专利名称：一种硅片的加工夹具的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种夹具，特别涉及一种硅片的加工夹具，属于硅片加工的技术领域。
技术背景
在硅片加工过程中，将硅棒加工成硅片后，硅片上会产生不规则的形状，为了不影 响后续加工的质量，要将该不规则边去除。
传统的去除不规则边的工序是将硅片用胶粘合在一起，再将不规则边研磨掉。但 是将娃片粘合在一起存在以下缺点1、尺寸研磨工序结束后，进行表面研磨工序时，要先将粘合在一起的硅片通过溶解或 清洗的方法分开，从而，增加了硅片的损坏率。
2、由于硅片是通常胶粘合在一起的，虽然，通过清洗会将胶液去除，但仍会有残余 的化合物留存，从而，影响硅片表面的平整度，给下道工序增加难度。
为了解决上述技术问题，近来，出现了 一种夹具，该夹具包括定位夹，定位夹内设 有夹紧板及锁紧螺杆，锁紧螺杆一端插入定位夹内，并顶在夹紧板上，使用时，将硅片排列 整齐的放在空位夹内，调节锁紧螺杆，使夹紧板将硅片夹紧，该夹具解决了上述技术问题， 但该夹具是通过锁紧螺杆推动夹紧板，实现硅片夹紧的，使用时，硅片与夹紧板之间没有任 何缓冲，研磨过程中，容易使硅片产生损坏
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种结构简单的硅片的加工夹具，该夹具可避 免研磨过程中，硅片的损坏。
为了解决上述技术问题，本发明一种硅片的加工夹具，包括定位夹、锁紧螺杆，定 位夹内设有夹紧板，所述锁紧螺杆一端插入定位夹内，并顶在夹紧板上，其中，所述夹紧板 上设有弹性垫片。
上述一种硅片的加工夹具，其中，所述弹性垫片与硅片接触的面上设有滚花纹。
本发明可实现以下有益效果1、由于所述夹紧板上设有弹性垫片，夹紧板夹紧硅片后，研磨过程中硅片因震动松动 时，夹紧板与硅片之间通过弹性垫片缓冲，避免硅片由于硬接触而损坏，提高了硅片的成品 率且本发明结构简单。
2、由于所述弹性垫片与硅片接触的面上设有滚花纹，提高了夹紧板与硅片接触面 的摩擦力，避免硅片由于震动松开。
图1是本发明的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步说明。
为了解决上述技术问题，本发明一种硅片的加工夹具，包括定位夹1，夹紧板2，锁 紧螺杆3，定位夹I内设有夹紧板2，所述锁紧螺杆3 —端插入定位夹I内，并顶在夹紧板2 上，使用时，将硅片4排列整齐的放在定位夹I内，调节锁紧螺杆3，使夹紧板2将硅片4夹 紧，所述夹紧板2上设有弹性垫片6，弹性垫片6通过胶粘合在夹紧板2上，也可通过其他方 式安装在夹紧板2上，弹性垫片6可以是橡胶垫片，也可以是硅胶垫片，所述弹性垫片6与 硅片4接触的面上设有滚花纹。定位夹I为整体构件，该整体构件设空腔5。
这里本发明的描述和应用是说明性的，并非想将本发明的范围限制在上述实施例 中，因此，本发明不受本实施例的限制，任何采用等效替换取得的技术方案均在本发明保护 的范围内。
权利要求
1.一种硅片的加工夹具，包括定位夹、锁紧螺杆，定位夹内设有夹紧板，所述锁紧螺杆一端插入定位夹内，并顶在夹紧板上，其特征在于，所述夹紧板上设有弹性垫片。
2.如权利要求1所述ー种硅片的加工夹具，其特征在于，所述弹性垫片与硅片接触的面上设有滚花紋。
全文摘要
本发明提供了一种硅片的加工夹具，包括定位夹、锁紧螺杆，定位夹内设有夹紧板，所述锁紧螺杆一端插入定位夹内，并顶在夹紧板上，所述夹紧板上设有弹性垫片，由于所述夹紧板上设有弹性垫片，夹紧板夹紧硅片后，研磨过程中硅片因震动松动时，夹紧板与硅片之间通过弹性垫片缓冲，避免硅片由于硬接触而损坏，提高了硅片的成品率且本发明结构简单。
文档编号B24B37/27GK103029036SQ20121058640
公开日2013年4月10日 申请日期2012年12月29日 优先权日2012年12月29日
发明者聂金根 申请人:镇江市港南电子有限公司