专利名称：用于溅射系统的控制系统的制作方法
技术领域：
本发明一般涉及在等离子体溅射领域中的故障处理系统。尤其是，本发明涉及用于控制在溅射系统中使用的功率发生器的操作的故障处理系统及方法。
背景技术：
等离子体溅射处理在半导体、平板、数据存储、硬质合金涂层和工业玻璃涂层行业中被广为使用。在溅射处理中，材料的原子从靶材料中释放并淀积在衬底上。或者，在反应性的溅射处理中，材料的原子从允许原子与气体发生反应的靶材料释放以形成涂层，该涂层其后被淀积在衬底上。在半导体工业中可采用反应性溅射处理，例如，把电介质绝缘层(诸如氮化硅)淀积在硅片上。在硬质合金涂层行业，可以使用反应性溅射处理，例如，将耐磨层(诸如，氮化钛)淀积在机械部件上。
溅射是一种真空淀积方法，其中用通常为惰性气体电离的离子轰击溅射靶，并且动量传递机械地释放出靶材料的原子。然后该靶材料涂敷附近的衬底。
在反应性的溅射处理中，反应性的气体被引入溅射腔且靶材料释放的原子与反应性的气体发生反应以形成涂层材料。例如，靶材料可以是铝，反应性的气体可以是氧气，二者的化合产生氧化铝的涂层。在另一个例子中，可以使用含碳气体(诸如乙炔)作为反应性的气体通过用乙炔分别与硅靶和钨靶化合以产生诸如碳化硅和碳化钨的涂层。靶材料释放的传导原子与溅射腔中以等离子体形式存在的反应性气体发生反应以产生涂敷衬底的化合物(涂层材料)。
对溅射处理参数(诸如，由功率发生器供给等离子体腔的电压和电流)的恰当控制对于确保获得满意的溅射质量和系统的生产量是重要的。在工作期间会发生溅射系统故障(诸如，警告或错误信号)。这些故障表示出溅射处理中的问题或对溅射处理可具有不利影响的问题的开始。一种此类故障在溅射系统的功率发生器输出低于规定阈值的电压时发生；这种情形能够导致极少或没有靶材料的原子从靶释放。此外，另一种此类故障在溅射系统的功率发生器将在规定阈值值之上的电流密度输出给等离子体腔时发生；这种情形能够导致产生电弧以及其后由于电弧的存在而引起溅射处理的结束。
传统的溅射系统的控制系统对单独的故障的发生做出反应。但是，在溅射系统的工作期间在很短的时期内会发生多种故障。在具有多种故障的情形，对每种独立的故障控制系统的反应并不是最佳。
因此需要有一种在存在多种溅射系统故障的情形下用于控制溅射系统的功率发生器的操作的故障处理系统和方法。
发明内容
本发明在一个方面提供了一种用于控制溅射系统的操作的方法。
在另一方面，本发明涉及控制功率发生器的操作的方法。该方法包括在规定的时间周期内从溅射系统接收多个故障状况信号，用故障处理算法处理多个故障状况信号，以及产生至少一个用于影响溅射系统的功率发生器的工作特性的命令信号。
在不同的实施例中控制功率发生器的操作的方法包括在功率发生器的工作期间修改故障处理算法的参数。在一些实施例中故障处理算法软件的参数在重新编译系统软件之前被修改。在替换实施例中，故障处理算法的参数在不重新编译源代码的情况下被修改。在替换实施例中，故障状况信号对应于一个或多个故障类型。
在一些实施例中用故障处理算法处理故障状况信号包括进行线性代数计算和/或数学运算。该数学运算可包括运算数AND、OR、XOR、NOT、乘、加、减、除、等于、大于、小于、不等于、大于或等于、小于或等于、最大值以及最小值。
在不同实施例中的控制功率发生器的方法包括把故障处理算法存储在存储器中和/或从存储器检索该算法。在一些实施例中该方法包括产生多个命令信号。在一些实施例中这些命令信号同时产生。在一些实施例中用故障处理算法同时处理多个故障状况信号。在一些实施例中该方法被用来控制直流“DC”功率发生器以及在其它实施例中被用来控制射频“RF”功率发生器。
在另一方面，通常，本发明包括用于控制溅射系统的功率发生器的故障处理系统。该故障处理系统包括与功率发生器进行信号通信的处理器。该处理器在时间周期内从溅射系统接收多个故障状况信号并通过用故障处理算法处理多个故障状况信号产生至少一个命令信号以影响功率发生器的工作特性。
前述方面的实施例可包括一个或多个下面的特征。故障处理算法的参数可以由操作者在溅射系统工作期间规定。在不用重新编译源代码的情况下可以修改故障处理算法的参数。用故障处理算法处理多个故障状况信号包括进行线性代数计算和/或数学运算。被执行的数学运算包括一个或多个运算数AND、OR、XOR、NOT、乘、加、减、除、等于、大于、小于、不等于、大于或等于、小于或等于、最大以及最小。
