专利名称：可在槽内填充氮气的库特勒湿法刻蚀新型盖板的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种库特勒湿法刻蚀盖板，特别涉及可在槽内填充氮气的库特勒湿法刻蚀新型盖板。
背景技术：
在现有技术中，目前湿法刻蚀设备制造商有德国的SCHMID公司、德国的RENA公司、苏州KUTTLER公司等，其中KUTTLER湿刻蚀绝缘机相比同类设备具有产品外观好等优点，同时也存问题，比如1.刻蚀方阻上升值大缺点，2.气流不稳定缺点，3.外形不美观。原本KUTTLER湿刻蚀绝缘机的抽风系统管道有两个，无法将刻蚀槽里大部分的酸气给抽走，(如不抽走会对槽体里的片子表面腐蚀造成方块电阻上升值过大，影响电性能。)原本KUTTLER抽风不稳定，会对槽体里的片子造成过刻，影响电性能。
实用新型内容针对上述现有技术的不足之处，本实用新型提供可在槽内填充氮气的库特勒湿法刻蚀新型盖板，有效地解决了上述现有技术存在的问题。为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是:可在槽内填充氮气的库特勒湿法刻蚀新型盖板，包括蚀刻槽以及抽风管道，蚀刻槽内设有溶液，所述抽风管道为四根，并且相邻两抽风管道之间相互呈高低错位，各抽风管道的管道口处于同一水平面，还包括填充管道，填充管道设置在盖板上。作为优选:所述朝向溶液的管道口与溶液的液面距离为8cm ；作为优选，所述填充管道为数个，并且呈横向直线排列。与现有技术相比，该实用新型的有益效果:本实用新型将抽风管道增加到4个且错开的排布，降低抽风管道离液面的高度。抽风压强也降低在70左右。可以很好的降低方块电阻(在8以下)，且提高方块电阻的均匀性；如果4个抽风管道，还无法将槽体的酸气很好的排走，槽体里的酸气浓度过高，导致方块电阻上升值在8左右，本实用新型还在在槽盖上设有排填充氮气的填充管道，可以很好地降低方块电阻，在5左右。且方块电阻的均匀性得到很好控制。
图1为本实用新型结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。实施例:参见图1，可在槽内填充氮气的库特勒湿法刻蚀新型盖板，包括蚀刻槽I以及抽风管道2，蚀刻槽I内设有溶液，所述抽风管道2为四根，并且相邻两抽风管道2之间相互呈高低错位，各抽风管道2的管道口处于同一水平面，在本实施例中，所述朝向溶液的管道口与溶液的液面距离为8cm,还包括填充管道3，填充管道3设置在盖板上,在本实施例中，所述填充管道3为数个，并且呈横向直线排列。本实用新型可以减少湿刻方快电阻上升值，提高方阻均匀性；效率分档明显减少，高效片比例增加；由于方阻不均导致的效率波动明显改善；其它工艺条件不变的情况下效率提高；单片功率提升；单片效率提升。本实用新型在于加设了填充管道3，可排冲氮气，起到控制方块电阻均匀性的功能。
权利要求1.一种可在槽内填充氮气的库特勒湿法刻蚀新型盖板，包括蚀刻槽以及抽风管道，蚀刻槽内设有溶液，其特征在于:所述抽风管道为四根，并且相邻两抽风管道之间相互呈高低错位，各抽风管道的管道口处于同一水平面，还包括填充管道，填充管道设置在盖板上。
2.根据权利要求1所述的可在槽内填充氮气的库特勒湿法刻蚀新型盖板，其特征在于:所述朝向溶液的管道口与溶液的液面距离为8cm。
3.根据权利要求1所述的可在槽内填充氮气的库特勒湿法刻蚀新型盖板，其特征在于:所述填充管道为数个，并且呈横向直线排列。
专利摘要本实用新型公开了可在槽内填充氮气的库特勒湿法刻蚀新型盖板，包括蚀刻槽以及抽风管道,蚀刻槽内设有溶液，所述抽风管道为四根,并且相邻两抽风管道之间相互呈高低错位,各抽风管道的管道口处于同一水平面,还包括填充管道,填充管道设置在盖板上。比之单纯的四管道的库特勒湿法刻蚀新型盖板，本实用新型更具有控制方块电阻均匀性的功能。
文档编号C23F1/08GK202936482SQ20122066038
公开日2013年5月15日 申请日期2012年12月5日 优先权日2012年12月5日
发明者许成德, 陈冬维, 肖培玉, 闵祥波 申请人:江苏中宇光伏科技有限公司