专利名称：硅片镀膜用碳碳载板的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种硅片镀膜用碳碳载板，具体地说是一种硅片镀膜用PECVD载板。
背景技术：
PECVD载板是硅片镀膜设备的一种重要装置，其工作原理为待镀膜的硅片需平整的放置在载板的工位上，经传输部件运输到硅片镀膜设备中的等离子腔室，然后在一定工艺条件下进行镀膜。随着太阳能光伏行业的迅速发展，市场对硅片镀膜的质量和产量和产能均提出了更高的要求。常规载板的载片容量由于载板结构尺寸上的制约已无法满足市场的需求，为此本实用新型发明了一种大载片量的PECVD载板，较好的解决了上述问题。
发明内容本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种能够提高生产能力同时也降低了成本的硅片载体框，使该载板在相同的设备、动力、反应气体等工艺条件下将产能增加22%以上。按照本实用新型提供的技术方案，硅片镀膜用碳碳载板，包括PECVD载板框本体和太阳能硅片孔，太阳能硅片孔呈阵列状分布于PECVD载板框本体上。所述太阳能硅片孔呈5X 10的阵列状分布于PECVD载板框本体上。位于顶排的太阳能硅片孔的顶壁边到PECVD载板框本体的顶边框的距离与位于底排的太阳能硅片孔的底壁边到载体框本体的底边框的距离相同。位于左列的太阳能硅片孔的左壁边到PECVD载板框本体的左边框的距离与位于右列的太阳能硅片孔的右壁边到PECVD载板框本体的右边框的距离相同。位于顶排的太阳能硅片孔的顶壁边到PECVD载板框本体的顶边框的距离均为 l(T20mm ；位于底排的太阳能硅片孔的底壁边到PECVD载板框本体的底边框的距离均为 l(T20mm。位于左列的太阳能硅片孔的左壁边到PECVD载板框本体的左边框的距离均为 84、4mm ；位于右列的太阳能硅片孔的右壁边到PECVD载板框本体的右边框的距离均为 84 94mm。所述太阳能硅片孔中同行相邻两个太阳能硅片孔中心间距均为16广171mm ；所述太阳能硅片孔中同列相邻两个太阳能硅片孔中心间距均为16广171mm。所述PECVD载板框本体的宽度为990-1010mm，高度为145(Tl780mm。本实用新型的有益效果本实用新型中载板载片工位的重新布置，使载板载片量相对之前增加了 22%以上；在设备尺寸允许的情况下，增加了载板长度方向的尺寸，因此载板的抗弯强度不会因为增加载片工位而削弱；本实用新型仅将原来的载板框本体的高度稍微增大，就能较大地增多太阳能硅片孔的数量，提高生产能力，同时也降低了成本。
图1本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
如图1所示，包括PECVD载板框本体1和太阳能硅片孔2，太阳能硅片孔2呈阵列状分布于PECVD载板框本体1上。所述太阳能硅片孔2呈5X 10的阵列状分布于PECVD载板框本体1上。位于顶排的太阳能硅片孔2的顶壁边到PECVD载板框本体1的顶边框的距离与位于底排的太阳能硅片孔2的底壁边到载体框本体1的底边框的距离相同。位于左列的太阳能硅片孔2的左壁边到PECVD载板框本体1的左边框的距离与位于右列的太阳能硅片孔2的右壁边到PECVD载板框本体1的右边框的距离相同。位于顶排的太阳能硅片孔2的顶壁边到PECVD载板框本体1的顶边框的距离均为 l(T20mm ；位于底排的太阳能硅片孔2的底壁边到PECVD载板框本体1的底边框的距离均为 l(T20mm。位于左列的太阳能硅片孔(2)的左壁边到PECVD载板框本体1的左边框的距离均为84、4mm ；位于右列的太阳能硅片孔2的右壁边到PECVD载板框本体1的右边框的距离均为 84、4mm。