本发明的前述方面的实施例可包括下面的特征。处理器是功率发生器中的组件。故障处理系统包括用于存储故障处理算法且从其能够检索该算法的存储器。多个故障状况信号可包括故障状况信号的向量。在替换实施例中，故障状况信号对应于一种或多种故障类型。处理器能够产生多个命令信号。这些命令信号能够被同时产生。用故障处理算法能够同时处理多个故障状况信号。故障处理系统包括与处理器通信的用户接口。用户接口能够被用于修改故障处理算法。故障处理系统控制功率发生器。该故障处理系统能被用来控制DC功率发生器或RF功率发生器。能够受故障处理系统影响的功率发生器的工作特性包括系统输出禁止使用、功率部件输出禁止使用、输出使能阻止和输出驱动压低(rollback)电压。
在另一方面，通常，本发明包括用于控制溅射系统的功率发生器的故障处理系统。该故障处理系统包括用于在时间周期内从溅射系统接收多个故障状况信号的装置和用于依据多个故障状况信号和故障处理算法产生至少一个命令信号以影响功率发生器的工作特性的装置。
本发明的前述和其它目的、方面、特征和优点根据下面的说明和权利要求书将变得更清楚。
当与不一定按照比例的附图一起阅读时，从下面本发明的示例性说明中将能更充分地理解本发明的前述及其它目的、特征和优点以及本发明本身。
图1是根据本发明的示例性实施例与溅射系统的功率发生器进行通信的处理器的示意图。
图2是电压对电流密度的帕邢曲线，示出了溅射工作中等离子体的各种工作条件区域。
图3是描述根据本发明的方法的示例性实施例的计算机执行过程的流程图。
图4是描述根据本发明的示例性实施例的多种故障、故障处理算法和命令信号的示意图。
具体实施例方式
图1示出了根据本发明用来控制溅射系统100的故障处理系统136的一个实施例。溅射系统100包括等离子体腔112和功率发生器114。故障处理系统包括与存储器130和用户接口132进行信号通信的处理器110。处理器110依据故障处理算法和多个故障状况信号产生一个或多个命令信号以影响功率发生器114的操作。理解溅射系统100的操作对更充分地描述相关故障处理系统136是有帮助的。
在溅射系统100的一般操作过程中，在受控量的惰性气体，例如氩气被引入的同时通过真空泵126来调节等离子体腔112中的压力。带正电的氩离子138(Ar+)在工作过程中被电场朝着位于等离子体腔112中的靶116(也称作阴极)加速，在那儿正离子138与靶116中的电子结合。所述电场(例如，稳态电场)由通过电气接线128a和128b分别连接到功率发生器114的正接线端的阳极118和连接到功率发生器114的负接线端的靶116(阴极)产生并位于所述阳极和靶之间。靶116可以由例如铝、金、铂或钛制造。
为了获得溅射效果，使带正电的氩离子有足够的高能以使得当氩离子138与靶116相撞时其动能将靶材料的原子撞离靶116。在该实施例中，描述了反应性的溅射系统。也可考虑其它类型的溅射系统，例如其中使用非反应性的气体和使用靶材料的释放原子以涂敷衬底的溅射系统。靶材料的原子从靶116释放然后进入位于等离子体腔112的等离子体122中，在那儿靶材料的原子与由气体管道120供给溅射腔112的反应性气体140(例如氧气、硼烷、乙炔、氨、硅烷或胂)发生反应。靶材料的释放原子和反应性气体140的反应的最终产品(涂层材料)被淀积在等离子体腔112中的任何可使用的表面上。然而，最好是该涂层材料仅仅被淀积在位于等离子体腔112中的衬底124的上面。例如，淀积在等离子体腔112的靶116和其它表面上的涂层材料能够在等离子体腔112产生电弧。
溅射处理的控制需要控制，例如从功率发生器114传送到等离子体腔112中的等离子体122的电压、电流和电流密度。
在本发明示例性的实施例中，使用故障处理系统136的处理器110控制功率发生器114的操作(例如，控制输出电压或电流密度)。处理器110与溅射系统100的功率发生器114进行信号通信。与处理器110进行信号通信的用户接口132被用来监控、控制、和/或影响故障处理系统136和溅射系统100的操作。
