专利名称：磁致伸缩元件的制造方法、烧结用容器以及磁致伸缩元件的制作方法
技术领域：
本发明涉及磁致伸缩元件的制造方法和使用它的烧结用容器以及磁致伸缩元件。
背景技术：
从前，磁致伸缩元件被用于线性执行元件、振动器、压力力矩传感器、振动传感器、以及陀螺仪传感器等。
在将该磁致伸缩元件用于线性执行元件、振动器的场合，通过使施加的磁场发生变化而使磁致伸缩元件的尺寸发生变化，产生驱动力。
并且，在将磁致伸缩元件用于压力力矩传感器、振动传感器、陀螺仪传感器等场合，借助于从外部施加的压力磁致伸缩元件的尺寸发生变化，通过检测随之变化的导磁率可以检测压力。
这样的磁致伸缩元件，通过将设定组成的合金粉在磁场中成型而形成成型体后，将该成型体在惰性气体气氛中烧结而制成(例如参考特开2003-3203号公报第4页)。
在该磁致伸缩元件的烧结工序中，作为磁致伸缩元件的成型体在烧结中容易氧化，并且由于作为烧结热源的加热器的辐射热的影响容易发生变色等。因此，如图7所示那样，在成型体1容纳于密闭容器2内的状态下，于烧结炉中进行烧结。在密闭容器2内设置定位器3，在该定位器3上横向放置(放倒)棒状的成型体1并固定，在该状态下进行烧结。
但是，在用含有稀土类元素的所谓超磁致伸缩材料形成磁致伸缩元件的场合，成型体1的活性非常高，在与定位器3的接触部分的侧表面1a存在生成反应物的问题。
这样，在成型体1的侧表面1a生成反应物时，则在烧结引起成型体1收缩时，由于机械应力的作用产生应变，晶体的晶格间距与其它的部分不同，产生得到的成型体1(磁致伸缩元件)的磁特性降低的问题。
对于这样的问题，以使减少成型体1与定位器3的接触面积为目的，也可以考虑将定位器3例如作成只支承成型体1的两端部的构成。但是，这样作在烧结时成型体1发生热变形，以至不能有效地解决问题。
发明内容
本发明是基于这样的技术课题而提出的，其目的在于提供能够获得具有更高特性的磁致伸缩元件的磁致伸缩元件的制造方法、烧结用容器等。
为了这样的目的，本发明的磁致伸缩元件的制造方法的特征在于该制造方法包括在磁场中成型原料粉末而得到成型体的工序、以及将该成型体在容器内以直立的状态进行烧结的工序。
并且，在烧结成型体的工序中，优选通过保持部件而使所述成型体在所述容器内保持直立状态，其中所述保持部件在所述成型体随着烧结而产生收缩时与所述成型体呈非接触状态。由此，在烧结时，能够防止由于与保持部件反应而在烧结对象物中生成反应物。
这样的成型体，含有Tb、Dy、Fe，且通过烧结能够制成磁致伸缩元件。
成型体的形状没有特别的限制，例如可以作成棒状。
对于上述那样的制造方法，适用以下所示的本发明的烧结用容器。
即，本发明的在烧结时容纳通过烧结而成为制作磁致伸缩元件的烧结对象物的烧结用容器，其特征在于该容器具备带有底面且一部分开口的容器本体、盖住容器本体的开口且盖卸自如的盖体、以及设置于容器本体内的定位器(setter，也称为给定器或固定器)，该定位器该定位器具有沿着所述烧结对象物通过烧结而成为所述磁致伸缩元件时的该磁致伸缩元件的驱动方向能够插入该烧结对象物的凹部。在此，在烧结对象物于一个方向较长的场合，能够以其长轴方向与大致垂直的方向相一致的状态插入凹部。定位器的厚度能够作成与烧结对象物的长度方向的长度大致相同的尺寸。
而且，定位器的凹部能够设置在与容器本体的底面相垂直的方向。
并且，优选所述定位器由该定位器与所述烧结对象物的反应温度比所述烧结对象物随着烧结而产生的收缩的温度更高的材料形成。由此，在随着烧结其成型体收缩的场合，凹部的表面不与成型体接触。在此状态下烧结对象物只是以其底部与定位器或容器本体相接触的状态保持直立。因此，在达到定位器与烧结对象物的反应温度时，由于凹部的表面与成型体为非接触状态，所以能够防止因烧结对象物与定位器的烧结反应而在烧结对象物中生成反应物。
