专利名称：蒸发单元和真空涂布装置的制作方法
技术领域：
本文所述的实施例涉及用于涂布卷筒纸料(web)的真空涂布装置。更特定而言，描述具有至少一个蒸发源和至少两个涂布滚筒的真空涂布装置的实施例。进一步实施例涉及具有相对于彼此倾斜的至少两个涂布滚筒和至少两个蒸发源的真空涂布装置。进一步实施例涉及具有相对于彼此倾斜的蒸发源的蒸发单元。
背景技术：
涂布装置用于通过材料覆盖来涂布卷筒纸料(诸如，箔片或薄膜)。涂布装置包括导向涂布滚筒的蒸发源，该涂布滚筒传送卷筒纸料穿过形成在蒸发源和涂布滚筒之间的沉积区域。从蒸发源蒸发的材料形成具有某一开度角的“蒸发束”，使得蒸发的材料传播。为了限制蒸发的材料沉积 到卷筒纸料上并且避免沉积到涂布装置的其他区域上，提供覆盖待保护区域的遮蔽构件。需要定期清洗这些遮蔽构件。此外，大量的蒸发材料沉积在这些遮蔽构件上，从而浪费了这些蒸发材料，降低了产出率。因此,需要改良真空涂布装置。
发明内容
鉴于以上所述，提供一种如权利要求1所述的真空涂布装置。此外，提供一种如权利要求9所述的真空涂布装置。此外，提供一种如权利要求14所述的真空涂布装置。此外，提供一种如权利要求17所述的蒸发单元。此外，提供一种如权利要求20所述的用于涂布卷筒纸料的方法。根据一个实施例，提供一种用于涂布卷筒纸料的真空涂布装置。所述装置包括真空腔室、第一可旋转涂布滚筒、以及与第一滚筒平行设置的第二可旋转涂布滚筒，其中在第一涂布滚筒与第二涂布滚筒之间形成用于传送至少一个卷筒纸料的缝隙。第一蒸发器包括用于产生第一蒸发束的至少一个蒸发源，其中紧靠第一涂布滚筒布置第一蒸发器。第二蒸发器包括用于产生第二蒸发束的至少一个蒸发源，其中紧靠第二涂布滚筒布置第二蒸发器。第一蒸发器与第二蒸发器相对于彼此倾斜。根据一个实施例，提供一种蒸发单元。蒸发单元包括具有用于产生第一蒸发束的至少一个蒸发源的第一蒸发器，以及具有用于产生第二蒸发束的至少一个蒸发源的第二蒸发器。第一蒸发器与第二蒸发器相对于彼此倾斜。根据一个实施例，提供一种用于涂布卷筒纸料的方法。所述方法包括:提供第一可旋转涂布滚筒以及与第一滚筒平行设置的第二可旋转涂布滚筒，其中在第一涂布滚筒与第二涂布滚筒之间形成有缝隙；通过从第一蒸发器自第一蒸发方向蒸发材料并且从第二蒸发器自第二蒸发方向蒸发材料，来形成紧靠第一涂布滚筒和第二涂布滚筒的表面的共同蒸发区域；由第一涂布滚筒和/或第二涂布滚筒传送至少一个卷筒纸料穿过共同蒸发区域。
为了可以详细地理解本发明的上述特征的方式，可参照实施例对简要概述于上的本发明进行更加详细的描述，这些实施例中的一些实施例图示于附图中。然而应注意的是，附图仅图示本发明的典型实施例并因此不被视为限制本发明的范围，因为本发明可包括其他等效实施例。图1图示具有两个蒸发源和两个彼此平行布置的涂布滚筒的真空涂布装置的实施例。图2A图示根据一个实施例的具有两个蒸发源的真空涂布装置的放大剖面图，该放大剖面图用于图示蒸发源相对于涂布滚筒的布置。图2B图示根据一个实施例的具有两个蒸发源的真空涂布装置的放大剖面图，该放大剖面图用于图示蒸发源相对于涂布滚筒的布置。图2C图示根据一个实施例的具有两个蒸发源的真空涂布装置的放大剖面图，该放大剖面图用于图示蒸发源相对于涂布滚筒的布置。图3图示具有一个蒸发源和两个彼此平行布置的涂布滚筒的真空涂布装置的实施例。图4图示具有两个蒸发源和一个涂布滚筒的真空涂布装置的实施例。图5图示具有一个蒸发源和两个彼此平行布置的涂布滚筒的真空涂布装置的实施例。图6图示具有两个蒸发源和两个彼此平行布置的涂布滚筒的真空涂布装置的实施例。
图7图示根据一个或多个实施例的真空涂布装置。图8图示根据一个或多个实施例的蒸发器单元。图9A和图9B图示蒸发源的蒸发束。图10图示根据一个或多个实施例的彼此平行布置的两个涂布滚筒的平面视图。为了促进理解，在可能的地方使用相同或相近的附图标记来指示诸图所共有的相同元件。在一个实施例中公开的元件被视为可有利地用于其他实施例而无需特定参照。
具体实施例方式本文所述的实施例可用于各种涂布工艺，诸如，卷筒纸料的涂布，所述卷筒纸料由布置在真空腔室内的至少一个涂布滚筒输送。在以下实施方式中，参照附图，附图形成详细描述的一部分，并且在附图中以图解方式图示可实践本发明的特定实施例。关于这一点，参照所描述的一个或多个附图的取向使用方向性词汇(诸如，“顶”、“底”、“前”、“后”、“前沿”、“末尾”等)。因为实施例的部件可位于多个不同的取向中，所以出于说明而决非限制的目的使用方向性词汇。应了解，可使用其他实施例，并且可作出结构性或逻辑性改变。因此，以下详细描述不应被视为具有限制意义。使用特定语言描述实施例，但不应视为是对随附权利要求书的范围的限制。应了解，除非另有明确说明，否则本文描述的各个示范性实施例的特征可彼此结合。举例来说，作为一个实施例的一部分图示或描述的特征可结合其他实施例的特征使用，以产生进一步的实施例。意图是使本描述包括这些修改和变化。对于本说明书的所述目的，术语“横向”旨在描述与涂布滚筒的取向垂直并且与连接涂布滚筒的旋转轴的连接线实质上平行的方向。术语“在涂布滚筒后方”旨在描述相对于蒸发源布置在涂布滚筒后方的区域。因此，术语“在涂布滚筒前方”旨在描述在一个或多个涂布滚筒与蒸发源之间的区域。图1图示根据可结合本文描述的其他实施例的一个实施例的真空涂布装置100。真空涂布装置100包括具有旋转轴I Ia的第一涂布滚筒11，第一涂布滚筒11可绕所述旋转轴Ila旋转。图1图示作为第一涂布滚筒11的几何中心的轴11a。真空涂布装置100进一步包括具有旋转轴12a的第二涂布滚筒12，第二涂布滚筒12可绕所述旋转轴12a旋转。图1图示作为第二涂布滚筒12的几何中心的轴12a。第一涂布滚筒11和第二涂布滚筒12相对于彼此设置，使得所述第一涂布滚筒11的轴Ila和第二涂布滚筒12的轴12a彼此平行布置。