在替换实施例中，功率发生器114的操作由与故障处理系统136的处理器110无关的控制器或处理器控制。在一些实施例中的控制器或处理器也被用来监控和/或控制溅射系统100。在这些实施例中的控制器或处理器可以是溅射系统100的独立组件或功率发生器114中的组件。
在示例性的实施例中，功率发生器114是在两个连接端子之间产生电压势的DC功率发生器。两个连接端子中的每一个被耦合到等离子体腔112，在功率发生器114和等离子体腔112之间建立正电气接线128a和负电气接线128b。处理器110能够产生命令信号以影响功率发生器114的操作特性，并且通过延长等离子体腔112中的溅射处理能够产生命令信号。例如，一个让功率发生器114把更多的电流供给等离子体腔112的命令信号，一般将使更多的离子138与靶116相碰撞并释放靶材料的原子。该释放的原子将以更高的速率进入等离子体腔112中的等离子体122，从而影响涂层材料在衬底124上面的淀积。
在替换实施例中，功率发生器是RF发生器。RF发生器是一种以例如从约0.08MHz到约100MHz的范围内的频率把电能供给等离子体腔的功率发生器。作为例子，功率发生器可以是RF功率发生器，诸如由ENT技术有限公司(其办公地位于纽约州罗彻斯特)生产的型号为NOVA25的中频RF发生器。RF功率发生器向离子体腔的阴极和阳极提供交流电压。某些时候RF功率发生器降低了产生电弧的风险并获得比DC功率发生器更高的淀积速率。
不同的靶材料需要不同级别的施加电压以从靶116释放原子。例如，由金组成的靶比由铝组成的靶需要更高能量的正离子以从靶116释放原子。为了比较，需要约-700伏特以从由金组成的靶释放金原子，但是需要约-450伏特以从由铝组成的靶释放铝原子。
由功率发生器114供给到等离子腔112的电流密度也是重要的溅射处理参数。它影响到涂层材料淀积在衬底124上面的速率。随着电流密度的增加电弧放电的风险也增加了。通常，淀积速率的上限被电流密度的上限所限定。由功率发生器114供给到等离子体122的电流密度的上限有时由诸如图2中示出的帕邢曲线限定。图2的帕邢曲线200示出了在具有特定性能(例如，靶材料类型、反应性气体、期望的淀积速率等)溅射系统中等离子体的电压202和的电流密度204之间的关系。
溅射处理由触发(ignition)阶段开始，在该阶段期间在溅射系统中建立了标称的操作条件。溅射通常在图2的帕邢曲线200的“辉光”区域内的等离子体操作条件下被实施。等离子体122在电流密度204和电压202增加到辉光水平之上时进入帕邢曲线200的“强辉光(superglow)”区域230。在强辉光区域230，等离子体122起着限制氩离子穿越等离子体122的运动的作用。这导致在等离子体122两端增加的电压202(和如图2的帕邢曲线200的Y轴212示出的击穿电压相应的增加)。
当等离子体122的操作条件超出强辉光区域230进入帕邢曲线200的电弧放电区域250(沿着X轴214的正方向)时，电流密度204变得很高以致等离子体122加热氩离子。在电弧放电区域中的氩离子的加热导致引起逸出电离(runaway ionization)的热电子和光子的产生。不加控制，逸出电离进一步增加等离子体122中离子的数量，导致等离子体122的阻抗的降低和其后电流的增加。这在等离子体122中(在热电子和光子产生的区域)产生倾向于产生电弧的负阻抗区域(在该区域等离子体122阻抗较低且电流仅被功率发生器14的输出阻抗限制)。万一出现电弧，对靶116会产生不期望得到的影响，诸如凹陷、剥落、破裂以及靶材料的局部受热。此外，在产生电弧的开始，涂层材料溅射在衬底停止。
本发明在一个方面旨在一种用于控制诸如图1的功率发生器114的功率发生器的故障处理系统。依照本发明，诸如图1的处理器110的处理器产生命令信号以影响功率发生器114的操作。在图1的实施例中，存储器130与处理器110进行信号通信。存储器130被用来在溅射系统的工作之前存储故障处理算法。例如，存储器130可以是能够存储诸如故障处理算法的计算机代码的闪存存储器器件。在一个替换实施例中，故障处理算法驻留于处理器110的存储器中。在图1的实施例中，用户接口132与处理器110进行信号通信。例如，操作者能够使用用户接口132以监控功率发生器114的性能和/或修改存储在存储器130中的故障处理算法的参数。在本发明的一个实施例中，操作者可以不用重新编译计算机源代码修改故障处理算法的参数。