此外，凹部应该插入烧结对象物并对定位器的表面是凹陷形状即可，有底孔也可以，贯通孔也可以。在贯通孔的场合，烧结对象物直立于容器本体的底面上。
烧结对象物是具有以公式(TbaDy(1-a))Ty(其中a在0.27＜a≤0.50的范围、T为1种或以上的过渡性金属、y表示为1＜y＜4)表示的组成的成型体的场合，定位器优选由与烧结对象物发生反应的反应温度比烧结对象物随着烧结而产生的收缩的温度更高的材料形成。作为那样的材料，从与烧结对象物非活性的理由来讲Dy2O3是合适的。这里，使用Dy2O3能够构成整个定位器，但是定位器的一部分即只是定位器与烧结对象物相接触的凹部由Dy2O3构成也可以。
上述那样的制造方法，用烧结用容器制造的磁致伸缩元件能够防止由于与定位器的反应而生成反应物，因此磁致伸缩元件的晶格间距大体是均等的。
即，根据本发明而得到的磁致伸缩元件，其特征在于其是由具有以公式(1)RTy(其中R是1种或以上的稀土类金属(其中稀土类金属是含有Y的概念)、T是1种或以上的过渡性金属，y表示为1＜y＜4)表示的组成的烧结体构成的磁致伸缩元件，在烧结的状态中，磁致伸缩元件的晶格间距大体是均等的。在此，T可以是Fe、Co以及Ni中的1种或以上。
此外，这样的磁致伸缩元件的特征在于X射线分析时的X射线强度分布中的[222]取向的半幅值为0.05～0.70。
另外，本发明的磁致伸缩元件的特征在于在该磁致伸缩元件由具有以公式(2)(TbaDy(1-a)Ty(其中a在0.27＜a≤0.50的范围、T为1种或以上的过渡性金属、y表示为1＜y＜4)表示的组成的烧结体构成的磁致伸缩元件，其特征在于对所述磁致伸缩元件进行X射线分析时的X射线强度分布的[222]取向的半幅值在0.05～0.70。该磁致伸缩元件能够显示在1kOe的磁场中的磁致伸缩值为1100ppm或以上的特性。
作为上述的T优选选择Fe。
图1是表示本实施方案的烧结用容器的外观的斜视图。
图2a是烧结用容器容纳成型体的状态的剖面图、图2b是烧结用容器的容器本体装备的定位器的平面图。
图3是表示烧结用容器中容纳的成型体在收缩状态的剖面图。
图4是得到的烧结体的X射线的取向度的测定结果。
图5是表示X射线强度分布的半幅值与磁致伸缩值的关系的图表。
图6是表示烧结体的X射线强度分布的半幅值与磁致伸缩值的关系的图。
图7是表示从前的烧结容器的剖面图。
具体实施例方式
以下，根据附图所示的实施方案，详细说明本发明。
在此，首先就本实施方案的磁致伸缩元件的制造方法进行说明。
对于本实施方案，烧结合金粉末而得到磁致伸缩元件，该合金粉末的组成由公式(1)RTy(其中R是1种或以上的稀土类金属、T是1种或以上的过渡性金属，y表示为1＜y＜4)表示。
其中R表示从镧系和锕系的稀土类金属之中选择的1种或以上，稀土类金属是含有Y的概念。在它们当中，作为R特别是优选Nd、Pr、Sm、Tb、Dy、Ho的稀土类金属，进一步优选是Tb、Dy，并能够将它们混合使用。T表示1种或以上的过渡性金属。在它们当中，作为T，特别是优选Fe、Co、Ni、Mn、Cr、Mo等过渡性金属，进一步优选是Fe、Co、Ni，并能够将它们混合使用。
以公式(1)表示的合金，y表示为1＜y＜4。RTy在y＝2时R与T形成的RT2拉维斯型金属互化物，其居里温度高，磁致伸缩值大，因此适合作磁致伸缩元件。在此，y为1或以下时于烧结后的热处理析出R-富相，磁致伸缩值降低。并且，在y为4或以上时RT3相或RT5相增多，磁致伸缩值降低。因此，为了增加RT2相，y在1＜y＜4的范围是优选，进一步优选的y范围是1.5≤y≤2.0，最优选是1.8≤y≤1.95。
