专利名称：溅镀装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及溅镀技术，特别涉及一种用于工件溅镀的溅镀装置。
背景技术：
随着各种电子产品的飞速发展，消费群体对电子产品的要求越来越高，例如电子 产品外观色彩、电磁屏蔽功能、防氧化腐蚀功能等等。因此，电子产品各零组件的溅镀处理 技术显得越来越重要，镀层品质的好坏直接影响着电子产品上述各种性能的优劣。并且，随着对镀层质量的要求不断提高，对一些较为重要的零组件，需要镀上两种 或两种以上不同的镀层，以使得电子产品具有更优越的性能。目前，在需要溅镀多层镀层 时，一般为先在一个溅镀装置中镀上第一镀层，然后再拿出来放到另一个溅镀装置中镀上 第二镀层。然而，由于待镀工件在镀上第一镀层与第二镀层之间需要暴露在外界空气中，因 此很可能造成第一镀层与第二镀层之间的结合力不佳，进而影响镀层质量及其性能，并且 其溅镀效率相对较低。另外，对于待镀工件需要溅镀两种镀层的情形，目前的溅镀装置中， 一般采用两种靶材对向设置进行溅镀，即在待镀工件的相对两侧分别设置有一种靶材，当 需要镀第一镀层时使用一种靶材，而镀第二镀层时使用另一种靶材。但是，当使用其中一种 靶材时，该使用中的靶材很可能溅射到另一种靶材上，使得靶材之间的相互污染并造成靶 材中毒，从而使得溅镀过程不稳定，镀层的品质下降。因此，有必要提供一种溅镀效率较高，可有效防止靶材中毒，从而有效提高镀层品 质及性能的溅镀装置。
发明内容
下面将以具体实施例说明一种溅镀装置。一种溅镀装置，包括溅镀室、溅镀传动组件、第一靶材和第二靶材。溅镀传动组件 包括第一主动齿轮、第二主动齿轮、传动轨道、传动带、多个从动齿轮和多个料杆。第一主动 齿轮和第二主动齿轮相邻设置。传动轨道包括环绕第一主动齿轮设置的第一轨道和环绕第 二主动齿轮设置的第二轨道。传动带设置于传动轨道上且相对于传动轨道可移动。多个从 动齿轮依次设置轴固于传动带，每一从动齿轮均用于在第一主动齿轮与第二主动齿轮的驱 动下，在第一轨道传与第二轨道上传动。多个料杆分别设置于多个从动齿轮。第一靶材设 置于第一轨道的弧心并用于向待镀工件表面溅镀第一镀层。第二靶材设置于第二轨道的弧 心并用于向待镀工件表面溅镀第二镀层。相对于现有技术，本技术方案的溅镀装置的多个料杆可悬挂待镀工件随从动齿轮 自第一轨道至第二轨道移动并转动，从而设置在第一轨道弧心的第一靶材可向待镀工件表 面溅镀第一镀层，设置在第二轨道弧心的第二靶材可向待镀工件表面溅镀第一镀层，使得 待镀工件表面溅镀上不同镀层，两层镀层之间不需要重新进行抽真空处理，从而提高镀层 之结合力和溅镀效率；同时，由于第一靶材设置于第一轨道的弧心，第二靶材设置于第二 轨道的弧心，从而在溅镀时可有效避免第一靶材与第二靶材之间的相互污染而造成靶材中
4毒，使得溅镀过程更加稳定，提高镀层品质及性能。
图1是本技术方案第一实施例提供的溅镀装置的示意图。图2是图1的溅镀装置悬挂待镀工件在传送轨道的第一轨道溅镀第一镀层的示意 图。图3是图1的溅镀装置悬挂待镀工件在传送轨道的第二轨道溅镀第二镀层的示意 图。图4是本技术方案第二实施例提供的溅镀装置的示意图。元件符号说明
权利要求
1.一种溅镀装置，包括 溅镀室，其具有一个溅镀腔；溅镀传动组件，其设置在该溅镀腔内，用于装载并传送待镀工件以进行溅镀，该溅镀传 动组件包括第一主动齿轮；第二主动齿轮，该第一主动齿轮和第二主动齿轮相邻设置；传动轨道，其包括环绕第一主动齿轮设置的第一轨道、环绕第二主动齿轮设置的第二 轨道以及连接在第一轨道与第二轨道之间的第一连接轨道，该第一轨道和第二轨道均为圆 弧形，该第一连接轨道位于第一主动齿轮与第二主动齿轮之间；传动带，该传动带设置于该传动轨道上且该传动带相对于该传动轨道可移动； 