在一个实施例中，处理器110是具有显示器的计算机系统的一部分，借助显示器操作者可以监控和或修改功率发生器114的工作特性。在一个替换实施例中，处理器110是功率发生器114的组件。
在本发明的一个示例性实施例中，图1的故障控制系统136适合于控制功率发生器114的操作。故障控制系统136在时间周期内接收来自溅射系统100的多个故障状况信号。这些多个故障状况信号用故障处理算法处理，且处理器110至少产生一个影响功率发生器114的工作特性的命令信号。在这样的实施例中，处理器110可以从溅射系统100的功率发生器114接收多个故障状况信号。
在一个替换实施例中，功率发生器114包括与故障处理系统136的处理器110进行信号通信的独立的处理器。该独立的处理器控制功率发生器114的工作。在这样的实施例中，该独立的处理器可以接收来自故障处理系统136的处理器110的控制命令。
多个故障状况信号代表在溅射系统100正在工作的时间周期(固定或变化的)内产生的那些故障信号。例如，多个故障状况信号可以是在处理器110的一个时钟周期期间接收到的所有此类信号。在一个这样的实施例中一个时钟周期是9微秒。基于接收到的故障状况信号和故障处理算法，处理器110至少产生影响功率发生器114的工作特性的一个命令信号。在处理器110产生一个或多个适当的命令信号和接下来的时间周期过去之后，处理器110可能有新的故障状况信号要处理。该新的故障状况信号组代表处理器110在随后的时钟周期期间产生的故障状况信号。如果溅射系统100的工作条件已变化，该新组的故障状况信号可以不同于那在先组的故障状况信号。此外，以这种方式，故障处理系统136响应多个故障状况信号可产生新的或更新的命令信号组。
本发明的故障处理算法被设计成处理聚集为向量的m个故障状况信号FS=F1F2···Fm.---(1)]]>每一故障状况信号Fm对应于由溅射系统100或其子系统产生的特定故障。例如，在功率发生器114的输出电压超过阈值电压时，将产生故障。使用依照本发明的故障处理系统的操作者可基于帕邢曲线把阈值电压规定成稍低于将会产生电弧放电的电压。照此方式，操作者能够将故障设置为警告故障处理系统136电弧放电不久将发生。
在故障系统中系统的各种部件会遇到故障状况信号。例如，故障状况信号可包括，但不限于安全互锁指示器、不能到达给定值、等离子体腔中的电弧的感测、到源极的电压泄漏(VDS)、感测部件电缆断开、系统不能激发等离子体、功率发生器输出电压比规定的极限值大、功率发生器输出电流比规定的极限值大、功率发生器输出电流密度比规定的极限值大以及在等离子体腔中流量传感器记录的流量测量值比规定的极限值大，以及靶在溅射系统中使用的分钟的数量超过规定的极限值。
通常，图1的处理器110用故障处理算法FHA处理每一故障状况信号Fm以确定响应信号要采取的行动。基于故障状况信号Fm故障处理系统FHA开始时将产生n个与功率发生器114有关的命令信号。该命令型号CSn被聚集为向量CS=CS1CS2···CSn.---(2)]]>
在溅射系统中通过故障处理系统可以产生各种命令信号。例如，产生的命令信号可以包括，但不限于输出电压的控制、电流、由功率发生器输出的电流密度、修改供给等离子体腔的惰性气体或反应气体的流动速率、修改RF功率发生器的工作参数以及修改DC功率发生器的工作参数。
在一些实施例中，产生命令信号向量CS的故障处理算法的执行包括对故障状况信号向量FS进行至少一次数学运算。