R为将稀土类金属混合也可以，特别优选是将Tb和Dy混合使用。此时，以公式(3)TbaDy(1-a)表示的合金，a在0.27＜a≤0.50的范围是进一步优选的。由此，公式(2)(TbaDy(1-a)Ty的合金中，饱和磁致伸缩常数较大，能得到较大的磁致伸缩值。在此，a在0.27或以下于室温以下不能显示充足的磁致伸缩值，在超过0.50时于室温附近不能显示充足的磁致伸缩值。进一步优选的a的范围是0.27≤a≤0.40，最优选是0.28≤a≤0.34。
T特别优选的是Fe，Fe与Tb、Dy形成(Tb、Dy)Fe2金属互化物，具有较大的磁致伸缩值，能得到磁致伸缩特性较高的烧结体。此时，Fe的一部分被Co、Ni置换也可以。但是，尽管Co的磁各向异性增大，却使导磁率降低。而且Ni降低居里温度，结果使常温和高磁场的磁致伸缩值降低。因此，优选是Fe占T的比例为70wt％或以上、进一步优选是在80wt％或以上。
另外，优选合金粉的一部分或全部是经过吸藏氢处理的原料。通过使合金粉吸藏氢，构成合金粉的颗粒中产生应变，由于内部应力的作用产生裂纹。因此，被混合的合金粉在形成成型体时受到压力，在混合状态的内部被粉碎而变得细小，于烧结时能够得到致密的高密度烧结体。再者，Tb、Dy的稀土类元素容易被氧化，因此，哪怕有一点点氧存在，便会在表面形成高熔点的氧化膜，抑制烧结的进行，但是通过吸藏氢，却变得不容易氧化。因此，合金粉的一部分或全部通过吸藏氢处理能够制造高密度烧结体。
在此，吸藏氢的原料，是以公式(4)TbbDy(1-b)且b在0.37≤b≤1.00表示的组成作为优选。T是单独的Fe也可以，Fe的一部分被Co、Ni置换也可以。由此，能够提高原料合金粉的烧结体密度。
在本实施方案中，例如将原料粉在650℃或以上的升温过程的温度区间或/和1150℃～1230℃的稳定温度区间内，于氢气保护气氛或氢气∶氩(Ar)气＝X∶100-X表示的公式(5)的X(体积％)在0＜X＜50的氢气与惰性气体的混合保护气氛中进行烧结。
以公式(1)RTy表示的合金，至少将原料粉在650℃或以上的升温过程中保持氢气与惰性气体的混合保护气氛。
烧结是将成型的原料粉在炉中升温进行热处理。进行的升温速度是3～20℃/min。在升温速度不足3℃/min时生产率降低，在升温速度超过20℃/min时炉中成型的原料粉的温度不均，产生偏析和异相。将适用上述的氢气与惰性气体的混合保护气氛的温度区间设定在650℃或以上是为了防止由于残留微量的氧对稀土类金属的氧化。
将温度大致保持一定的稳定温度进行烧结作为优选。该稳定温度的优选范围是1150℃～1230℃。因为在稳定温度不足1150℃时为了消除内部应力需要较长的时间，效率太低；另一方面，在稳定温度超过1230℃时接近RTy表示的合金的熔点，因此烧结体可能熔化且有其它的RT3相等异相析出。
此外，烧结在非氧化性气氛中进行、更具体地是在氢气保护气氛或氢气∶氩(Ar)气＝X∶100-X表示的公式(5)的X(体积％)在0＜X＜50的氢气与惰性气体的混合保护气氛中进行作为优选。
R与氧极容易反应而形成稳定的稀土类氧化物。这些氧化物不显示实用上的磁性材料那样的磁特性。高温烧结时在烧结气氛中哪怕存在一点点氧气，便会使烧结体的磁特性有很大降低，因此在烧结等热处理中，特别是含有氢气的保护气氛作为优选。而且，作为防止氧化的保护气氛有惰性气体的保护气氛。但是，在仅是惰性气体中完全去除氧困难，在与氧的反应性大的稀土类金属中形成氧化物，因此为了防止稀土类金属的氧化，优选是氢气与惰性气体的混合气体的保护气氛。
作为含有氢气的还原性保护气氛，在氢气∶氩(Ar)气＝X∶100-X表示的公式(5)中的X(体积％)优选为0＜X＜50。Ar气是惰性气体，由于不氧化R，因此与氢混合能够得到具有还原作用的保护气体。为了得到这种还原作用，X(体积％)至少是0＜X才可以。并且，在X(体积％)是50≤X时还原作用达到饱和，因此X＜50即可。在此，优选于升温过程的650℃或以上的温度区间作成氢气与Ar气的混合保护气氛，并且进一步优选是在稳定温度区间作成氢气与Ar气的混合保护气氛。