所述太阳能硅片孔2中同行相邻两个太阳能硅片孔2中心间距均为16广171mm ； 所述太阳能硅片孔2中同列相邻两个太阳能硅片孔2中心间距均为16广171mm。所述PECVD载板框本体1的宽度为990_1010mm，高度为145(Tl780mm。本实用新型将PECVD载板框本体1的高度增大为145(Tl780mm，高度增大百分率为 0. 4%飞％，太阳能硅片孔的数目增大为5X 10的阵列(以前仅为5X9的阵列)，阳能硅片孔的数目增大百分率为22%以上。这样就使得各太阳能电池片生产商在不增加设备、动力和气体的情况下较大地提高生产能力，同时也降低了成本。
权利要求1.硅片镀膜用碳碳载板，其特征是包括PECVD载板框本体(1)和太阳能硅片孔(2)， 太阳能硅片孔(2)呈阵列状分布于PECVD载板框本体(1)上。
2.根据权利要求1所述硅片镀膜用PECVD载板，其特征是所述太阳能硅片孔(2)呈 5X 10的阵列状分布于PECVD载板框本体(1)上。
3.根据权利要求广2所述硅片镀膜用碳碳载板，其特征是位于顶排的太阳能硅片孔 (2)的顶壁边到PECVD载板框本体(1)的顶边框的距离与位于底排的太阳能硅片孔(2)的底壁边到载体框本体(1)的底边框的距离相同。
4.根据权利要求广2所述硅片镀膜用碳碳载板，其特征是位于左列的太阳能硅片孔 (2)的左壁边到PECVD载板框本体(1)的左边框的距离与位于右列的太阳能硅片孔(2)的右壁边到PECVD载板框本体(1)的右边框的距离相同。
5.根据权利要求3所述硅片镀膜用碳碳载板，其特征是位于顶排的太阳能硅片孔(2) 的顶壁边到PECVD载板框本体(1)的顶边框的距离均为l(T20mm ；位于底排的太阳能硅片孔 (2)的底壁边到PECVD载板框本体(1)的底边框的距离均为l(T20mm。
6.根据权利要求4所述硅片镀膜用碳碳载板，其特征是位于左列的太阳能硅片孔(2) 的左壁边到PECVD载板框本体(1)的左边框的距离均为84、4mm ；位于右列的太阳能硅片孔 (2)的右壁边到PECVD载板框本体(1)的右边框的距离均为84、4mm。
7.根据权利要求广2所述硅片镀膜用碳碳载板，其特征是所述太阳能硅片孔(2)中同行相邻两个太阳能硅片孔(2)中心间距均为16广171mm。
8.根据权利要求广2所述硅片镀膜用碳碳载板，其特征是所述太阳能硅片孔(2)中同列相邻两个太阳能硅片孔(2)中心间距均为16广171mm。
9.根据权利要求广2所述硅片镀膜用碳碳载板，其特征是所述PECVD载板框本体(1) 的宽度为 990-1010mm，高度为 145(Tl780mm。
专利摘要本实用新型涉及一种硅片镀膜用碳碳载板，具体地说是一种硅片镀膜用PECVD载板。其包括PECVD载板框本体和太阳能硅片孔，太阳能硅片孔呈阵列状分布于PECVD载板框本体上。所述太阳能硅片孔呈5×10的阵列状分布于PECVD载板框本体上。位于顶排的太阳能硅片孔的顶壁边到PECVD载板框本体的顶边框的距离与位于底排的太阳能硅片孔的底壁边到载体框本体的底边框的距离相同。位于左列的太阳能硅片孔的左壁边到PECVD载板框本体的左边框的距离与位于右列的太阳能硅片孔的右壁边到PECVD载板框本体的右边框的距离相同。本实用新型仅将原来的载板框本体的高度稍微增大，就能较大地增多太阳能硅片孔的数量，提高生产能力，同时也降低了成本。
文档编号C23C16/458GK202246857SQ201120341089
公开日2012年5月30日 申请日期2011年9月13日 优先权日2011年9月13日
发明者代宁, 尤耀明 申请人:无锡绿波新能源设备有限公司