在一些实施例中，故障处理算法采用故障处理矩阵FMFM=FM11FM12···FM1mFM21·····················FMn1······FMnm,---(3)]]>其中FMmm表示与响应故障状况信号m的命令信号n有关联的故障处理矩阵参数。在这些实施例中，产生命令信号向量CS包括将故障处理矩阵FM乘以故障状况信号向量FSCS=CS1CS2···CSn=FM11FM12···FM1mFM21·····················FMn1······FMnm×F1F2···Fm,---(4)]]>其中作为结果产生的命令信号向量CS将具有以下值CS=CS1CS2···CSn=FM11F1+FM12F2+···FM1mFmFM21F1+FM22F2+···FM2mFm···FMn1F1+FMn2F2+···FMnmFm.---(5)]]>在本发明的这些实施例中，故障处理算法的执行可包括使用故障状况信号向量FS(方程1)和故障处理矩阵FM(方程3)进行的数学运算(例如，线性代数计算)。所进行的数学运算可包括(但不限于)下列逻辑和数学运算数AND、OR、XOR、NOT、乘、加、减、除、等于、大于、小于、不等于、大于或等于、小于或等于、最大值(maximum)以及最小值(minimum)。
在一个这样的实施例中，产生命令信号向量CS的故障处理算法的执行包括下面的数学运算
CS=CS1CS2···CSn=maximumFM11F1FM12F2···FM1mFmmaximumFM21F1FM22F2···FM2mFm···maximumFMn1F1FMn2F2···FMnmFm,---(6)]]>在这个实施例中处理器110确定哪一个元素FMnmFm对每一命令信号CSn是最大的；每一最大值然后被指定为命令信号。如这个实施例所示，故障处理算法响应多个故障状况信号可以产生单个命令信号。例如，当n＝1时(向量CS＝CS1且矩阵FM＝(FM11F1FM12F2...FM1mFm)，这种情况发生。
图3是描述依照本发明用于控制功率发生器的方法的流程图。图3的方法始于312然后在步骤302在时间周期内开始接收多个故障状况信号。在步骤302的一个实施例中的多个故障状况信号由故障状况信号向量表示。
在图3的方法的一种实施中，在步骤306从例如诸如图1的存储器130的存储器获得故障处理算法。在图3的步骤304，用故障处理算法处理故障状况信号。在步骤308至少产生一个命令信号。在一个替换实施例中，获得故障处理算法的步骤306是可选的，且该算法已经存储在用来用故障处理算法处理故障状况信号的处理器中。
在本发明的这个实施例中，命令信号在步骤308由处理器同时产生并随后在步骤310被输出到功率发生器。或者，命令信号可以是在处理器已经完成与执行故障处理算法相关联的算术运算之后，在系统时钟周期的结束时被输出到功率发生器。
在产生命令信号的步骤308之后，该方法的一些或所有步骤根据步骤314被重复。在这个实施例中，图3的方法通过在时间周期(时间周期等于t+1)内接收多个故障状况信号重复步骤302。在本发明的替换实施例中，该方法的其它步骤或步骤的组合可以被重复。
在该方法中的一个可选步骤包括更新故障处理算法的步骤320。例如，更新步骤可以是在溅射系统的工作期间由操作者进行。操作者可以通过在不重新编译与该算法相关联的软件的情况下修改故障处理算法的参数来更新故障处理算法。在一个实施例中，操作者可以依据识别在诸如图2的帕邢曲线200的帕邢曲线中的变化来更新故障处理算法的参数。在这个例子中，操作者可以改变参数以保证用于改变由电源供给到等离子体腔的电流密度的命令信号低于阈值水平，以保证不发生电弧放电。
在一个实施例中，根据本发明的图3的方法包括接收由下面的向量表示的多个故障状况信号FS=F1F2F3F4F5F6=011000.---((7))]]>在示例性的故障状况向量中，F1等于0值，表示对于安全互锁故障指示器没有故障发生；F2具有1值，表示功率发生器14不能达到已建立的给定值；F3具有1值，表示在等离子体腔112中已经感测到电弧；F4具有0值，表示无论是否有对源极的电压泄漏(VDS)没有故障存在；F5具有0值，表示感测部件电缆没有断开；F6具有0值，表示无论系统能否起弧等离子体没有故障。
本发明用故障处理算法处理故障状况信号向量方程(7)。接收上面故障状况信号向量的本发明的实施例包括以具有下面示出的参数值的故障处理矩阵为特征的故障处理算法FHAFM=FM11···FM16·········FM41···FM46=1000101011101001100400200000.---(8)]]>在这种情况下，一些参数值具有物理含义。例如，FM42和FM43的参数值分别表示故障算法可以命令功率发生器输出到等离子体腔的电压水平400伏特和200伏特。