缝隙17形成在第一涂布滚筒11的外圆周表面25与第二涂布滚筒12的外圆周表面26之间。如下文进一步描述，第一涂布滚筒11和第二涂布滚筒12的平行布置增加有效表面，卷筒纸料15可在接触涂布滚筒的同时被涂布在所述有效表面上。与使用单个大涂布滚筒的真空涂布装置相比，这允许例如使用较小的涂布滚筒。在使用较小涂布滚筒时，可缩小真空涂布装置的尺寸。此外，可减小旋转涂布滚筒所需的驱动。在可结合本文描述的一个或多个实施例的实施例中，在第一旋转涂布滚筒11的外表面25和第二旋转涂布滚筒12的外表面26的部分支撑和接触卷筒纸料15时涂布所述卷筒纸料15。如下文进一步描述，缝隙17例如可为相对较小的，以维持上腔室与下腔室之间的压力差。缝隙17可在约Imm至约60mm的范围内。此外，涂布滚筒11和涂布滚筒12的半径R与缝隙17的宽度D之间的比值R/D可在约500至约I的范围内。例如，比值R/D可大于或等于15。根据可结合本文描述的一个或多个实施例的一个实施例，比值R/D可大于或等于100。
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在图1所图示的实施例中，第一涂布滚筒11和第二涂布滚筒12具有相同的半径R0在进一步实施例中，第一涂布滚筒11具有的半径可大于第二涂布滚筒12的半径。或者，第一涂布滚筒11具有的半径可小于第二涂布滚筒12的半径。真空涂布装置100进一步包括具有至少一个蒸发源21a的至少第一蒸发器21。通常，真空涂布装置100包括多个第一蒸发器21,每一个第一蒸发器21具有一个蒸发源21a。或者，一个第一蒸发器21包括多个蒸发源21a。不管是否存在各自的第一蒸发器21或者是否仅存在具有多个蒸发源21a的一个第一蒸发器21，蒸发源21a可沿与第一涂布滚筒11的旋转轴Ila和第二涂布滚筒12的旋转轴12a平行的线布置。随后将蒸发源21a布置在与轴Ila平行的第一排中。因为图1图示沿轴11a、轴12a的投影，所以仅图示一个蒸发源21a。紧靠第一涂布滚筒11布置第一蒸发器21。以比靠近第二涂布滚筒12更靠近第一涂布滚筒11的方式布置第一蒸发器21 (尤其是第一蒸发器21的蒸发源21a)。可紧靠第二涂布滚筒12布置具有蒸发源22a的第二蒸发器22。以比靠近第一涂布滚筒11更靠近第二涂布滚筒12的方式布置第二蒸发器22 (尤其是第二蒸发器22的蒸发源22a)。第二蒸发器22可具有与第一蒸发器21相同的布置。例如，第二蒸发器22可包括布置在与轴12a平行的第二排中的多个蒸发源22a。如下所述，第一排蒸发源21a和第二排蒸发源22a相对于彼此横向位移。第一蒸发器21和第二蒸发器22被配置为产生各自的蒸发束31b和蒸发束32b，所述蒸发束31b和蒸发束32b也可称为蒸发材料的蒸发瓣(evaporation lobe)或发射瓣(emission lobe)。蒸发束31b和蒸发束32b的每一个具有通常垂直于各自的蒸发源21a和蒸发源22a的表面的主要蒸发方向31a和主要蒸发方向32a，材料自所述蒸发源21a和蒸发源22a蒸发。技术人员将明白，每个蒸发源21a、蒸发源22a具有给定的空间扩展。因此蒸发源被定义为一个区域，材料自该区域蒸发。如上所述，第一蒸发器21和第二蒸发器22的每一个可包括至少一个蒸发源21a和蒸发源22a。蒸发源彼此分离并且彼此间隔。例如，蒸发器可包括经调适以熔化金属的陶瓷坩埚或舟皿(boat)。坩埚可由导电陶瓷制成，并且通过使电流直接通过坩埚来加热所述坩埚。感应加热为另一选择。电子束加热为又一选择。因此蒸发源为热源，在所述蒸发源中材料由于受热而蒸发。熔融金属的区域形成实际上的蒸发源。图1用虚线指示蒸发束31b、蒸发束32b。熔融金属通常覆盖或润湿坩埚的给定区域。熔融金属润湿的坩埚表面的取向决定与所述取向垂直的主要蒸发方向。因此，通过以给定取向布置坩埚，可改变蒸发的主要方向。根据可结合本文描述的一个或多个实施例的一个实施例，当在垂直于第一轴Ila和第二轴12a的投影中观察时，可以交错的方式布置第一蒸发器21和第二蒸发器22。图8和图10通过图示分别具有一个蒸发源21a的多个第一蒸发器21和分别具有多个蒸发源的多个第二蒸发器22来图示此布置。在可结合本文描述的一个或多个实施例的进一步实施例中，第一蒸发器21和第二蒸发器22可组合成具有两排蒸发源的单个蒸发器单元，所述两排彼此间隔开。技术人员将明白，蒸发材料在蒸发束31b和蒸发束32b内的分布为不均匀的，并且从蒸发束的中心朝由虚线31b和虚线32b图示的所述蒸发束的边界减少。此外，蒸发束31b和蒸发束32b 将具有给定的开度角(opening angle)。由于蒸发材料的空间分布,蒸发束通常不具有明确的边界。出于仅说明而非旨在以任何方式限制的目的，Al蒸发源视为与表面间隔约180_。蒸发源具有约30_的横向尺寸。蒸发源在给定温度下产生蒸发束，所述蒸发束产生表面上具有约SO-1OOmm的横向扩展的沉积Al层区域，其中沉积层边缘的层厚度仅为沉积层区域的中心层厚度的约10%。如图1所示，第一蒸发器21的蒸发束31b相对于第一滚筒11的表面为倾斜的。当在沿轴Ila的投影中观察时，蒸发束31b的主要蒸发方向31a相对于第一蒸发器21的蒸发源21a与所述第一涂布滚筒11的轴Ila之间的假想线(imaginary line)为倾斜的。此夕卜，第二蒸发器22的蒸发束32b相对于第二滚筒12的表面为倾斜的。当在沿轴12a的投影中观察时，蒸发束32b的主要蒸发方向32a相对于第二蒸发器22的蒸发源22a与所述第二涂布滚筒12的轴12a之间的假想线为倾斜的。蒸发束31b的主要蒸发方向31a和蒸发束32b的主要蒸发方向32a因此不到达各自的最近涂布滚筒11的外表面25和最近涂布滚筒12的外表面26，所述主要蒸发方向31a和主要蒸发方向32a为垂直的但具有特定入射角。此外，蒸发束31b和蒸发束32b可相对于彼此为倾斜的。