一种晶棒磨边设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于多晶硅生产设备设计领域，具体涉及一种晶棒磨边设备。
【背景技术】
[0002]在硅片加工过程中，晶棒磨边是硅片切割加工前的一道重要工序，按工艺要求，晶棒磨边不能出现光亮，更不能出现崩边，否则，就会影响硅片质量，崩边会直接减少晶棒的得片率即影响晶棒的利用率，经济损失很大。现有磨边工艺大都采用晶棒磨边设备对晶棒的棱边进行打磨，由于现有的磨边设备结构复杂，容易出现故障；另外，为了确保晶棒打磨效果及效率，需要定期更换打磨部件-磨盘。现有的晶棒磨边设备中，磨盘大都通过螺钉固定在基座上，导致磨盘拆装操作比较繁琐，费时费工。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的在于提供一种晶棒磨边设备，其结构简单合理，并且其上磨盘拆装便捷，省时省工。
[0004]为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案:
[0005]—种晶棒磨边设备，包括机架，所述机架上设有V形定位槽和设于所述V形定位槽下方的打磨装置;还包括驱动所述打磨装置沿横向往复移动的驱动装置，所述驱动装置包括驱动电机和受所述驱动电机驱动的丝杆;所述打磨装置包括与所述丝杆配合的活动座、设于所述活动座上的打磨电机和由所述打磨电机驱动的打磨组件，所述打磨组件包括与所述打磨电机的输出轴固定相连的基座和设于所述基座上的磨盘，所述基座上端面开设有燕尾槽，所述磨盘底端设有与所述燕尾槽相配合的燕尾凸台，所述燕尾槽内设有将所述燕尾凸台锁定的锁定组件；
[0006]所述锁定组件为弹性锁定组件，其设置在所述燕尾槽内的阶梯型的限位通孔内，所述弹性锁定组件包括依次设置于限位通孔内的锁块、为所述锁块提供复位弹力的弹簧和与限位通孔螺接的限位件;所述燕尾槽与所述燕尾凸台完成配合后所述锁块在所述弹簧的作用下从限位通孔伸出，其上阻挡面适于抵靠在所述燕尾凸台的相应端面上，所述锁块上背对阻挡面的一侧设有倾斜引导面。
[0007]优选的，所述机架下端设有滚轮和能够调节所述机架高度的支撑脚，所述支撑脚包括螺杆和与所述螺杆下端可转动连接的支撑座，所述螺杆上连接有用于将其固定在所述机架上的上紧固螺母和下紧固螺母，所述机架上设有用于固定所述螺杆的安装板，所述安装板开设有适于所述螺杆穿插的通孔，所述螺杆设于所述通孔内，所述螺杆穿过所述通孔后通过所述上紧固螺母和所述下紧固螺母夹紧所述安装板的方式将其固定在所述安装板上。
[0008]优选的，所述驱动电机通过螺栓与所述机架螺接，所述机架上用于所述螺栓穿插的孔为条形通孔。
[0009]优选的，所述磨盘上表面设有若干向上凸起的打磨凸条，所述打磨凸条上端面为打磨面。
[0010]优选的，多个所述打磨凸条由所述磨盘中心向外呈辐射状延伸，相邻所述打磨凸条之间形成排料槽。
[0011]与现有技术相比，本实用新型的有益效果是:采用本实用新型中的结构，打磨时，开启机器，将晶棒放入V形定位槽内，利用打磨电机驱动所述打磨组件进行高速转动，驱动电机驱动丝杠进行正、反两向转动，同时丝杠带动活动座进行往复横向运动，实现设备的打磨功能，该设备结构简单合理，故障率很低，实践证明具有很好的使用效果;另外，在组装磨盘和基座时，将磨盘上的燕尾凸台插入基座上的燕尾槽内，燕尾凸台在插入燕尾槽的过程中，通过倾斜引导面引导锁块向下方运动，使锁块进入限位通孔内，这样，燕尾凸台就能顺畅的移动到所需要的位置，燕尾槽与燕尾凸台完成配合后，燕尾凸台恰好完全经过锁块，这时，锁块在弹簧的作用下从限位通孔伸出，其上阻挡面抵靠在燕尾凸台的相应端面上，完成燕尾凸台的锁定，从而完成磨盘和基座的组装;拆卸磨盘时，只需用手或者借助工具按压锁块，使锁块完全进入限位通孔内，以解除锁块对燕尾凸台的锁定，这样燕尾凸台就能顺畅的从燕尾槽内移出，实现了快速拆装磨盘，省时省工。
【附图说明】
[0012]图1为本实用新型中的晶棒磨边设备的结构示意图；
[0013]图2为本实用新型中的晶棒磨边设备的局部剖视图；
[0014]图3为本实用新型中的晶棒磨边设备的打磨组件的爆炸图；
[0015]图4为本实用新型中的晶棒磨边设备的锁定组件的结构示意图；
[0016]图5为本实用新型中的晶棒磨边设备的磨盘的结构示意图。
[0017]图中所示附图标记为:1、机架，2、V形定位槽，3、驱动电机，4、丝杆，5、活动座，6、打磨电机，7、基座，8、磨盘，9、燕尾槽，10、燕尾凸台，11、锁定组件，12、锁块，13、弹簧，14、限位件，15、倾斜引导面，16、滚轮，17、支撑脚，18、螺杆，19、支撑座，20、上紧固螺母，21、下紧固螺母，22、安装板，23、螺栓，24、条形通孔，25、打磨凸条，26、排料槽，27、阻挡面。
【具体实施方式】
[0018]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0019]请参阅图1至图5，本实用新型提供一种技术方案:
[0020]—种晶棒磨边设备，包括机架I，机架I上设有V形定位槽2和设于V形定位槽2下方的打磨装置;还包括驱动所述打磨装置沿横向往复移动的驱动装置，所述驱动装置包括驱动电机3和受驱动电机3驱动的丝杆4;所述打磨装置包括与丝杆4配合的活动座5、设于活动座5上的打磨电机6和由打磨电机6驱动的打磨组件，所述打磨组件包括与打磨电机6的输出轴固定相连的基座7和设于基座7上的磨盘8，基座7上端面开设有燕尾槽9，磨盘8底端设有与燕尾槽9相配合的燕尾凸台10，燕尾槽9内设有将燕尾凸台10锁定的锁定组件11;锁定组件11为弹性锁定组件，其设置在燕尾槽9内的阶梯型的限位通孔内，所述弹性锁定组件包括依次设置于限位通孔内的锁块12、为锁块12提供复位弹力的弹簧13和与限位通孔螺接的限位件14;燕尾槽9与燕尾凸台10完成配合后锁块12在弹簧13的作用下从限位通孔伸出，其上阻挡面27适于抵靠在燕尾凸台10的相应端面上，锁块12上背对阻挡面的一侧设有倾斜引导面15。丝杆4的两端均设有改变驱动电机3转动方向的接近开关;锁定组件11可以是I套，或者多套，当具有多套锁定组件11时，这时所有的多套锁定组件11同时对燕尾凸台10进行锁定，提高锁定组件11锁定燕尾凸台10的牢固程度。锁块12由上、下两部分组成，其下部直径大于上部直径，限位通孔的阶梯结构可以通过在其上端设置带有通孔的限位块的方式实现，所述限位块通孔的孔径小于限位通孔的孔径，并且所述限位块通孔的孔径介于锁块12上部直径和锁块12下部直径之间，这样就能防止锁块12从所述限位通孔上端取出。工作时，先开启机器，并将晶棒放入V形定位槽