专利名称：坩埚传动装置的制作方法
技术领域：
本实用新型与将动力传递到真空镀膜室中的坩埚上的坩埚传动装 置有关。
技术背景通过传动装置将大气压下的动力传递到真空环境中，必须要对传动 主轴密封，即是动态转动下的密封。目前采用的密封是普通动密封，也 就是真空橡胶密封，或磁流体密封即是采用带磁性液体吸附到轴表面， 达到密封效果。动密封成本低廉，但密封真空度相对低些，磁流体密封 成本高价格昂贵，但密封真空度较高。已有的动密封、磁流体密封都分 别具有各自的结构尺寸，所以给生产、管理带来麻烦，用户想要更换密 封方式，是非常麻烦的。另外己有的坩埚水冷板与主轴都是采用焊接，拆卸、清洗柑埚时必 须拆掉电机，把主轴连同坩埚部分整体从真空室抽出或者拆掉整个传动 机构才能进行，使用非常不方便。 实用新型内容本实用新型的目的是为了克服以上不足，提供一种动密封、磁流体 密封可互换，质量稳定，以满足真空镀膜生产需求的坩埚传动装置。本 实用新型的另一个目的是为了提供-种拆卸、维修、使用方便的坩埚传 动装置。本实用新型的目的是这样来实现的本实用新型坩埚传动装置，包括电机，与电机连接的减速器，第一 端与减速器连接的主轴的第二端穿过真空室壁通过法兰盘8和连接件与 坩埚水冷板连接，主轴中有与坩埚水冷板上的水道相通的进水管道和出 水管道，位于主轴上的进出水座中有分别与主轴上的进、出水管道连通 的进水口、出水口，位于真空室壁与进出水座间有通过连接件与真空室 壁和进出水座连接的套装在主轴上的装有动密封或磁流体密封的密封 传动定位组件。上述的电机为步进电机或伺服电机，减速器壳体上装有水冷座连接 支架，水冷座连接支架上装有电机光电开关，受光电开关控制的转盘装 在主轴上随主轴转动，可准确控制坩埚传动角度。上述的密封传动定位组件中有密封轴承座，动密封或磁流体密封装 在密封轴承座中。上述的法兰盘8为哈夫状，由两半哈夫体组成，所以坩埚部分可从 真空室直接取下，传动部分也可从真空室外整体取出，更方便安装、拆 卸、清洗和维修。本实用新型工作时，材料放在坩埚穴位中，电机带动减速器将动力 传递到主轴上，坩埚转动，打开真空室，电子靶将电子束轰击坩埚穴位 中的材料，使材料达到高温、蒸发、镀到待镀膜工件上。本实用新型传动装置中动密封、磁流体密封可互换，质量稳定，可 满足真空镀膜的不同需求且拆卸、维修、使用方便。
-图1为本实用新型结构示意图。图2为动密封位置图。图3为法兰盘结构示意图。图4为图3的左视图。图5为本实用新型另一结构示意图。图6为图5的中埘埚上穴位位置图。图7为磁流体密封结构示意图。
具体实施方式
实施例l:图1 图4给出了本实施例1图。参见图1、图2，步进电机1上连 接有减速器2，主轴3第一端通过联轴器4与减速器输出轴连接。主轴 中有轴向进水管道5和轴向出水管道6。主轴的第二端穿过真空室壁7 进入真空室中并通过法兰盘8和螺钉与坩埚9底部的水冷板10连接， 主轴上的进、出水管道与水冷板上的水道连通。法兰盘8的形状如图3、 图4所示为哈夫状，是由两半哈夫体11组成。坩埚顶部有坩埚盖板12。 减速器壳体上装有减速器法兰13，水冷座连接法兰14通过连接螺栓和 螺母与减速器法兰连接而组成水冷座连接支架15。位于轴上的水冷座 16通过螺栓固定在水冷座连接法兰上。水冷座16上有分别与主轴进、出水管道连通的进水口 17，出水口 18。密封传动定位组件19中的密封 轴承座20的两端通过螺栓分别固定在水冷室和真空室壁上。在密封轴 承座内装有如图2所示的动密封21，并用调整螺母22将其压紧。水冷 座连接支架中的螺栓上装有步进电机光电开关23，受光电开关控制的转 盘24装在主轴上。 实施例2:图5 图7给出了本实施例2图。本实施例2基本与实施例1同。 不同处是在密封轴承座内装有如图7所示的磁流体密封25，包括装在主 轴上的随主轴转动的通环26，位于通环和密封轴承座间的对通环外壁有 永久性吸附作用的磁性液体27。上述实施例是对本实用新型的上述内容作进一步的说明，但不应将 此理解为本实用新型上述主题的范围仅限于上述实施例。凡基于上述内容所实现的技术均属于本实用新型的范围。
权利要求1、坩埚传动装置，其特征在于包括电机，与电机连接的减速器，第一端与减速器连接的主轴的第二端穿过真空室壁通过法兰盘(8)和连接件与坩埚水冷板连接，主轴中有与坩埚水冷板上的水道相通的进水管道和出水管道，位于主轴上的进出水座中有分别与主轴上的进、出水管道连通的进水口、出水口，位于真空室壁与进出水座间有通过连接件与真空室壁和进出水座连接的套装在主轴上的装有动密封或磁流体密封的密封传动定位组件。
2、 如权利要求1所述的坩埚传动装置，其特征在于电机为步进电 机或伺服电机，减速器壳体上装有水冷座连接支架，水冷座连接支架上 装有电机光电开关，受光电开关控制的转盘装在主轴上随主轴转动。
3、 如权利要求1或2所述的坩埚传动装置，其特征在于密封传动 定位组件中有密封轴承座，动齊封或磁流体密封装在密封轴承座中。
4、 如权利要求1或2所述的坩埚传动装置，其特征在于法兰盘(8) 为哈夫状，由两半哈夫体组成。
专利摘要本实用新型提供了一种将动力传递到真空镀膜室中的坩埚上的坩埚传动装置，包括电机，与电机连接的减速器，第一端与减速器连接的主轴的第二端穿过真空室壁通过法兰盘(8)和连接件与坩埚水冷板连接，主轴中有与坩埚水冷板上的水道相通的进水管道和出水管道，位于主轴上的进出水座中有分别与主轴上的进、出水管道连通的进水口、出水口，位于真空室壁与进出水座间有通过连接件与真空室壁和进出水座连接的套装在主轴上的装有动密封或磁流体密封的密封传动定位组件。本实用新型中动密封、磁流体密封可互换，质量稳定，以满足真空镀膜生产需求，拆卸、维修、使用方便。
文档编号C23C16/448GK201102981SQ200720080859
公开日2008年8月20日 申请日期2007年8月31日 优先权日2007年8月31日
发明者付成洪, 刘伟锋, 博 张, 薛尚清, 亮 谢 申请人:成都南光机器有限公司