如上所述，可由蒸发源21a和蒸发源22a的取向界定蒸发束31b和蒸发束32b的取向。为了使蒸发束31b和蒸发束32b相对于彼此倾斜，使蒸发源21a和蒸发源22a相对于彼此倾斜。图1图示了蒸发源21a和蒸发源22a相对于彼此倾斜，使得当在沿轴Ila和轴12a的投影中观察时，所述蒸发束31b和蒸发束32b朝向彼此倾斜并重叠。因此形成共同沉积区域或共同蒸发阴影区(cloud)。如上所述，第一蒸发源21a和第二蒸发源22a可在与轴Ila和轴12a平行的方向上位移。例如，可以交错方式布置多个蒸发源21a和蒸发源22a。因此，术语“朝彼此倾斜”涉及在沿轴Ila和轴12a的投影中观察时的取向。第一涂布滚筒11和第二涂布滚筒12传送待涂布的卷筒纸料15穿过沿所述第一涂布滚筒11的圆周表面25和所述第二涂布滚筒12的圆周表面26的沉积区域。如图1所示，绕第二涂布滚筒12的下半部传送卷筒纸料15，使卷筒纸料15经过缝隙17，由导辊18引导卷筒纸料15再次穿过缝隙17，随后沿第一涂布滚筒11的下半部传送卷筒纸料15。第一涂布滚筒11和第二涂布滚筒12共同形成其中可涂布卷筒纸料15的大涂布区域。由于使用导辊18，所以“双重”涂布卷筒纸料15，其中，在由第二涂布滚筒12传送卷筒纸料15时发生第一次涂布，在由第一涂布滚筒11传送卷筒纸料15时发生第二次涂布。第一涂布滚筒11和第二涂布滚筒12具有相同的旋转方向。可冷却第一涂布滚筒11和第二涂布滚筒12以及导辊18。也有可能仅冷却导辊
18。或者，可仅冷却第一涂布滚筒11和第二涂布滚筒12。蒸发器21和蒸发器22的倾斜布置避免或者至少显著地减少第一涂布滚筒11和第二涂布滚筒12横向向外的外部区域中的材料沉积。这些外部区域布置在与面向缝隙17的侧面相对的第一涂布滚筒11和第二涂布滚筒12的侧面上。因此，倾斜布置增大沉积在卷筒纸料15上的材料 与沉积在涂布装置(诸如，遮蔽构件)内其他表面上的材料的比值。因此，增加产出率并降低生产成本的涂布工艺为更高效的。因为可在给定时间内沉积更多材料，所以此涂布工艺还允许提高卷筒纸料15的输送速度。例如，使用第一蒸发器21和第二蒸发器22的倾斜布置可获得90%或甚至更高的涂布效率。这显著地改善具有不超过60%的涂布效率的普遍使用的蒸发器单元，所述普遍使用的蒸发器单元具有引导成相同方向的多个蒸发源。出于种种原因，至遮蔽构件上的减少的材料沉积为有用的。遮蔽构件通常用于限制期望区域内的沉积并且保护其他区域免受沉积。例如，可提供横向遮蔽构件以“定形”沉积区域。如本文所述的倾斜布置可用于定形或集中沉积区域，使得在一些应用中不需要额外的遮蔽构件来限制沉积区域。然而，可视情况使用遮蔽构件，例如在应避免蒸发束31b和蒸发束32b的“外部”区域的材料沉积时。尽管蒸发束31b和蒸发束32b图示为仅覆盖某一区域，但是技术人员将明白，材料还蒸发至蒸发束以外的区域，尽管仅是小程度的蒸发。然而，在变为沉积时，此少量的材料沉积可使涂布层劣化。例如，卷筒纸料经常涂有铝以获得反射性表面。来自技术上有用的蒸发束的外部的沉积材料可降低反射率。为了避免此情况，可提供遮蔽构件。此外，减少遮蔽构件上的蒸发材料沉积便于真空涂布装置的清洗，原因是不必要进行频繁清洗。例如，第一蒸发器21的蒸发源21a和第二蒸发器22的蒸发源22a可布置在垂直线65内部，所述垂直线65垂直于假想连接线13并且通过第一涂布滚筒11和第二涂布滚筒12的各自的轴Ila和轴12a。假想线13连接第一涂布滚筒11的旋转轴Ila与第二涂布滚筒12的旋转轴12a。换句话说，蒸发源21a和蒸发源22a相对于彼此间隔一距离L，所述距离L可小于2*R+D，由于缝隙17的宽度D通常远小于半径R，所述距离L通常小于2*R。在可结合本文描述的一个或多个实施例的一个实施例中，L小于或等于半径R。距离L可例如在150mm与200mm之间。在以彼此之间相当小的距离(例如，以小于2*R的距离)放置蒸发源21a和蒸发源22a时，向内移动蒸发束31b和蒸发束32b的各自“外”边界，使得当在沿轴Ila和轴12a的投影中观察时，所述“外”边界更加远离各自的涂布滚筒11和涂布滚筒12的横向外边缘。这使沉积集中朝向远离横向外部区域的涂布滚筒11与涂布滚筒12之间的中心，因此降低材料沉积在涂布滚筒11和涂布滚筒12的横向外部的可能性。在如上所述使蒸发器21和蒸发器22朝向彼此倾斜时，此作用甚至更加显著。蒸发器21和蒸发器22的各自外边缘甚至可朝向第一涂布滚筒11和第二涂布滚筒12的共同中心偏斜。可以与垂直于假想连接线13而构造的垂直线14间隔开的关系横向布置第一蒸发器21和第二蒸发器22。垂直线14贯穿缝隙17。可根据特定需要选择距离dl和距离d2的各自横向位移。距离dl和距离d2可为相同的。或者，距离dl和距离d2可彼此不同。例如，在第一涂布滚筒11和第二涂布滚筒12具有相同半径R时，dl通常基本等于d2。当使用具有不同半径的涂布滚筒时，dl可不同于d2。卷筒纸料15可为任何适合的带状柔性材料。典型实例为箔片。涂层箔片可用作食品包装材料。蒸发材料可为可被适当蒸发的任何材料(诸如，金属或电介质材料)。实例为铝。另一实例为铜。可以在加热蒸发器中熔融的金属线的形式输送材料。根据可结合本文描述的一个或多个实施例的实施例，布置蒸发器21和蒸发器22,使得没有来自各自的蒸发源21a和蒸发源22a的蒸发材料沿直线通过缝隙17。在图示图1的放大细节的图2A中图示此情况。第一蒸发器21的蒸发源21a和第二蒸发器22的蒸发源22a以相对于彼此以及相对于贯穿缝隙17的线14倾斜的方式导向涂布滚筒11和涂布滚筒12。术语“导向”旨在描述各自的蒸发源的主要蒸发方向指向指示的方向。蒸发源21a和蒸发源22a布置在可由线61和线62构造的区域63的外部，所述线61和线62通过缝隙17并且成为第一涂布滚筒11和第二涂布滚筒12的公切线。