在这种情况下，如下面描述的那样，四个影响功率发生器的工作的命令信号被产生
CS=CS1CS2CS3CS4=FM11F1+FM12F2+FM13F3+FM14F4+FM15F5+FM16F6FM21F1+FM22F2+FM23F3+FM24F4+FM25F5+FM26F6FM31F1+FM32F2+FM33F3+FM34F4+FM25F5+FM26F6maximum(FM41F1,FM42F2,FM43F3,FM44F4,FM45F5,FM46F6)]]>=010400---(9)]]>其中，CS1＝0表示没有命令信号产生以使整个功率发生器114禁止使用，CS2＝1是使功率发生器114的DC输出禁止使用的命令信号，CS3＝0表示没有命令信号产生以防止操作者使能DC输出(把CS2变成等于0)，以及CS2＝400是使功率发生器114把功率发生器114的输出信号减少(压低)到400伏特的命令信号。
图4是示出故障处理算法406、特定故障类型408-418和特定命令信号402的故障处理算法之间的关系的示意图400。如图4所示，故障处理算法406可设有多个故障和各种类型的故障。图4示出了6中类型的故障。这些故障是局部低电压电源故障408、系统环境故障410、控制算法故障412、电弧处理器故障414、感测部件故障416和功率变换器故障418。
每一故障类型可在各种条件下发生。例如，如果电源温度在固定值之上，电气接触器没有闭合，或如果发生电源故障，会发生局部低电压电源故障408。在打开互锁线或如果与控制端口的通信中断的情况下，会发生环境故障410。例如，如果电源发生器不能够到达规定的给定值、到达最大电流或到达最大功率，会发生控制算法故障412。例如，如果出现电弧或与电弧处理器电路的通信中断，会发生电弧处理器故障414。如果在处理器和感测部件之间的通信中断或如果感测部件电缆断开，会发生感测部件故障416。如果在功率变换器中测量出信号没有增益、功率转换器没有被同步、与功率转换器的通信被确定为被破坏、与功率转换器的通信中断、如果功率转换器被确定为不能调节或由于VDS的发生，会发生与图4中的功率转换器418有关的故障。
图4的故障处理算法406响应多个故障状况信号408-418能够产生多达4个命令信号402。命令信号402包括系统输出禁止使用、功率部件输出禁止使用、输出使能阻止和输出驱动压低。命令信号可具有二进制形式(即规定是否禁止使用某些东西)或阶梯状的形式(即降低电压特定量)。诸如图4中示出的故障处理算法406可以使用在图3的方法的实施例中和/或图1的故障处理系统136的实施例中。
在不背离本发明的精神和范围的情况下，可进行变化、修改或其它实施。因此，本发明不仅仅受限于前面示出的说明，而受限于附属的权利要求及其等效物。
权利要求
1.一种用于控制功率发生器的方法，包括在时间周期内从溅射系统接收多个故障状况信号；用故障处理算法处理所述多个故障状况信号；以及产生至少一个影响功率发生器的工作特性的命令信号。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括在功率发生器工作期间修改所述故障处理算法的参数。
3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，不用重新编译源代码修改所述故障处理算法的参数。
4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述处理步骤包括进行线性代数计算。
5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述处理步骤包括进行数学运算。
6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述数学运算从AND、OR、XOR、NOT、乘、加、减、除、等于、大于、小于、不等于、大于或等于、小于或等于、最大值以及最小值组成的组中选择。
7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括把所述故障处理算法存储在存储器中。
