专利名称：一种超薄滤光片镀膜工艺及镀膜夹具的制作方法
技术领域：
本发明涉及光学技术领域，特别涉及一种超薄滤光片的镀膜工艺，以及该镀膜工艺采用的镀膜夹具。
背景技术：
滤光片是一种可从复合光中分离出某一波段单色光的光学器件，其被广泛的应用于各种光电产业领域。滤光片是通过在透光基片上镀电介质金属膜制成的，其利用电介质金属膜的干涉作用从入射光中选取特定波段的光使其通过滤光片。根据不同应用领域的需要，不同的带通滤光片往往需要具有不同的带通波段，这样就需要在透光基片的一侧表面上镀不同厚度的电介质金属膜系，带通越窄的滤光片往往需要在透光基片上镀的电介质金属膜系越厚。随着技术的不断发展，光电产品正逐渐向小、薄的方向发展，因此滤光片的厚度也变得越来越薄。而对于超薄滤光片而言，目前的镀膜工艺存在着一定的问题，因为滤光片的镀膜一般是在整个透光基片上进行镀膜，镀膜完成后再切割成小片，而对于超薄滤光片而言，由于透光基片的厚度很薄，在整块透光基片镀膜后，透光基片往往会产生变形，这样就会对滤光片的质量造成不利影响。
发明内容
针对上述现有技术的不足，本发明的目的是提供一种可防止超薄滤光片镀膜后变形的镀膜工艺。为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案一种超薄滤光片镀膜工艺，其包括如下步骤在镀膜前，首先在透光基片要镀膜的一侧表面上设置网格状遮盖物，然后再进行镀膜。优选的，所述透光基片的厚度不大于0. Icm0本发明还公开了一种实现上述超薄滤光片镀膜工艺的夹具，其包括一底板和一网格状的夹板，所述底板与所述夹板之间设有锁紧机构。优选的，所述夹板为十字形。优选的，所述底板、夹板为不锈钢材料。上述技术方案具有如下有益效果该超薄滤光片镀膜工艺在镀膜前在透光基片的表面上设置网格状遮盖物，在镀膜时，透光基板上网格状遮盖物遮住的部分就不会形成镀膜，透光基片上镀膜的区域就会被分割成多个小块，由于各个小块的面积较小且彼此隔断， 因此镀膜产生的张力较小，这样就不会引起透光基片的变形，从而可有效保证滤光片的质量。上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段， 并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图对本专利进行详细说明。
图1为本发明镀膜夹具实施例的结构示意图。
具体实施例方式下面结合附图对本发明的优选实施例进行详细介绍。该超薄滤光片镀膜工艺主要应用于透光基片的厚度不大于0. Icm的滤光片。该镀膜工艺包括如下步骤，在镀膜前，首先在在透光基片要镀膜的一侧表面上设置网格状遮盖物，然后再进行镀膜。该超薄滤光片镀膜工艺在镀膜前在透光基片的表面上设置网格状遮盖物，在镀膜时，透光基板上网格状遮盖物遮住的部分就不会形成镀膜，透光基片上镀膜的区域就会被分割成多个小块，由于各个小块的面积较小且彼此隔断，因此镀膜产生的张力较小，这样就不会引起透光基片的变形，从而可有效保证滤光片的质量。如图1所示，本发明还公开了一种实现上述镀膜工艺的镀膜夹具，其包括一底板1 和一夹板2，底板1、夹板2均为不锈钢材料，底板1与夹板2之间设有锁紧机构，夹板2为一十字形网格状夹板。该镀膜夹具在使用时，将透光基板置于底板1和夹板2之间，通过锁紧机构将底板 1和夹板2锁紧，此时夹板2就相当于一网格状遮盖物。在进行镀膜时，透光基板上网格状遮盖物遮住的部分就不会形成镀膜，透光基片上镀膜的区域就会被分割成4个小块，由于各个小块的面积较小且彼此隔断，因此镀膜产生的张力较小，这样就不会引起透光基片的变形，从而可有效保证滤光片的质量。以上对本发明实施例所提供的一种超薄滤光片镀膜工艺及镀膜夹具进行了详细介绍，对于本领域的一般技术人员，依据本发明实施例的思想，在具体实施方式
及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制，凡依本发明设计思想所做的任何改变都在本发明的保护范围之内。
权利要求
1.一种超薄滤光片镀膜工艺，其特征在于，其包括如下步骤在镀膜前，首先在透光基片要镀膜的一侧表面上设置网格状遮盖物，然后再进行镀膜。
2.根据权利要求1所述的超薄滤光片镀膜工艺，其特征在于所述透光基片的厚度不大于0. 1cm。
3.一种超薄滤光片镀膜夹具，其特征在于其包括一底板和一网格状的夹板，所述底板与所述夹板之间设有锁紧机构。
4.根据权利要求3所述的超薄滤光片镀膜夹具，其特征在于所述夹板为十字形。
5.根据权利要求3所述的超薄滤光片镀膜夹具，其特征在于所述底板、夹板为不锈钢材料。
全文摘要
本发明公开了一种超薄滤光片镀膜工艺，其包括如下步骤在镀膜前，首先在透光基片要镀膜的一侧表面上设置网格状遮盖物，然后再进行镀膜。该超薄滤光片镀膜工艺在镀膜前在透光基片的表面上设置网格状遮盖物，在镀膜时，透光基板上网格状遮盖物遮住的部分就不会形成镀膜，透光基片上镀膜的区域就会被分割成多个小块，由于各个小块的面积较小且彼此隔断，因此镀膜产生的张力较小，这样就不会引起透光基片的变形，从而可有效保证滤光片的质量。
文档编号C23C16/04GK102534475SQ20121005092
公开日2012年7月4日 申请日期2012年3月1日 优先权日2012年3月1日
发明者王喜昌 申请人:苏州鼎旺科技有限公司