每条线61和线62形成第一涂布滚筒11和第二涂布滚筒12的切线。这些线61和线62限制以线14为中心的区域63。以灰色图示区域63。在区域63外部蒸发的材料不能直接沿直线通过缝隙17。第一涂布滚筒11和第二涂布滚筒12形成缝隙17的遮蔽，以防止蒸发材料通过缝隙17。因此，沉积区域基本上局限于位于缝隙17 “前方”的区域。在如上所述布置蒸发源21a和蒸发源22a时，无论是在缝隙17前方还是在缝隙17后方都不需要遮蔽构件。此外，这提高产出率，因为没有沉积在遮蔽构件上、需定期清除的材料。如图2A所示，蒸发源21a和蒸发源22a经布置，使得主要蒸发方向31a和主要蒸发方向32a的几何扩展在布置于缝隙17后方的点P (本文未示出)处相交。如此，则蒸发材料在沉积区域内更加均匀地分布，而不是集中在单个区域中。另一方面，因为蒸发束31b和蒸发束32b朝向彼此倾斜，所以提高蒸发区域内蒸发材料的浓度，这允许以更大距离设置蒸发源21a和蒸发 源22a，例如以减小卷筒纸料15的热应力。此外，可提高卷筒纸料15的输送速度。图2B图示可结合本文描述的一个或多个实施例的另一实施例。第一蒸发器21和第二蒸发器22的布置类似于图2A图示的布置，不同之处在于第一蒸发器21和第二蒸发器22朝向彼此更加倾斜，使得主要蒸发方向31a和主要蒸发方向32a的几何相交点P布置在缝隙17前方。这更进一步地增加蒸发材料的浓度，还允许增大蒸发源21和蒸发源22a与第一涂布滚筒11和第二涂布滚筒12的表面之间的距离。在此实施例中，当在垂直于轴Ila和轴12a的投影中观察时，在到达涂布滚筒11的表面25和涂布滚筒12的表面26之前，蒸发束31b和蒸发束32b彼此“交叉”。尤其是，紧靠第一涂布滚筒11布置的第一蒸发器21导向第二涂布滚筒12，而紧靠第二涂布滚筒12布置的第二蒸发器22导向第一涂布滚筒11，使得出现“交叉沉积”。来自第一蒸发源21a的蒸发材料“通过”第一涂布滚筒11的外表面25。还出现自第一蒸发源21a在第一涂布滚筒11上的沉积。以相对于第一涂布滚筒11的表面25的法线的倾斜角沉积材料。以类似的方式，出现自第二蒸发源22a在第二涂布滚筒12上的沉积。因此，当在第一涂布滚筒11的表面25上时，由第一蒸发源21的蒸发源21a和第二蒸发源22的蒸发源22a涂 布卷筒纸料15。类似地，当在第二涂布滚筒12的表面26上时，由第一蒸发源21的蒸发源21a和第二蒸发源22的蒸发源22a涂布卷筒纸料15。可由相对于滚筒表面25和滚筒表面26的法线的倾斜角以及至涂布滚筒11和涂布滚筒12的距离来调整相对于一个蒸发源至第一涂布滚筒11和第二涂布滚筒12上的沉积的比值。根据可结合本文描述的一个或多个实施例的一个实施例，自第一蒸发器21至第二涂布滚筒12上的沉积可以大于出现自第一蒸发器21至第一涂布滚筒11上的沉积所处的角度的角度出现。相对于涂布滚筒的表面界定角度，主要蒸发方向以所述角度到达各自的表面。因此，可以大于出现自第二蒸发器22到第二涂布滚筒12上的沉积所处的角度的角度出现自第二蒸发器22到第一涂布滚筒11上的沉积。然而，也有可能将第一蒸发器21和第二蒸发器22布置在区域63内。尽管在蒸发源21a、蒸发源22a与缝隙17之间形成“笔直”路径，但是可通过使蒸发源21a和蒸发源22a朝向彼此倾斜而显著地减少穿过缝隙17的沉积，使得各自的蒸发源21a的主要蒸发方向31a和蒸发源22a的主要蒸发方向32a指向各自的相反涂布滚筒。如果需要，则可提供遮蔽58来覆盖缝隙17。如图2B和图2C所示，紧靠相邻涂布滚筒布置的蒸发源导向以与所述蒸发源的距离大于与相邻涂布滚筒的距离布置的另一涂布滚筒。在图2A中，蒸发源导向所述蒸发源的相邻涂布滚筒，并且部分地朝向远离蒸发源布置的其他涂布滚筒倾斜。可根据特定需要选择蒸发源21a与蒸发源22a之间的倾斜角(由主要蒸发方向31a与主要蒸发方向32a之间的角度界定)，并且所述倾斜角可在例如约60°与约180°之间。根据可结合本文描述的一个或多个实施例的一个实施例，仅如图3所示，真空涂布装置200可包括第一蒸发器21。结合图1以及图2A至图2C的任一个所描述，可类似地布置第一蒸发器21。如结合图2A至图2C的任一个所描述，第一蒸发器21可具有相对于第一涂布滚筒11和第二涂布滚筒12的位置和方位。图4图示可结合本文描述的一个或多个实施例的进一步实施例。真空涂布装置300仅包括一个涂布滚筒11。可如上所述布置第一蒸发器21和第二蒸发器22。第一蒸发器21的主要蒸发方向31a和第二蒸发器22的主要蒸发方向32a的几何扩展在分别到达涂布滚筒11的表面25和涂布滚筒11传送的卷筒纸料15之前，在点P处相交。随后点P与涂布滚筒11的外表面25间隔一距离B。或者，点P可接近涂布滚筒11的外表面25或在涂布滚筒11的外表面25上。在进一步的替代中，点P可位于涂布滚筒11的外表面25与涂布滚筒11的旋转轴Ila之间。在点P与涂布滚筒11的外表面间隔时，B可在Omm与IOOmm之间。或者，当点P在涂布滚筒11 “内”时，B可在约O (在表面处)至约-R (在涂布滚筒的中心处)的范围内，其中R为涂布滚筒11的半径。如上所述，使蒸发源21a和蒸发源22a朝向彼此倾斜产生更加集中的沉积区域，所述沉积区域与使用单个源或使用指向相同方向的两个蒸发源(即，所述两个蒸发源彼此平行)相比具有更加均匀的蒸发材料分布。此外，蒸发束以一倾斜角而非垂直于表面的方式到达涂布滚筒11的圆周表面25，因此到达卷筒纸料15的表面。这还改善了沉积工艺。图5图示真空涂布装置400的进一步实施例，所述进一步实施例可结合本文描述的一个或多个实施例。真空涂布装置400包括以大于图1的缝隙17的缝隙17’彼此平行布置的两个涂布滚筒11、涂布滚筒12。相对于通过第一涂布滚筒11与第二涂布滚筒12之间的中间部分的垂直线14横向设置导辊18。