8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括从存储器检索所述故障处理算法。
9.如权利要求1所述的方法，其特征在于，至少一个所述命令信号包括多个命令信号。
10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述多个命令信号被同时产生。
11.如权利要求1所述的方法，其特征在于，用所述故障处理算法同时处理多个所述故障状况信号。
12.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述功率发生器是DC功率发生器。
13.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述功率发生器是RF功率发生器。
14.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述多个故障状况信号对应于一种或多种故障类型。
15.一种用于控制溅射系统的功率发生器的故障处理系统，所述故障处理系统包括与功率发生器进行信号通信用于在时间周期内从溅射系统接收多个故障状况信号的处理器，该处理器通过用故障处理算法处理所述多个故障状况信号产生至少一个影响功率发生器的工作特性的命令信号。
16.如权利要求15所述的故障处理系统，其特征在于，所述故障处理算法的参数由操作者在溅射系统工作期间规定。
17.如权利要求15所述的故障处理系统，其特征在于，修改所述故障处理算法的参数不需要重新编译源代码。
18.如权利要求15所述的故障处理系统，其特征在于，所述处理包括进行线性代数计算。
19.如权利要求15所述的故障处理系统，其特征在于，所述处理包括进行数学运算。
20.如权利要求15所述的故障处理系统，其特征在于，所述数学运算从AND、OR、XOR、NOT、乘、加、减、除、等于、大于、小于、不等于、大于或等于、小于或等于、最大值以及最小值组成的组中选择。
21.如权利要求15所述的故障处理系统，其特征在于，所述处理器是所述功率发生器的组件。
22.如权利要求15所述的故障处理系统，其特征在于，还包括用于存储所述故障处理算法的存储器。
23.如权利要求15所述的故障处理系统，其特征在于，多个所述故障状况信号是信号的一个向量。
24.如权利要求15所述的故障处理系统，其特征在于，多个所述命令信号由所述处理器产生。
25.如权利要求24所述的故障处理系统，其特征在于，多个所述命令信号被同时产生。
26.如权利要求15所述的故障处理系统，其特征在于，用所述故障处理算法同时处理多个所述故障状况信号。
27.如权利要求15所述的故障处理系统，其特征在于，还包括用于修改所述故障处理算法的用户接口，所述用户接口与所述处理器进行信号通信。
28.如权利要求15所述的故障处理系统，其特征在于，所述故障处理系统控制所述功率发生器。
29.如权利要求15所述的故障处理系统，其特征在于，所述功率发生器是DC功率发生器。
30.如权利要求15所述的故障处理系统，其特征在于，所述功率发生器是RF功率发生器。
31.如权利要求15所述的故障处理系统，其特征在于，所述工作特性从由系统输出禁止使用、功率部件输出禁止使用、输出使能阻止和输出驱动压低(rollback)百分比组成的组中选择。
32.如权利要求15所述的故障处理系统，其特征在于，所述故障状况信号对应于一种或多种故障类型。
33.用于控制溅射系统的功率发生器的一种故障处理系统，所述故障处理系统包括用于在时间周期内从溅射系统接收多个故障状况信号的装置和用于依据所述多个故障状况信号和故障处理算法产生至少一个影响功率发生器的工作特性的命令信号的装置。
全文摘要
一种故障处理算法在时间周期内处理来自溅射系统的多个故障状况信号以产生至少一个用于影响功率发生器工作的命令信号。
文档编号C23C14/54GK1839214SQ200480023743
公开日2006年9月27日 申请日期2004年8月18日 优先权日2003年8月18日
发明者M·D·特雷西, J·N·克莱因 申请人:Mks仪器股份有限公司