磁致伸缩元件的制造工序流程的细节如下。
首先，作为原料之一，称量Tb、Dy、Fe，在Ar气的惰性保护气氛中熔化，制造合金(以下将其记为“原料A”)。在此，作为原料A，例如作成Tb0.4Dy0.6Fe1.94的组成。对该原料A进行退火热处理，使制造合金时的各金属元素的浓度分布均匀并使析出的异相消失后例如用喷雾器粉碎。
并且，作为原料之一，称量Dy、Fe，在Ar气的惰性保护气氛中熔化，制造合金(以下将其记为“原料B”)。在此，作为原料B，例如作成Dy2.0Fe的组成。对该原料B同样例如用喷雾器粉碎。
再者，作为原料之一，将Fe在氢气保护气氛中进行去除氧的还原处理后例如用喷雾器粉碎(以下将其记为“原料C”)。
接着，将得到的原料A、B、C称量后进行粉碎和混合处理。得到例如组成为Tb0.3Dy0.7Fe1.88的合金粉(原料粉末)。
然后，将得到的合金粉装入模具中，在设定强度例如8kOe的磁场中成型而得到成型体。
然后将得到的成型体在炉中以设定的温度曲线升温，得到烧结体。此时，例如在1150～1230℃的稳定温度区间在35体积％的氢气和65体积％的氩气的混合保护气氛中进行烧成，得到烧结体。
对该烧结体进行时效处理后，将该烧结体切分成设定尺寸，能够得到磁致伸缩元件。
图1和图2是为了说明上述那样的磁致伸缩元件的制造工序中，使用的烧结用容器10的构成的图。图1是表示烧结用容器10的外观的斜视图，图2(a)是烧结用容器10中容纳成型体100的状态的剖面图、图2(b)是烧结用容器10的容器本体11中装备定位器20的平面图。
在本实施方案中，最终成为磁致伸缩元件的成型体(烧结对象物)100在被容纳到烧结用容器(容器)10中的状态而被烧结。
如图1所示那样，烧结用容器10设置有容器本体11、盖体12而构成。
如图2所示那样，在容器本体11内装备有烧结时支承成型体100的定位器20(保持部件)。
定位器20具有多个与容器本体11的底面垂直的、即在大致垂直方向延伸的孔(凹部)21。各孔21具有比烧结前的成型体100的外径略大的内径。并且，在本实施方案中定位器20的厚度即孔21的深度被作成与成型体100的长度方向的长度大致相同的尺寸。
这样的定位器20，优选以与成型体100不容易发生反应的材料形成。而且，优选以与成型体100发生烧结反应的温度(反应温度)比随着烧结成型体100收缩的温度更高的材料形成定位器20。作为这样的材料例如CaO、Dy2O3，特别优选以Dy2O3形成定位器20。
以设置这样的定位器20的烧结用容器10中烧结形成体100时，将设定个数的烧结前的成型体100插入孔21中。由此，各成型体100通过定位器20能够使其长轴方向保持在与大致垂直方向相一致的状态。在该状态下成型体100与定位器20局部接触。构成定位器20的Dy2O3与成型体100的线膨胀系数不同，使定位器20的孔径比成型体100的外径大1％左右。
然后，将该烧结用容器10放入炉内，按照设定的温度曲线加热该炉，烧成烧结用容器10内容纳的成型体100，得到作为磁致伸缩元件的烧结体。作为磁致伸缩元件的烧结体的尺寸能够设定为例如直径为2～20mm、长为20～40mm。
此时，成型体100随着在炉内烧结而收缩，烧结后如图3所示那样，在收缩的成型体100与孔21之间形成间隙，成型体100与定位器20成为非接触状态。在此，这样的成型体100的收缩例如在800～850℃附近开始。另一方面，成型体100与定位器20的烧结反应例如在1150℃附近开始，因此在双方发生反应的时候成型体100与定位器20成为非接触状态。而且即使在成型体100与定位器20成为接触状态时，也只是点接触。