导辊18的横向位移保证通过缝隙17’的蒸发材料沉积在卷筒纸料15上。图6图示真空涂布装置500的进一步实施例，所述进一步实施例可结合本文描述的一个或多个实施例。真空涂布装置500包括彼此平行布置的两个涂布滚筒11和涂布滚筒12，其中在所述涂布滚筒11和所述涂布滚筒12之间形成有一缝隙17。与图1相比，同时涂布两个卷筒纸料，其中由第一涂布滚筒11输送卷筒纸料15’，而由第二涂布滚筒12输送卷筒纸料15’’。涂布滚筒11和涂布滚筒12可具有相同的旋转方向。或者，涂布滚筒11和涂布滚筒12可具有相反的旋转方向。图7图示真空涂布装置6`00的进一步实施例，所述进一步实施例可结合本文描述的一个或多个实施例。真空涂布装置600包括彼此平行布置的两个涂布滚筒11和涂布滚筒12，其中在两个涂布滚筒11与涂布滚筒12之间形成有缝隙17。真空涂布装置600包括具有上腔室51和下腔室52的壳体50。在上腔室51中布置有展开滚筒41和卷绕滚筒42。在上腔室51中还布置有导辊18。第一涂布滚筒11和第二涂布滚筒12部分地布置在上腔室51中，而所述第一涂布滚筒11和所述第二涂布滚筒12的下部(例如，下半部)突出到形成沉积腔室的下腔室52中，蒸发源21和蒸发源22布置在所述下腔室52中。可以横向蒸发源21和蒸发源22的方式布置遮蔽构件57，以避免可能有蒸发材料的痕迹沉积在传送的卷筒纸料15上。可通过阀53排空第一上腔室51，而可通过阀54排空下腔室52。通常，在上腔室51与下腔室52之间存在压力差。为了维持压力差，壁部分55伸长到接近涂布滚筒的外表面，仅留下小间隙。也可形成相当小的缝隙17，以维持上腔室51与下腔室52之间的真空压力差。图8图示蒸发器单元700的实施例，所述实施例可结合本文描述的一个或多个实施例。蒸发单元700包括两个蒸发排701、701。每一排701、702包括在每一排701和702内沿线705两两彼此横向间隔一基本恒定距离的多个蒸发器721、722，以与卷筒纸料15的移动方向垂直的方式布置所述线705。此处不图示卷筒纸料15。以幻线图示第一涂布滚筒711和第二涂布滚筒712。蒸发器单元700可包括以两排701和702布置的例如25至30个蒸发器721和蒸发器722。排701和排702沿线705相对于彼此位移，以获得各个蒸发器721和蒸发器722的交错布置。此外，当沿与涂布滚筒的旋转轴平行的线705观察时，各自的排701和排702的蒸发器721和蒸发器722可彼此部分地重叠。如图8所示，如在上文进一步描述，排701的蒸发器721和排702的蒸发器721相对于彼此倾斜，以形成共同蒸发区域。此处由加热的坩埚形成蒸发器721和蒸发器722，以熔融以金属线770形式输送的金属。每个坩埚具有细长形状，以形成各自的蒸发束732。图9A和图9B图示用于图8的各自的蒸发器721和蒸发器722的蒸发束732。形成蒸发器721和蒸发器722的坩埚相对于彼此倾斜。为每个坩埚输送金属线770，以熔融金属。可调整金属线770的输送速率，使得熔融速率类似于蒸发速率。可减少熔融金属的富裕量，以避免熔融的金属流出倾斜的坩埚。例如，可调整熔融金属的输送速率，使得液态金属薄膜仅润湿坩埚的表面。每一坩埚721和722可为例如30mm宽并且180mm长。图10图示蒸发器单元800的实施例，所述实施例可结合本文描述的一个或多个实施例。蒸发单元800包括第一排801的蒸发器821和第二排802的蒸发器822，每一排分别包括各自的蒸发源821a和蒸发源822a。不同于图8的蒸发单元700，在与涂布滚筒11的轴IIa和涂布滚筒12的12a平行的投影中，各自的排801的蒸发器821和排802的蒸发器822不彼此重叠。 图10进一步图示覆盖涂布滚筒11和涂布滚筒12的各自端的可移动遮蔽构件56。在使用具有不同尺寸的带状材料时，遮蔽构件56用于限制沉积并且调整沉积区域。根据可结合本文描述的一个或多个实施例的一个实施例，提供用于涂布卷筒纸料的真空涂布装置。所述装置包括真空腔室、第一可旋转涂布滚筒、以及与第一滚筒平行设置的第二可旋转涂布滚筒，其中在第一涂布滚筒与第二涂布滚筒之间形成用于传送至少一个卷筒纸料的缝隙。第一蒸发器包括经调适以产生第一蒸发束的至少一个蒸发源，其中紧靠第一涂布滚筒布置第一蒸发器。第二蒸发器包括经调适以产生第二蒸发束的至少一个蒸发源，其中紧靠第二涂布滚筒布置第二蒸发器。第一蒸发器和第二蒸发器经布置使得所述第一蒸发器和所述第二蒸发器的蒸发束相对于彼此倾斜。根据可结合本文描述的一个或多个实施例的一个实施例，提供用于涂布卷筒纸料的真空涂布装置。所述装置包括真空腔室、第一可旋转涂布滚筒、以及与第一滚筒平行设置的第二可旋转涂布滚筒，其中在第一涂布滚筒与第二涂布滚筒之间形成用于传送至少一个卷筒纸料的缝隙。第一蒸发器包括紧靠第一涂布滚筒布置的至少一个蒸发源。第二蒸发器包括紧靠第二涂布滚筒布置的至少一个蒸发源。第一蒸发器与第二蒸发器相对于彼此倾斜。根据可结合本文描述的一个或多个实施例的一个实施例，第一蒸发器和第二蒸发器的蒸发束的每一个包括主要蒸发方向，其中各自的主要蒸发方向的几何扩展在布置在缝隙前方的点P处相交。根据可结合本文描述的一个或多个实施例的一个实施例，第一蒸发器和第二蒸发器的蒸发束的每一个包括主要蒸发方向，其中各自的主要蒸发方向的几何扩展在布置在缝隙后方的点P处相交。根据可结合本文描述的一个或多个实施例的一个实施例，第一蒸发器和第二蒸发器的蒸发束的每一个包括主要蒸发方向，其中各自的主要蒸发方向的几何扩展在布置在缝隙内的点P处相交。根据可结合本文描述的一个或多个实施例的一个实施例，第一涂布滚筒和第二涂布滚筒被配置为传送卷筒纸料穿过缝隙，其中第一蒸发器和第二蒸发器相对于第一涂布滚筒和第二涂布滚筒布置，使得当从各自的蒸发器的蒸发源观察时，缝隙被第一涂布滚筒和第二涂布滚筒的对应的一个隐藏在视野之外。