一种化学抛光液的制造方法与工艺

文档序号:11664265阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种化学抛光液,其特征在于,所述化学抛光液包括硫酸、磷酸、缓蚀剂和增稠剂;所述缓蚀剂与增稠剂的重量比为1∶(1-30),所述磷酸为85wt%磷酸,硫酸为98wt%硫酸,无需另外添加水分,所述缓蚀剂的含量为0.5-5g/L,所述增稠剂的含量为3-10g/L,所述磷酸与硫酸的体积比为(2-4)∶1。2.根据权利要求1所述的化学抛光液,其特征在于,所述缓蚀剂与增稠剂的重量比为1∶(2-20)。3.根据权利要求1所述的化学抛光液,其特征在于,所述缓蚀剂为硫脲、二邻甲苯基硫脲、烯丙基硫脲、六次甲基四铵、钼酸铵、铬酸和硫酸锌中的至少一种。4.根据权利要求1所述的化学抛光液,其特征在于,所述增稠剂为聚乙二醇和糊精中的一种或两种。
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