如上所述，将烧结用容器10的定位器20作成具有孔21的构成，能够使成型体100保持在直立状态，由此，在烧结时成型体100收缩，在成型体100与定位器20引起烧结反应的温度范围内成型体100与定位器20成非接触的状态。因此，能够防止由于成型体100与定位器20的烧结反应而在成型体100中形成反应物。由此，在烧结时也不会有反应物引起的机械应力(内部应力)作用在成型体100上，晶体的晶格间距大体均等，与从前那样的横置的场合相比较，能够使磁特性提高。并且，这样的定位器20的构造是只形成孔21的非常简易的构成，因此能够以最低的成本获得较大的效益。
并且，对于上述实施方案，孔21的深度被作成与成型体100的长度方向的长度大致相同的尺寸。将该孔的深度作成小于成型体100的长度、使成型体100的上部从定位器20的上方突出的状态也可以。但此时，优选使成型体100收缩后，例如烧结处理结束而移至烧结用容器10时等，以定位器20支承住而不使成型体100倾倒的尺寸。
另外，成型体100使其下端部与容器本体11的底面上相接触而直立，但定位器20的孔21也可以不作成贯通孔而作成有底的孔。
实施例1使用上述那样的烧结容器，确认磁致伸缩元件中的气孔的发生状况，其结果表示如下。
首先，作为原料A称量Tb、Dy、Fe，在Ar气的惰性保护气氛中熔化，制造具有Tb0.4Dy0.6Fe1.94的组成的合金。然后，对该原料A进行退火热处理，使制造合金时的各金属元素的浓度分布均匀并使析出的异相消失后用布朗球磨机(ブラウンミル)粉碎。作为原料B称量Dy、Fe，在Ar气的惰性保护气氛中熔化，制造具有Dy2.0Fe的组成的合金，在氢气保护气氛中进行150℃、1小时的吸藏氢处理。作为原料C，对于Fe在氢气保护气氛中进行去除氧的还原处理。
其次，称量所得到的A、B、C，然后用喷雾器进行粉碎和混合处理，得到组成为Tb0.3Dy0.7Fe1.9的合金粉。
将得到的合金粉装入模具，在8kOe的磁场中成型，得到成型体100。成型体100作成直径为7mm、长为100mm的棒状。
将得到的成型体100容纳到烧结用容器10内，在炉中进行升温，用35体积％的氢气和65体积％的氩气的混合保护气氛中以1150～1230℃的稳定温度区间进行烧成，得到烧结体。
(实施例)在烧结时成型体100在烧结用容器10的定位器20上保持纵向放置。
(比较例)在烧结时成型体100象以前那样保持横向放置。
这样，在实施例和比较例中分别烧成10个成型体100，对得到的烧结体进行磁特性检测(磁致伸缩值)。
其结果示于图4～图6中。
图4是得到的烧结体的X射线的取向度的测定结果，磁致伸缩值的评价是在图4中的[222]取向进行的。
图5和图6是表示X射线强度分布的半幅值与磁致伸缩值的关系的图。这里，X射线的半幅值是在X射线的强度分布中[222]取向的峰值高度的二分之一高度的峰值的扩展幅，磁致伸缩值λ1.0是1kOe的磁场中的磁致伸缩值。
如图6所示那样，作为横向放置的比较例中，X射线强度分布的半幅值分布在0.74～1.15的范围，与此相比，作为纵向放置的实施例中，X射线强度分布的半幅值分布在0.35～0.70的范围。由此，实施例的X射线的强度的峰值陡峻，与比较例相比表明夹杂物的存在少。
而且，在作为横向放置的比较例中，其磁致伸缩值为1030～1122ppm，与此相比，作为纵向放置的实施例，其磁致伸缩值为1132～1231ppm，可以知道实施例的磁致伸缩值提高10％或以上。
这样可以说明确了在烧结时将成型体100纵向放置能够抑制夹杂物的生成，即能够抑制与定位器20的烧结反应而引起的反应物的生成，并且磁致伸缩值也能够大幅度提高。