根据可结合本文描述的一个或多个实施例的一个实施例，当沿连接第一涂布滚筒的旋转轴与第二涂布滚筒的旋转轴的假想连接线测量时，第一涂布滚筒和第二涂布滚筒的每一个具有半径R，并且第一涂布滚筒与第二涂布滚筒之间的缝隙具有宽度D，其中比值R/D大于或等于15,尤其是大于100。根据可结合本文描述的一个或多个实施例的一个实施例，真空涂布装置进一步包括相对于第一蒸发器和第二蒸发器布置在第一涂布滚筒和第二涂布滚筒后方的导辊，所述导辊用于引导卷筒纸料穿过缝隙。根据可结合本文描述的一个或多个实施例的一个实施例，其中第一蒸发束和第二蒸发束形成布置在第一蒸发器和第二蒸发器与第一涂布滚筒和第二涂布滚筒之间的共同沉积区域。根据可结合 本文描述的一个或多个实施例的一个实施例，当在沿第一涂布滚筒和第二涂布滚筒的轴的投影中观察时，共同沉积区域与由单个蒸发器形成的沉积区域相比具有更加均匀的蒸发材料分布。根据可结合本文描述的一个或多个实施例的一个实施例，其中真空涂布装置被配置为由第一涂布滚筒输送第一卷筒纸料穿过缝隙，并且同时由第二涂布滚筒输送第二卷筒纸料穿过缝隙。根据可结合本文描述的一个或多个实施例的一个实施例，提供用于涂布卷筒纸料的真空涂布装置。所述装置包括:真空腔室；第一可旋转涂布滚筒；以及与第一滚筒平行设置的第二可旋转涂布滚筒，其中在第一涂布滚筒与第二涂布滚筒之间形成一缝隙，用于传送卷筒纸料穿过所述缝隙。具有蒸发源的至少第一蒸发器紧靠第一涂布滚筒布置并且朝向第二涂布滚筒倾斜，以用于在由第二涂布滚筒传送卷筒纸料穿过缝隙时，使材料沉积在所述卷筒纸料上。以比靠近第二涂布滚筒而更加靠近第一涂布滚筒的方式布置第一蒸发器的蒸发源，并且相对于第一涂布滚筒和第二涂布滚筒设置所述蒸发源，使得当从第一蒸发器的蒸发源观察时，缝隙被第一涂布滚筒隐藏在视野之外。根据可结合本文描述的一个或多个实施例的一个实施例，真空涂布装置进一步包括具有蒸发源的至少第二蒸发器，所述蒸发源朝向第一涂布滚筒倾斜，以用于在由第一涂布滚筒传送卷筒纸料时，使材料沉积在所述卷筒纸料上，其中以比靠近第一涂布滚筒而更加靠近第二涂布滚筒的方式布置第二蒸发器，并且相对于第一涂布滚筒和第二涂布滚筒设置所述第二蒸发器，使得当从第二蒸发器的蒸发源观察时，缝隙被第二涂布滚筒隐藏在视野之外。根据可结合本文描述的一个或多个实施例的一个实施例，第一蒸发器具有第一主要蒸发方向并且第二蒸发器具有第二主要蒸发方向。第一主要蒸发方向和第二主要蒸发方向在布置于在第一涂布滚筒与第二涂布滚筒之间形成的缝隙后方的点P处相交。根据可结合本文描述的一个或多个实施例的一个实施例，第一蒸发器具有第一主要蒸发方向并且第二蒸发器具有第二主要蒸发方向。第一主要蒸发方向和第二主要蒸发方向在布置于在第一涂布滚筒与第二涂布滚筒之间形成的缝隙前方的点P处相交。根据可结合本文描述的一个或多个实施例的一个实施例，第一涂布滚筒和第二涂布滚筒的每一个包含半径R。第一蒸发器的蒸发源与第二蒸发器的蒸发源间隔小于涂布滚筒的半径R的距离L。根据可结合本文描述的一个或多个实施例的一个实施例，第一涂布滚筒和第二涂布滚筒的半径R大于第一涂布滚筒与第二蒸发器的蒸发源之间的距离和/或大于第二涂布滚筒与第一蒸发器的蒸发源之间的距离。根据可结合本文描述的一个或多个实施例的一个实施例，提供用于涂布卷筒纸料的真空涂布装置。真空涂布装置包括:真空腔室；用于传送卷筒纸料的至少一个可旋转涂布滚筒，所述至少一个可旋转涂布滚筒具有旋转轴和表面；具有至少一个蒸发源的第一蒸发器；具有至少一个蒸发源的第二蒸发器。第一蒸发器和第二蒸发器紧靠涂布滚筒布置并且相对于彼此倾斜。
根据可结合本文描述的一个或多个实施例的一个实施例，第一蒸发器的蒸发源经调适以产生具有第一主要蒸发方向的第一蒸发束，并且第二蒸发器的蒸发源经调适以产生具有第二主要蒸发方向的第二蒸发束。第一蒸发器和第二蒸发器经布置使得所述第一蒸发器和所述第二蒸发器的蒸发束朝向彼此倾斜。根据可结合本文描述的一个或多个实施例的一个实施例，第一蒸发器和第二蒸发器经布置，使得当在与旋转轴平行的投影中观察时，第一主要蒸发方向和第二主要蒸发方向在布置在涂布滚筒与第一蒸发器和第二蒸发器之间的点P处相交。根据可结合本文描述的一个或多个实施例的一个实施例，提供蒸发单元或蒸发布置，所述蒸发单元或蒸发布置具有:第一蒸发器，所述第一蒸发器具有用于产生第一蒸发束(31a)的至少一个蒸发源；以及第二蒸发器，所述第二蒸发器具有用于产生第二蒸发束的至少一个蒸发源，其中第一蒸发器和第二蒸发器相对于彼此倾斜。根据可结合本文描述的一个或多个实施例的一个实施例，蒸发单元或蒸发布置进一步包括:第一排的第一蒸发器，其中每个第一蒸发器经调适以产生第一蒸发束；以及第二排的第二蒸发器，其中每个第二蒸发器经调适以产生第二蒸发束。第一排和第二排彼此平行布置，其中第一排的第一蒸发器和第二排的第二蒸发器经布置，使得当在沿第一排和第二排的投影中观察时，第一蒸发器的蒸发束朝向第二蒸发器的蒸发束倾斜。根据可结合本文描述的一个或多个实施例的一个实施例，以交错的方式布置第一蒸发器和第二蒸发器。根据可结合本文描述的一个或多个实施例的一个实施例，提供真空涂布装置。真空涂布装置包括:真空腔室；具有轴的第一涂布滚筒以及与第一滚筒平行设置的、具有轴的第二涂布滚筒，其中在第一涂布滚筒与第二涂布滚筒之间形成有一缝隙；具有蒸发源的至少第一蒸发器，所述蒸发源导向第二涂布滚筒，用于在由第二涂布滚筒传送卷筒纸料穿过缝隙时，使材料沉积在所述卷筒纸料上。第一蒸发器的蒸发源布置在界定在第一假想线之间的区域外部，当在与轴平行的投影中观察时，所述第一假想线贯穿缝隙并且是第一涂布滚筒和第二涂布滚筒的切线。根据可结合本文描述的一个或多个实施例的一个实施例，真空涂布装置进一步包括具有蒸发源的至少第二蒸发器，所述蒸发源导向第一涂布滚筒，用于在由第一涂布滚筒传送卷筒纸料时，使材料沉积在所述卷筒纸料上。当在与轴平行的投影中观察时，第二蒸发器的蒸发源布置在界定在第一假想线之间的区域的外部。