真空镀膜机冷冻管装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了真空镀膜机冷冻管装置，它涉及真空镀膜机【技术领域】，真空室腔体的一侧安装有主阀腔体，主阀腔体内分别安装有冷冻线圈、闸阀，冷冻线圈与超级冷冻机连接，主阀腔体分别与初阀、主阀连接，主阀与扩散泵连接，扩散泵与前阀连接；它将冷冻线圈设计安装在主阀前面，有效彻底便捷的达到除霜目的，提高生产效率，除冰后不会污染扩散泵油，这样可以减少DP油的更换次数，节约成本，避免安全事故的发生。
【专利说明】真空镀膜机冷冻管装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及真空镀膜机冷冻管装置，属于真空镀膜机【技术领域】。
【背景技术】
[0002]在以往的传统设计中，如图1所示，图中:1_真空室腔体；2_主阀腔体；3-初阀；4-主阀；5_冷冻线圈；6_前阀；7_扩散泵；8_超级冷冻机；其中冷冻线圈5基本安装于主阀4下侧与DP上面之间的过度法兰处，利用主阀4密封，可省去一闸阀，缺点在于过长时间的生产，冷冻线圈上会结大量的冰块，从而导致抽速能力降低，然后这冰块却难以清除，人为提起主阀清除不安全，冷冻机回温清除会有部分冰块掉入扩散泵中，导致油污染。只有停机才能除冰，还要在DP冷却后才能人工清理，再要从新开始加热DP需要更长时间，效率低下。
【发明内容】
[0003]针对上述问题，本实用新型要解决的技术问题是提供真空镀膜机冷冻管装置。
[0004]本实用新型的真空镀膜机冷冻管装置，它包含真空室腔体、主阀腔体、初阀、主阀、冷冻线圈、前阀、扩散泵、超级冷冻机，它还包含闸阀，真空室腔体的一侧安装有主阀腔体，主阀腔体内分别安装有冷冻线圈、闸阀，冷冻线圈与超级冷冻机连接，主阀腔体分别与初阀、主阀连接，主阀与扩散泵连接，扩散泵与前阀连接。
[0005]本实用新型的有益效果:将冷冻线圈设计安装在主阀前面，有效彻底便捷的达到除霜目的，提高生产效率，除冰后不会污染扩散泵油，这样可以减少DP油的更换次数，节约成本,避免安全事故的发生。
【专利附图】
【附图说明】
[0006]为了易于说明，本实用新型由下述的具体实施及附图作以详细描述。
[0007]图1为【背景技术】的结构示意图；
[0008]图2为本实用新型的结构示意图。
[0009]1-真空室腔体；2_主阀腔体；3-初阀；4-主阀；5_冷冻线圈；6-前阀；7_扩散泵；8-超级冷冻机；9-闸阀。
【具体实施方式】
[0010]如图2所示，本【具体实施方式】采用以下技术方案:它包含真空室腔体1、主阀腔体
2、初阀3、主阀4、冷冻线圈5、前阀6、扩散泵7、超级冷冻机8，它还包含闸阀9，真空室腔体I的一侧安装有主阀腔体2，主阀腔体2内分别安装有冷冻线圈5、闸阀9，冷冻线圈5与超级冷冻机8连接，主阀腔体2分别与初阀3、主阀4连接，主阀4与扩散泵7连接，扩散泵7与前阀6连接。
[0011]本【具体实施方式】将冷冻线圈设计安装在主阀前面，其优点:空气中的湿气会被冷冻线圈凝固，提高抽高真空时效率，如在工作中冷冻线圈上大量冰块时无需停机、关机，可以在运行过程中回温，有效彻底便捷的达到除霜目的，提高生产效率，除冰后不会污染扩散泵油，这样可以减少DP油的更换次数，节约成本，因老实结果在人工除冰过程中会出现不安全因素，改进后无需人工进入扩散泵上端除冰，避免安全事故的发生。
[0012]以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。
【权利要求】
1.真空镀膜机冷冻管装置，它包含真空室腔体(I)、主阀腔体(2)、初阀(3)、主阀(4)、冷冻线圈(5)、前阀(6)、扩散泵(7)、超级冷冻机(8)，其特征在于:它还包含闸阀(9)，真空室腔体(I)的一侧安装有主阀腔体(2)，主阀腔体(2)内分别安装有冷冻线圈(5)、闸阀(9)，冷冻线圈(5)与超级冷冻机⑶连接，主阀腔体⑵分别与初阀(3)、主阀(4)连接，主阀⑷与扩散泵(7)连接，扩散泵(7)与前阀(6)连接。
【文档编号】C23C14/22GK203440438SQ201320531869
【公开日】2014年2月19日 申请日期:2013年8月29日 优先权日:2013年8月29日
【发明者】李龙哲, 夏伟, 刘强, 李星, 金虎 申请人:上海哈呐机电设备有限公司