对于比较例和实施例的试料，根据EPMA(电子探针显微分析仪Electron Probe X-ray Micro Analyzer)观察元素分散状态，结果是实施例与比较例相比，碳化物和氧化物较少，并且是均匀分散的。而且，关于Dy和Fe，可知实施例与比较例相比其Dy和Fe元素的疏密不均分布较少。
这样可以确认，烧结时通过将成型体纵向放置，能够得到碳化物和氧化物均较少，且Dy和Fe分散均匀而均一的组成。
权利要求
1.一种磁致伸缩元件的制造方法，其特征在于该制造方法包括在磁场中成型原料粉末而得到成型体的工序、以及将所述成型体在容器内以直立的状态进行烧结的工序。
2.根据权利要求1所述的磁致伸缩元件的制造方法，其特征在于在烧结所述成型体的工序中，通过保持部件而使所述成型体在所述容器内保持直立状态，其中所述保持部件在所述成型体随着烧结而产生收缩时与所述成型体呈非接触状态。
3.根据权利要求1所述的磁致伸缩元件的制造方法，其特征在于所述成型体含有Tb、Dy和Fe，且通过烧结而制成磁致伸缩元件。
4.根据权利要求1所述的磁致伸缩元件的制造方法，其特征在于所述成型体是棒状。
5.一种在烧结时容纳通过烧结而成为磁致伸缩元件的烧结对象物的烧结用容器，其特征在于该烧结用容器具备带有底面且一部分开口的容器本体、盖住所述容器本体的开口且盖卸自如的盖体、以及设置于所述容器本体内的定位器，该定位器具有沿着所述烧结对象物通过烧结而成为所述磁致伸缩元件时的该磁致伸缩元件的驱动方向能够插入该烧结对象物的凹部。
6.根据权利要求5所述的烧结用容器，其特征在于于一个方向较长的所述烧结对象物，能够以使其长轴方向与大致垂直的方向相一致的状态插入所述定位器的所述凹部。
7.根据权利要求5所述的烧结用容器，其特征在于所述定位器的厚度具有与所述烧结对象物的长度方向的长度大致相同的尺寸。
8.根据权利要求5所述的烧结用容器，其特征在于所述定位器由该定位器与所述烧结对象物的反应温度比所述烧结对象物随着烧结而产生的收缩的温度更高的材料形成。
9.根据权利要求5所述的烧结用容器，其特征在于所述定位器由含有Dy2O3的材料形成。
10.一种磁致伸缩元件，其是由具有以公式RTy表示的组成的烧结体构成，其中R是1种或以上的稀土类金属、T是1种或以上的过渡性金属，y表示为1＜y＜4，其特征在于在烧结的状态中所述磁致伸缩元件的晶格间距大体均等。
11.根据权利要求10所述的磁致伸缩元件，其特征在于所述烧结体具有以公式(TbaDy(1-a))Ty表示的组成，其中a在0.27＜a≤0.50的范围。
12.根据权利要求10所述的磁致伸缩元件，其特征在于对所述磁致伸缩元件进行X射线分析时的X射线强度分布的[222]取向的半幅值为0.05～0.70。
13.一种磁致伸缩元件，其是由具有以公式(TbaDy(1-a))Ty表示的组成的烧结体构成，其中a在0.27＜a≤0.50的范围、T为1种或以上的过渡性金属、y表示为1＜y＜4，其特征在于对所述磁致伸缩元件进行X射线分析时的X射线强度分布的[222]取向的半幅值为0.05～0.70。
14.根据权利要求13所述的磁致伸缩元件，其特征在于所述T是Fe。
15.根据权利要求13所述的磁致伸缩元件，其特征在于在1kOe的磁场中的磁致伸缩值为1100ppm或以上。
全文摘要
本发明提供一种磁致伸缩元件的制造方法、烧结用容器以及磁致伸缩元件。本发明是将烧结用容器10的定位器20作成具有使成型体100能够保持在直立状态的孔21的构成，在烧结时成型体100收缩，在成型体100和定位器20发生烧结反应的温度区域使成型体100和定位器20成为非接触的状态。
文档编号B22F1/00GK1610141SQ200410086189
公开日2005年4月27日 申请日期2004年10月22日 优先权日2003年10月23日
发明者森辉夫, 铃木常雄, 野老诚吾 申请人:Tdk株式会社