专利名称：一种全自动下传输系统的制作方法
技术领域：
本发明属于PECVD的传输系统领域，具体地说是一种全自动下传输系统。
背景技术：
随着经济建设的快速发展，微电子技术得到了迅猛地发展，PECVD等离子体处理设备的开发和使用也日益广泛。PECVD即为等离子体增强化学气相沉积法，在化学气相沉积时，为了使化学反应能在较低的温度下进行，可以利用了等离子体的活性来促进反应，这种化学气相沉积方法称为等离子体增强化学气相沉积法，实施该种加工方法的设备为PECVD设备。目前我们的电池生产线PECVD的传输系统包括装载台、升降传输、下传输线、卸载台，其中所述下传输线由总控制电源开关、电机、光电传感器以及型材等构成，而传统下传输多为8个传输工位连接的方式，该传输系统通常具有8组对射传感器、8个电机，当碳板在该下传输上传输时，存在成本高、稳定性差等缺点。
发明内容
针对上述问题，本发明的目的在于提供一种全自动下传输系统，该全自动下传输系统具有成本低、可靠性高等特点。为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案:—种全自动下传输系统,包括装载台、升降传输、下传输系统、卸载台，所述下传输系统包括4个传输工位、固态继电器及PLC,其中每个传输工位均由电机、传感器以及传输型材组成，所述电机与传感器设置在传输型材上；所述PLC与传感器及固态继电器电连接，固态继电器与所述电机 电连接。所述电机为单相电机。所述传感器为对射传感器。所述对射传感器为两个，分别为发射器和接收器。本发明具有以下的优点:本发明在由4个传输工位构成的下传输系统上传输碳板,避免了在8个传输工位构成的传输系统传输不稳等缺点，可以降低碎片率，并且由于减少了设备元件，可以降低成本。
图1为本发明的结构示意图；图2为本发明的每个传输工位的结构示意图；其中:I为对射传感器,2为传输型材,3为单相电机,4为传输工位1,5为传输工位II，6为传输工位III，7为传输工位IV。
具体实施例方式下面结合附图对本发明作进一步描述。如图1、图2所示，本发明包括装载台、升降传输、下传输系统、卸载台，所述下传输系统包括传输工位14、传输工位115、传输工位1116、传输工位IV7等4个传输工位、固态继电器及PLC，其中每个传输工位均由I个单相电机3、两对对射传感器I以及传输型材2组成，单相电机3与两对对射传感器I均设置在传输型材2上,两对对射传感器分别为发射器和接收器；所述PLC与固态继电器电连接，使用PLC控制固态继电器。固态继电器与单相电机3电连接，控制各单相电机3的启动或停止。单相电机3控制传输工位的运转。对射传感器I与PLC连接，对射电传感器I用来监测碳板位置，为程序控制碳板在传输线上合理运动提供判断信号。装载台、卸载台完成碳板从下传输线到PECVD工作传输面的运输过程。使用伺服驱动器或变频器来控制装、卸载台的升降电机，使用PLC控制各所述伺服驱动器。升降过程无需人工干预，系统自动判断碳板位置完成升降。下传输系统完成碳板在PECVD设备下部的运输。运输过程无需人工干预。系统自动完成传输过程。整个下传输线最多可容纳4块碳板。总控制电源开关控制系统的整体电源供应。本发明在由4个传输工位构成的下传输系统上传输碳板,相比于传统的8传输工位组成的下传输系统，避免了在8个传输工位构成的传输系统传输不稳等缺点，降低了碎片率。同时节省了 4个单项电机、8对对射传感器，减少设备元件，降低了成本。由自动控制的电机驱动的传输系统能方便的将碳板从卸载台搬运到装载台，从卸载台装碳板开始至装载台运送碳板至最高点，时间< 60秒，该系统具有模块化设计、设备简洁、运行稳定和维护时间短等优点。`
权利要求
1.一种全自动下传输系统，包括装载台、升降传输、下传输系统、卸载台，其特征在于:所述下传输系统包括4个传输工位、固态继电器及PLC,其中每个传输工位均由电机、传感器以及传输型材(2)组成，所述电机与传感器设置在传输型材(2)上；所述PLC与传感器及固态继电器电连接，固态继电器与所述电机电连接。
2.按权利要求1所述的全自动传输系统，其特征在于:所述电机为单相电机⑶。
3.按权利要求1所述的全自动传输系统，其特征在于:所述传感器为对射传感器(I)。
4.按权利要求3所述的全自动传输系统，其特征在于:所述对射传感器(I)为两个，分别为发射器和接收器。`
全文摘要
本发明属于PECVD的传输系统领域，具体地说是一种全自动下传输系统。包括装载台、升降传输、下传输系统、卸载台，所述下传输系统包括4个传输工位、固态继电器及PLC，其中每个传输工位均由电机、传感器以及传输型材组成，所述电机与传感器设置在传输型材上；所述PLC与传感器及固态继电器电连接，固态继电器与所述电机电连接。本发明在由4个传输工位构成的下传输系统上传输碳板，避免了在8个传输工位构成的传输系统传输不稳等缺点，可以降低碎片率，并且由于减少了设备元件，可以降低成本。
文档编号C23C16/44GK103103495SQ201110357788
公开日2013年5月15日 申请日期2011年11月11日 优先权日2011年11月11日
发明者雷震霖, 赵崇凌, 李士军, 张健, 张冬, 洪克超, 徐宝利, 钟福强, 陆涛, 许新, 王刚, 刘兴, 郭玉飞, 王学敏, 李松 申请人:中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司