专利名称：一种制备涂层或薄膜的微波水热电沉积装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种微波水热电沉积装置，特别涉及一种制备涂层或薄膜的微波水热电沉积装置。
背景技术：
目前制备涂层或薄膜的装置只有电沉积装置、水热电沉积装置和微波水热装置。普通电沉积装置制备的薄膜或涂层与基体结合力很差，一般小于1Mpa，且有很多复合氧化物薄膜或涂层不能制备，如BaTiO3、Y2SiO5薄膜或涂层等。而现有的水热电沉积装置一般只能在较低的压力下和温度下进行(一般不超过250℃和3Mpa的压力)刘芳，黄伯云等，电沉积-水热合成法制备的生物陶瓷涂层与基体界面结合强度的研究，稀有金属材料与工程，2004，33(1)83-86，也只能合成一些活化能较低的材料(如羟基磷灰石)。微波水热装置一般只能用于合成一些粒度细小的无机材料，不能用来制备薄膜或涂层材料。
发明的内容本实用新型的目的在于克服上述现有技术的缺点，提供了一种结构简单，成本低且能够使制备的薄膜或涂层在较低温度下即可达到所需的结合强度的制备涂层或薄膜的微波水热电沉积装置。
为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是包括水热釜体以及设置在水热釜体内的与电源相连接的电极，其特点是，水热釜体置于与继电器电连接的微波炉体内，在水热釜体内还设置有与继电器相连接的温度传感器。
本实用新型的另一特点是水热釜体的上端还设置有带有压力表的水热釜盖，与电源相连接的电极安装在水热釜盖上；水热釜体采用聚四氟乙烯制成。
本实用新型将使阴、阳极均置于反应的水热釜体内部，从而将电沉积与水热技术融为一体，将水热釜体置入微波炉体中，通过温度传感器将检测到的信号反馈给继电器以控制微波炉体，从而达到控制温度的作用，使制备的薄膜或涂层在较低温度下即可达到所需的结合强度，一般在300℃制备的薄膜或涂层其结合强度就可以达到10MPa。
附图是本实用新型的整体结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的结构原理和工作原理作进一步详细说明。
参见附图，本实用新型包括由聚四氟乙烯制成的水热釜体2，在水热釜体2的上端设置有带有压力表8的水热釜盖9，与电源7相连接的电极5安装在水热釜盖9上，在水热釜盖9上还设置有与继电器10相连接的温度传感器6，水热釜体2置于与继电器10相连接的微波炉体1内。水热釜体2采用聚四氟乙烯制成，即能保证一定的强度，又可使微波大量透过水热釜体2作用于反应体系。
本实用新型的工作过程如下首先打开水热釜盖9，将电解液11移至水热釜体2中，用试样夹4将试样3夹好后，连接在电极5上，将水热釜体2置于微波炉体1中，并随后启动继电器10，通过微波炉体1加热水热釜体2中的电解液11，当电解液11达到预定温度后，同时待压力达到预定数值且压力表8示数稳定后，打开电源7，电沉积将在微波能和水热超临界条件下进行，至预定时间后，先关闭电源7，再关闭微波炉体1和继电器10，待水热釜体1冷却至室温后，打开水热釜盖9，取出试样3即在试样3的表面形成涂层或薄膜。在整个工作过程中温度传感器6将检测到的信号反馈给继电器10，再由继电器10控制微波炉体1的工作，从面达到控制温度的目的。
权利要求1.一种制备涂层或薄膜的微波水热电沉积装置，包括水热釜体[2]以及设置在水热釜体[2]内的与电源[7]相连接的电极[5]，其特征在于水热釜体[2]置于与继电器[10]电连接的微波炉体[1]内，在水热釜体[2]内还设置有与继电器[10]相连接的温度传感器[6]。
2.根据权利要求1所述的制备涂层或薄膜的微波水热电沉积装置，其特征在于所说的水热釜体[2]的上端还设置有带有压力表[8]的水热釜盖[9]，与电源[7]相连接的电极[5]安装在水热釜盖[9]上。
3.根据权利要求1所述的制备涂层或薄膜的微波水热电沉积装置，其特征在于所说的水热釜体[2]采用聚四氟乙烯制成。
专利摘要一种制备涂层或薄膜的微波水热电沉积装置，包括水热釜体以及设置在水热釜体内的与电源相连接的电极，水热釜体置于与继电器电连接的微波炉体内，在水热釜体内还设置有与继电器相连接的温度传感器。本实用新型将使阴、阳极均置于反应的水热釜体内部，从而将电沉积与水热技术融为一体，将水热釜体置入微波炉体中，通过温度传感器将检测到的信号反馈给继电器以控制微波炉体，从而达到控制温度的作用，使制备的薄膜或涂层在较低温度下即可达到所需的结合强度。
文档编号C23C26/00GK2832831SQ20052007945
公开日2006年11月1日 申请日期2005年9月29日 优先权日2005年9月29日
发明者黄剑锋, 李贺军, 曹丽云, 邓飞, 吴建鹏, 王秀峰, 贺海燕, 马小波, 张国运, 杨长安 申请人:陕西科技大学