多个从动齿轮，该多个从动齿轮依次枢接于该传动带，每一从动齿轮均用于在第一主 动齿轮的驱动下实现自转并随该传动带自该第一轨道传动至该第一连接轨道，自第一轨道 传送至第一连接轨道，并在第一连接轨道处与该第一主动齿轮和该第二主动齿轮均啮合， 又在第二主动齿轮的驱动下随该传动带自该第一连接轨道传送至该第二轨道，每一从动齿 轮在第一轨道时与第一主动齿轮啮合，在第二轨道时与第二主动齿轮啮合；及 多个用于悬挂待镀工件的料杆，该多个料杆分别固定设置于多个从动齿轮； 第一靶材，用于向待镀工件表面溅镀第一镀层，该第一靶材设置于第一轨道的弧心；以及第二靶材，用于向待镀工件表面溅镀第二镀层，该第二靶材设置于第二轨道的弧心。
2.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于，该第一轨道与第二轨道的弧心角均大 于90度。
3.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于，该第一轨道的弧心与第一主动齿轮的 中心重合，该第二轨道的弧心与第二主动齿轮的中心重合。
4.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于，该传动带的总长度大于该第一轨道与 第二轨道中曲率半径最大的圆弧形轨道对应的一个圆周的长度，且小于该第一轨道与第二 轨道中曲率半径最小的圆弧形轨道对应的3/2个圆周的长度。
5.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于，该第一轨道与第二轨道的曲率半径相等。
6.如权利要求1该的溅镀装置，其特征在于，该传动带上开设有多个固定孔，该多个从 动齿轮分别可转动地设置于该多个固定孔中。
7.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于，该多个从动齿轮中的每一从动齿轮上 开设有一个固持孔，该多个料杆中的每一料杆分别固设于每一从动齿轮的固持孔。
8.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于，该第一靶材具有第一靶面，该第二靶材 具有第二靶面，该第二靶面3背向该第一靶面设置。
9.如权利要求1该的溅镀装置，其特征在于，该溅镀装置还包括第三主动齿轮以及第 三靶材，该传动轨道还包括环绕第三主动齿轮设置的第三轨道以及连接第二轨道与第三轨 道的第二连接轨道，该第三主动齿轮与第二主动齿轮相邻设置，该第二连接轨道位于第二 主动齿轮与第三主动齿轮之间，该第三靶材设置于第三轨道的弧心并用于向待镀工件表面 溅镀第三镀层。
10.如权利要求9所述的溅镀装置，其特征在于，该第三主动齿轮的中心与该第一主动 齿轮的中心、第二主动齿轮的中心共线。
全文摘要
一种溅镀装置，包括溅镀室、溅镀传动组件、第一靶材和第二靶材。溅镀传动组件包括第一主动齿轮、第二主动齿轮、传动轨道、传动带、多个从动齿轮和多个料杆。第一主动齿轮和第二主动齿轮相邻设置。传动轨道包括环绕第一主动齿轮设置的第一轨道和环绕第二主动齿轮设置的第二轨道。传动带设置于传动轨道上且相对于传动轨道可移动。多个从动齿轮依次设置轴固于传动带，每一从动齿轮均用于在第一主动齿轮与第二主动齿轮的驱动下，在第一轨道传与第二轨道上传动。多个料杆分别设置于多个从动齿轮。第一靶材设置于第一轨道的弧心并用于向待镀工件表面溅镀第一镀层。第二靶材设置于第二轨道的弧心并用于向待镀工件表面溅镀第二镀层。
文档编号C23C14/34GK102086507SQ20091031078
公开日2011年6月8日 申请日期2009年12月3日 优先权日2009年12月3日
发明者王仲培 申请人:鸿富锦精密工业(深圳)有限公司, 鸿海精密工业股份有限公司