根据可结合本文描述的一个或多个实施例的一个实施例，轴沿穿过缝隙的假想连接线相对于彼此设置。第一蒸发器和/或第二蒸发器的蒸发源布置在界定在第二假想线之间的区域的内部，所述第二假想线贯穿第一涂布滚筒和第二涂布滚筒的轴的对应的一个并且垂直于假想连接线。根据可结合本文描述的一个或多个实施例的一个实施例，提供用于涂布卷筒纸料的真空涂布装置。所述真空涂布装置包括:真空腔室；第一可旋转涂布滚筒；以及与第一滚筒平行设置的第二可旋转涂布滚筒，其中在第一涂布滚筒与第二涂布滚筒之间形成一缝隙，用于传送卷筒纸料穿过所述缝隙。轴沿通过缝隙的假想连接线相对于彼此设置。具有蒸发源的至少第一蒸发器导向第二涂布滚筒，用于在由第二涂布滚筒传送卷筒纸料穿过缝隙时，使材料沉积在所述卷筒纸料上。第一蒸发器相对于第一涂布滚筒和第二涂布滚筒布置，使得从蒸发源穿过缝隙的直线被第一涂布滚筒阻隔。根据可结合本文描述的一个或多个实施例的一个实施例，提供用于涂布卷筒纸料的方法。所述方法包括:提供第一可旋转涂布滚筒以及与第一滚筒平行设置的第二可旋转涂布滚筒，其中在第一涂布滚筒与第二涂布滚筒之间形成有缝隙；通过从第一蒸发器自第一蒸发方向蒸发材料并且从第二蒸发器自第二蒸发方向蒸发材料，来形成紧靠第一涂布滚筒和第二涂布滚筒的表面的共同蒸发区域；由第一涂布滚筒和/或第二涂布滚筒传送至少一个卷筒纸料穿过共同蒸发区域`。尽管上文涉及本发明的实施例，但可在不脱离本发明的基本范围的情况下设计本发明的其他实施例与进一步实施例，且本发明的范围由以下权利要求书决定。
权利要求
1.一种用于涂布卷筒纸料的真空涂布装置，所述真空涂布装置包含: 真空腔室(50); 第一可旋转涂布滚筒(11)和第二可旋转涂布滚筒(12)，所述第二涂布滚筒(12)与所述第一滚筒(11)平行设置，其中在所述第一涂布滚筒与所述第二涂布滚筒(11、12)之间形成用于传送至少一个卷筒纸料(15)的缝隙(17); 第一蒸发器(21)，所述第一蒸发器(21)包含用于产生第一蒸发束(31b)的至少一个蒸发源(21a)，所述第一蒸发器(21)紧靠所述第一涂布滚筒(11)布置； 第二蒸发器(22)，所述第二蒸发器(22)包含用于产生第二蒸发束(32b)的至少一个蒸发源(22a)，所述第二蒸发器(22)紧靠所述第二涂布滚筒(12)布置； 所述第一蒸发器和所述第二蒸发器(21、22)相对于彼此倾斜。
2.如权利要求1所述的真空涂布装置，其中所述第一蒸发器和所述第二蒸发器(21、22)的每一个包含主要蒸发方向(31a、32a),其中所述各自的主要蒸发方向(31a、32a)的几何扩展在布置在所述缝隙(17)前方的点P处相交。
3.如权利要求1或2所述的真空涂布装置，其中所述第一涂布滚筒和所述第二涂布滚筒(11、12)被配置为传送卷筒纸料(15)穿过所述缝隙(17)，并且其中所述第一蒸发器和所述第二蒸发器(21、22)相对于所述第一涂布滚筒和所述第二涂布滚筒(11、12)布置，使得当从所述各自的蒸发器(21、22)的所述蒸发源(21a、Z2a)观察时，所述缝隙(17)被所述第一涂布滚筒和所述第二涂布滚筒(11、12)的对应的一个隐藏在视野之外。
4.如权利要求1至3的任一项所述的真空涂布装置，其中当沿连接所述第一涂布滚筒(11)的所述旋转轴(Ila)与所述第二涂布滚筒(12)的所述旋转轴(12a)的假想连接线(13)测量时，所述第一涂布滚 筒和所述第二涂布滚筒(11、12)的每一个具有半径R，并且所述第一涂布滚筒与所述第二涂布滚筒(11、12)之间的所述缝隙(17)具有宽度D，其中所述比值R/D大于或等于15。
5.如权利要求1至4的任一项所述的真空涂布装置，进一步包含相对于所述第一蒸发器和所述第二蒸发器(21、22)布置在所述第一涂布滚筒和所述第二涂布滚筒(11、12)后方的导辊(18)，所述导辊(18)用于引导所述卷筒纸料(15)穿过所述缝隙(17)。
6.如权利要求1至5的任一项所述的真空涂布装置，其中所述第一蒸发器和所述第二蒸发器(21、22)经布置，使得所述第一蒸发束和所述第二蒸发束(31b、32b)形成布置在所述第一蒸发器和所述第二蒸发器(21、22)与所述第一涂布滚筒和所述第二涂布滚筒(11、12)之间的共同沉积区域。
7.如权利要求6所述的真空涂布装置，其中当在沿所述第一涂布滚筒和所述第二涂布滚筒(11、12)的所述轴(lla、12a)的投影中观察时，所述共同沉积区域与由单个蒸发器形成的沉积区域相比具有更加均匀的蒸发材料分布。
8.如权利要求1至7的任一项所述的真空涂布装置，被配置为由所述第一涂布滚筒(11)输送第一卷筒纸料(15’)穿过所述缝隙(17)，并且同时由所述第二涂布滚筒(12)输送第二卷筒纸料(15〃)穿过所述缝隙(17)。
9.一种用于涂布卷筒纸料的真空涂布装置，所述真空涂布装置包含: 真空腔室(50); 第一可旋转涂布滚筒(11)以及与所述第一涂布滚筒(11)平行设置的第二可旋转涂布滚筒(12)，其中在所述第一涂布滚筒与所述第二涂布滚筒(11、12)之间形成缝隙(17)，用于传送卷筒纸料(15)穿过所述缝隙(17); 至少第一蒸发器(21)，所述至少第一蒸发器(21)包含紧靠所述第一涂布滚筒(11)布置并且朝向所述第二涂布滚筒(12)倾斜的蒸发源(21a)，用于当由所述第二涂布滚筒(12)传送所述卷筒纸料(15)穿过所述缝隙(17)时，使材料沉积在所述卷筒纸料(15)上，以比靠近所述第二涂布滚筒(12)而更加靠近所述第一涂布滚筒(11)的方式布置所述第一蒸发器(21)的所述蒸发源，并且相对于所述第一涂布滚筒和所述第二涂布滚筒(11、12)设置所述第一蒸发器(21)的所述蒸发源，使得当从所述第一蒸发器(21)的所述蒸发源(21a)观察时，所述缝隙(17)被所述第一涂布滚筒(11、12)隐藏在视野之外。
