可伸缩式晶棒托架的制作方法

文档序号:8149639阅读:345来源:国知局
专利名称:可伸缩式晶棒托架的制作方法
技术领域
本实用新型涉及拉制晶棒设备部件,特别涉及一种可伸缩式晶棒托架。
背景技术
工厂在拉制晶棒的成型过程往往要经过多道工序,在晶棒一般设有固定托架,这 样方便起吊机构或提拉设备搬运,通过托架将晶棒转运到下一工序,不易损坏晶棒;但是执 行不同工序的设备距离远近及高度各不相同,当需要换位置移动晶棒时显得不是很方便, 常常因为位置不合适或高度不协调,而要大动干戈,重新搬动其它大设备,费时费力。

实用新型内容为了克服上述现有技术存在的缺陷,本实用新型提供一种可伸缩式晶棒托架,能 适时伸长或缩短改变固定晶棒的位置,调节方便,简单易行。为了实现上述目的,本实用新型的技术方案如下可伸缩式晶棒托架,包括转轴座、与转轴座通过轴承连接的轴承座,设置在转轴座 与轴承座之间的制动器托架,竖向放置的两组连杆和连接在两组连杆之间水平放置的晶棒 托板,和设置在轴承座前壁的托板固定座。每组连杆由两节通过轴位螺钉活动连接的连杆构成,两节连杆在中间的连接处通 过轴位螺钉可相对转动;两组连杆位置对称地设置在所述轴承座的两侧,其一端通过轴位 螺钉连接在轴承座侧部的垫圈上;两组连杆的另一端通过轴位螺钉连接所述晶棒托板中部 的垫圈上。所述晶棒托板与两组连杆所在的平面相垂直,晶棒托板靠外侧的一端设有结晶支 架,用于支撑晶棒;靠内侧的另一端通过销轴及轴位螺钉与托板固定座活动式连接;所述托板固定座上设置挂钩,通过挂钩悬挂连接在所述轴承座的转轴上;当晶棒 托板收拢的时候,通过挂钩钩住连杆与晶棒托板间的轴套,使晶棒托板能够竖直固定。晶棒托板通过两组连杆带动绕着与托板固定座的连接处在垂直方向旋转90度, 即实现晶棒托板打开与伸缩的功能。进一步,所述轴承座底部设置制动器托架与可调位锁定手柄,可调位锁定手柄通 过锁紧螺母及金属垫圈连接在制动器托架上。晶棒托板、两组连杆及托板固定座均连接在所述轴承座侧部或前壁,而轴承座与 转轴座是轴承连接,如果需要旋转晶棒托板,先松开可调位锁定手柄,只要手动转动晶棒托 板就能到所需位置,然后再拧紧可调位锁定手柄。所述转轴座与轴承座之间还设置还设置旋转限位,所述旋转限位的两侧最大角度 位置设置传感器。本实用新型的有益效果是,结构新颖,可通过连杆组使晶棒托板在垂直方向旋转; 也可通过轴承座在水平方向转动,调节方便,灵活度高。
图1为本实用新型的主视图。图2为与图1对应的俯视图。图中,01、旋转制动件,02、传感器,1、转轴座,2、连杆组,21、连杆,22、连杆,23、连 杆,24、连杆,3、轴承座,4、晶棒托板,41、结晶支架,5、可调位锁定手柄,6、托板固定座,61、 挂钩,7、垫圈,81、轴位螺钉,82、轴位螺钉,91、制动器托架,92、制动器托架,10、销轴,11、垫圈。
具体实施方式
为了使本实用新型的创作特征、技术手段与达成目的易于明白理解,以下结合具 体实施例进一步阐述本实用新型。实施例参看图1与图2,可伸缩式晶棒托架,包括转轴座1、与转轴座1通过轴承连接的轴 承座3,设置在转轴座1与轴承座3之间的制动器托架91,竖向放置的连杆组2和连接在两 组连杆之间水平放置的晶棒托板4,和设置在轴承座3前壁的竖向放置的托板固定座6。制动器托架91上通过螺栓及垫圈固定有旋转制动件01,旋转制动件01两侧的最 大角度位置设置传感器02;连杆组2由四节连杆21、22、23与24共同连接构成,其中,一组连杆21与22通过 轴位螺钉81活动式连接,另一组连杆23与24通过轴位螺钉82活动式连接,在轴位螺钉处 的两节连杆可发生相对转动,所述两组连杆对称地设置于轴承座3两侧。连杆21与连杆23的一端通过轴位螺钉连接在晶棒托板4的垫圈7上,连杆22与 连杆24的一端则分别通过轴位螺钉连接在轴承座3侧部的垫圈11上。