托在滚珠14-2上从而转动安装在齿轮盘14上;齿轮盘14上抵着公转盘13的内环面安装有若干个公转盘限位轴承14-3，公转盘限位轴承14-3主要用于对公转盘13的转动起限位和稳定作用；
[0030]固定盘15的顶面上围绕其旋转中心设有一圈滚珠槽15-1，滚珠槽15-1内安装有滚珠15-2，齿轮盘14承托在滚珠15-2上从而转动安装在固定盘15上；固定盘15顶面上抵着齿轮盘14的内环面安装有若干个齿轮盘限位轴承15-3，齿轮盘限位轴承15-3主要用于对齿轮盘13的转动起限位和稳定作用。
[0031]本发明公转盘13、齿轮盘14的转动安装结构采用环形轨道转动支撑，相比于通过中部转轴支撑的方式，本发明转动安装结构的承载能力更好。另外，本发明通过设置与旋转的圆环的内环面相抵的轴承来限制公转盘13、齿轮盘14的偏心运动，相比于在它们的旋转中心上设置旋转轴的方式，本发明方式能在固定盘15、齿轮盘14、公转盘13的中部形成一个操作区，以便安装其它部件，从而提高空间利用率，同时简化本发明的结构。本发明上述转动结构还具有结构简单，加工、组装方便的优点。
[0032]大自转轴2围绕公转盘13的旋转中心转动安装在公转盘13的外围，自转盘2-2水平固定在大自转轴2的上部，小自转轴I围绕自转盘2-2的旋转中心转动安装在自转盘2-2的外围，镀膜室内的待镀工件安装在小自转轴I上。大自转轴2下端穿出公转盘13固定一大扭力传递齿轮12，大扭力传递齿轮12与齿轮盘14的外环面啮合，以便齿轮盘14转动时，可以驱动大自转轴2带动自转盘2-2自转。小自转轴I下端穿出自转盘2-2固定一小扭力传递齿轮8。公转盘13的顶面围绕其旋转中心凸出固定有若干个固定小齿轮9，大自转轴2下端从固定小齿轮9中部穿过。安装在同一自转盘2-2上的小自转轴I上的所有小扭力传递齿轮8啮合于同一固定小齿轮9。本发明通过对三重运动机构联动方式的设计，使本发明工件转架运动机构可具有不同的运行模式。
[0033]本发明工件转架运动机构还包括第一齿轮驱动机构和第二齿轮驱动机构，第一齿轮驱动机构的齿轮与齿轮盘14的上部啮合，用于驱动齿轮盘14旋转。齿轮盘的内环面分为上下两层，上层上设有齿牙结构，下层光滑，下层与齿轮盘限位轴承15-3相抵。第二齿轮驱动机构与公转盘13的外环面啮合，用于驱动公转盘13旋转。公转盘13的外环面上设有齿牙结构。
[0034]第一齿轮驱动机构由内动力轴7和固定在内动力轴7上端的内动