10.如权利要求9所述的真空涂布装置，进一步包含至少第二蒸发器(22)，所述第二蒸发器(22)包含朝向所述第一涂布滚筒(11)倾斜的蒸发源(22a)，用于当由所述第一涂布滚筒(11)传送所述卷筒纸料(15)时，使材料沉积在所述卷筒纸料(15)上，以比靠近所述第一涂布滚筒(11)而更加靠近所述第二涂布滚筒(12)的方式布置所述第二蒸发器(22)的所述蒸发源，并且相对于所述第一涂布滚筒和所述第二涂布滚筒(11、22)设置所述第二蒸发器(22)的所述蒸发源，使得当从所述第二蒸发器(22)的所述蒸发源(22a)观察时，所述缝隙(17)被所述第二涂布滚筒(12)隐藏在视野之外。
11.如权利要求10所述的真空涂布装置，其中所述第一蒸发器(21)包含第一主要蒸发方向(31a)，并且所述第二蒸发器(22)包含第二主要蒸发方向(32a)，所述第一主要蒸发方向(31a)和所述第二主要蒸发方向(32a)在布置于形成在所述第一涂布滚筒与所述第二涂布滚筒(11、12)之间的所述缝隙(17)后方的点(P)处相交。
12.如权利要求10或11所述的真空涂布装置，其中所述第一涂布滚筒和所述第二涂布滚筒(11、21)的每一个包含半径(R)，并且其中所述第一蒸发器(21)的所述蒸发源(21a)与所述第二蒸发器(22)的所述蒸发源(22a)间隔小于所述涂布滚筒(11、12)的所述半径(R)的距离(L)。
13.如权利要求9至12的任一项所述的真空涂布装置，其中所述第一涂布滚筒和所述第二涂布滚筒(11、12)的所述半径(R)大于所述第一涂布滚筒(11)与所述第二蒸发器(22)的所述蒸发源(22a)之间的距离和/或大于所述第二涂布滚筒(12)与所述第一蒸发器(21)的所述蒸发源(21a)之间的距离。
14.一种用于涂布卷筒纸料的真空涂布装置，所述真空涂布装置包含: 真空腔室(50); 用于传送卷筒纸料(15)的至少一个可旋转涂布滚筒(11)，所述至少一个可旋转涂布滚筒(11)包含旋转轴(Ila)和表面(25); 第一蒸发器(21)，所述第一蒸发器(21)包含至少一个蒸发源(21a); 第二蒸发器(22)，所述第二蒸发器(22)包含至少一个蒸发源(22a)，所述第一蒸发器和所述第二蒸发器(21、22)紧靠所述涂布滚筒(11)布置并且相对于彼此倾斜。
15.如权利要求14所述的真空涂布装置，其中: 所述第一蒸发器(21)的所述蒸发源(21a)经调试以产生包含第一主要蒸发万向(31a)的第一蒸发束(31a); 所述第二蒸发器的所述蒸发源(22a)经调试以产生包含第二主要蒸发方向(32a)的第二蒸发束(32a); 所述第一蒸发器和所述第二蒸发器(21、22)经布置使得所述第一蒸发器和所述第二蒸发器(21、22)的蒸发束(31b、32b)朝向彼此倾斜。
16.如权利要求15所述的真空涂布装置，其中所述第一蒸发器和所述第二蒸发器(21、22)经布置，使得当在与所述旋转轴(Ila)平行的投影中观察时，所述第一主要蒸发方向(31a)和所述第二主要蒸发方向(32a)在布置于所述涂布滚筒(11)与所述第一蒸发器和所述第二蒸发器(21、22)之间的点(P)处相交。
17.—种蒸发单兀,包含: 第一蒸发器(21)，所述第一蒸发器(21)包含用于产生第一蒸发束(31a)的至少一个蒸发源(21a); 第二蒸发器(22)，所述第二蒸发器(22)包含用于产生第二蒸发束(32a)的至少一个蒸发源(22a); 所述第一蒸发器和所述第二蒸发器(21、22)相对于彼此倾斜。
18.如权利要求17所述的蒸发单元,进一步包含: 第一排(701)的第一蒸发器(721)，每个第一蒸发器(721)经调适以产生第一蒸发束(732); 第二排(702)的第二蒸发器(722)，每个第二蒸发器(722)经调适以产生第二蒸发束(732)，第一排和第二排(701、702)彼此平行布置； 所述第一排(701)的所述·第一蒸发器(721)和所述第二排(702)的所述第二蒸发器(722)经布置，使得当在沿所述第一排和所述第二排(701、702)的投影中观察时，所述第一蒸发器(721)的所述蒸发束(732)相对于所述第二蒸发器(722)的所述蒸发束(732)倾斜。
19.如权利要求18所述的蒸发单元，其中以交错的方式布置所述第一蒸发器和所述第二蒸发器(721、722)。
20.一种用于涂布卷筒纸料的方法，所述方法包含: 提供第一可旋转涂布滚筒(11)以及与所述第一滚筒(11)平行设置的第二可旋转涂布滚筒(12)，其中在所述第一涂布滚筒与所述第二涂布滚筒(11、12)之间形成缝隙(17); 通过从第一蒸发器(21)自第一蒸发方向蒸发材料并且从第二蒸发器(22)自第二蒸发方向蒸发材料，以紧靠所述第一涂布滚筒和所述第二涂布滚筒(11、12)的表面形成共同蒸发区域； 由所述第一涂布滚筒(11)、所述第二涂布滚筒(12)，以及所述第一涂布滚筒(11)和所述第二涂布滚筒(12)的组合的至少一个传送至少一个卷筒纸料(15)穿过所述共同蒸发区域。
全文摘要
一种用于涂布卷筒纸料的真空涂布装置包括第一可旋转涂布滚筒(11)以及与第一滚筒(11)平行设置的第二可旋转涂布滚筒(12)，其中在第一涂布滚筒与第二涂布滚筒(11、12)之间形成有用于传送至少一个卷筒纸料(15)的缝隙(17)。第一蒸发器(21)具有用于产生第一蒸发束(31b)的至少一个蒸发源(21a)，其中第一蒸发器(21)紧靠所述第一涂布滚筒(11)布置。第二蒸发器(22)具有用于产生第二蒸发束(32b)的至少一个蒸发源(22a)，其中第二蒸发器(22)紧靠第二涂布滚筒(12)布置。第一蒸发器和第二蒸发器(21、22)相对于彼此倾斜。
文档编号C23C14/56GK103249861SQ201080070574
公开日2013年8月14日 申请日期2010年12月1日 优先权日2010年12月1日
发明者S·海恩, G·霍夫曼 申请人:应用材料公司