晶棒托板4靠外侧的一端设置用于支撑晶棒的结晶支架41,靠内侧的一端通过销 轴10与托板固定座6下端活动式连接,托板固定座6上端设置挂钩61,挂钩61悬挂于轴承 座3的转轴上,并通过轴位螺钉固定连接。当晶棒托板4收拢的时候,通过挂钩61钩住连 杆与晶棒托板4间的轴套,使晶棒托板4能够竖直固定。轴承座3的底部设有制动器托架92,并在制动托架92上通过锁紧螺母及金属垫圈 连接可调位锁定手柄5,用于对轴承座3进行适宜调位。本实用新型的工作原理是,晶棒可放置于晶棒托板4的结晶支架41上,通过两组 连杆21与22、连杆23与24可带动晶棒托板4绕着托板固定座6下端的转轴10在垂直方 向旋转90度,而上述连杆则向内侧弯折,这时晶棒托板4由图1所示的水平位置旋转到与 托板固定座6 —致的竖直位置。并且,由于轴承座3通过轴承与转轴座1连接,而上述晶棒托板4、两组连杆21与 22、连杆23与24,和托板固定座6整体又与轴承座3相连接,所以晶棒托板4又可通过相连 接的轴承座3在转轴座1内转轴带动的作用下水平转动。以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行 业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述 的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会 有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。
权利要求可伸缩式晶棒托架,包括转轴座、连接在转轴座底部的制动器托架,与转轴座通过轴承连接的轴承座,其特征在于,它还包括两组竖向放置的连杆及连接在所述两组连杆之间水平放置的晶棒托板,连接在轴承座前壁的托板固定座;每组连杆由通过轴位螺钉活动连接的两节连杆构成;所述两组连杆的一端与所述轴承座侧部连接,另一端共同连接在所述晶棒托板的中部,所述晶棒托板靠内侧的一端通过销轴与所述托板固定座连接。
2.根据权利要求1所述的可伸缩式晶棒托架,其特征在于,所述晶棒托板的另一端设 置用于支撑晶棒的结晶支架。
3.根据权利要求1所述的可伸缩式晶棒托架,其特征在于,所述两组连杆位置对称地 设置在轴承座两侧,其一端连接在所述轴承座侧部的垫圈上,另一端通过轴位螺钉连接在 所述晶棒托板中部的垫圈上。
4.根据权利要求1所述的可伸缩式晶棒托架,其特征在于,所述轴承座底部设置可调 位锁定手柄。
5.根据权利要求1所述的可伸缩式晶棒托架,其特征在于,所述晶棒托板可绕着与托 板固定座相连接的销轴在垂直方向旋转90度;通过转轴及轴承座在水平方向旋转。
6.根据权利要求1所述的可伸缩式晶棒托架,其特征在于,所述转轴座与轴承座之间 还设置旋转限位,旋转限位的两侧最大角度位置设置传感器。
专利摘要本实用新型公开了一种可伸缩式晶棒托架,它包括转轴座、连接在转轴座底部的制动器托架,与转轴座通过轴承连接的轴承座,两组竖向放置的连杆及连接在所述两组连杆之间水平放置的晶棒托板,连接在轴承座前壁的托板固定座。所述两组连杆的一端通过轴位螺钉连接在晶棒托板的中部,另一端通过轴位螺钉连接在所述轴承座的侧部;所述晶棒托板靠内侧的一端通过转轴与所述托板固定座连接。本实用新型通过连杆可实现晶棒托板在垂直方向旋转90度,即实现晶棒托板打开与伸缩功能,同时还可通过转轴与轴承座能在水平方向旋转,本机构可以很好的避免和单晶炉主体的干涉,在不需要使用时可以将晶棒托板合拢,节约空间,操作方便。
文档编号C30B15/00GK201713599SQ20102023864
公开日2011年1月19日 申请日期2010年6月25日 优先权日2010年6月25日
发明者胜又大祐, 贺贤汉, 赖章田 申请人:上海汉虹精密机械有限公司;上海申和热磁电子有限公司
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