一种掩模组件的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种掩模组件，包括掩模框和掩模板，掩模板固定于掩模框上，掩模板上设有由蒸镀孔阵列而成的掩模图案区域，其特征在于：蒸镀孔由多边形开口及设置在多边形开口边角处的补偿开口构成，补偿开口构成多边形开口的外延结构，掩模板为一体成型结构或由分立的掩模单元组成。本实用新型所提供的掩模组件，蒸镀孔由多边形开口及补偿开口组成，补偿开口的设置提高了蒸镀孔的开口率，从而提高掩模组件的质量。
【专利说明】—种掩模组件
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及OLED制造领域，尤其涉及一种蒸镀用的掩模组件。
【背景技术】
[0002]有机发光二极管(OLED)显示器，是自二十世纪末期以来取得广泛应用的一种平板显示器。OLED相对其它显示屏，具有厚度薄、重量轻、功耗小、响应快、可视范围宽、抗摔性能好、适用温度范围宽、自发光不需要背光灯等很多突出的优点，因此OLED逐渐成为未来20年成长最快的新型显示技术。
[0003]制造OLED显示器很重要的一道工序是将有机发光材料蒸镀到ITO半导体玻璃表面。蒸镀工序中，有机材料由蒸镀源蒸发通过掩模板的蒸镀孔附着到ITO半导体玻璃面上，掩模板蒸镀孔的精度决定蒸镀质量，蒸镀质量又直接决定OLED显示器质量，因此提高掩模板的蒸镀孔的精度至关重要。掩模板蒸镀孔宽度的尺寸为20?100 μ m，因为蒸镀孔尺寸很小，所以对蒸镀孔精度的要求非常高。
[0004]制作OLED显示器的有机层时用到的蒸镀用掩模组件，如图1所示，为掩模组件整体平面结构示意图，掩模组件包括掩模框14，掩模板10，掩模板10上设有由蒸镀孔排列而成的掩模图案区域11，12为将掩模板通过激光焊接固定于掩模框14上形成的焊点，图2所示为图1中13部分放大示意图,20为蒸镀孔，图2中21部分的放大示意图如图3所示，图3中预设的蒸镀孔是矩形结构，但由于制作过程中存在偏差，直角矩形蒸镀孔变成圆角矩形的蒸镀孔20，如图3中四个直角处由虚线表示的矩形为预设的直角矩形，实际制作的圆角矩形相对于预设的直角矩形蒸镀孔开口偏小，开口率不高，从而影响到掩模图案区域蒸镀孔的质量，直接导致OLED显示器的质量不高。鉴于此，业内亟需一种能够解决此问题的方案。
实用新型内容
[0005]有鉴于此，本实用新型提供一种掩模组件，目的在于提高掩模组件蒸镀孔的开口率，从而提闻OLED显不器的质量。
[0006]本实用新型提供了一种掩模组件，包括掩模框和掩模板，所述掩模板固定于所述掩模框上，所述掩模板上设有由蒸镀孔阵列而成的掩模图案区域，其特征在于:所述蒸镀孔由多边形开口及设置在所述多边形开口边角处的补偿开口构成，所述补偿开口构成所述多边形开口的外延结构，所述掩模板为一体成型结构或由分立的掩模单元组成。
[0007]进一步地，所述补偿开口为由一条弧线和两条线段围成的与所述多边形开口连通的外延结构，所述两条线段的一端分别与所述多边形开口相邻的两边连接，所述两条线段的另一端分别与所述弧线的两个端点连接。
[0008]进一步地，所述两条线段所在直线所成的夹角为0°?80°。
[0009]进一步地，所述两条线段中的任意一条线段所在的直线与其连接的所述多边形开口的相应边所在的直线呈0°?90°夹角。[0010]进一步地，所述补偿开口为由两条线段围成的与所述多边形开口连通的外延结构，所述两条线段的一端分别与所述多边形开口相邻的两边连接，所述两条线段的另一端相交于一点。
[0011]进一步地，所述两条线段所成的夹角为10°?80°，所述两条线段中的任意一条线段所在的直线与其连接的所述多边形开口的相应边所在的直线呈0°?90°夹角。
[0012]进一步地，所述补偿开口为由弧线围成的与所述多边形开口连通的外延结构，所述弧线的两个端点分别与所述多边形开口相邻的两边连接。
[0013]进一步地，所述掩模板通过电铸工艺制备或通过蚀刻工艺制备。
[0014]进一步地,所述蒸镀孔的宽度为20?80μηι。
[0015]进一步地，所述掩模板为镍基合金材质。
[0016]本实用新型的有益效果在于，掩模板上的蒸镀孔由多边形开口及设置在多边形开口边角处的补偿开口构成，补偿开口构成多边形开口的外延结构，蒸镀孔设置补偿开口提高了掩模组件上蒸镀孔的开口率，从而有效地提高OLED显示器的质量。
[0017]本实用新型附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
【专利附图】
【附图说明】
[0018]本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中:
[0019]图1所示为一种掩模组件的平面结构示意图；
[0020]图2所示为图1中13部分放大示意图；
[0021]图3所示为图2中21部分放大示意图；
[0022]图4所示为一种掩模组件的平面结构示意图；
[0023]图5所示为图4中41部分放大示意图；
[0024]图6?图13所示为几种蒸镀孔结构放大示意图；
[0025]其中，图1中，10为掩模板，11为掩模图案区域，12为焊点，13为待放大观测部分，14为掩模框；
[0026]图2中，20为蒸镀孔，21为待放大观测部分；
[0027]图4中，40为掩模单元，41为待放大观测部分；
[0028]图5中，50为蒸镀孔；
[0029]图6中，1、2为构成补偿开口的两条线段，3为构成补偿开口的弧线，Θ为线段2所在直线与其连接的多边形开口的相应边所在的直线的夹角，60为补偿开口，61为多边形开Π ；
[0030]图7中，α为线段I与线段2所在直线所成的夹角；
[0031]图9中，4、5为构成补偿开口的两条线段，L为蒸镀孔的宽度，Y为线段5所在直线与其连接的多边形开口的相应边所在直线的夹角，β为线段5与线段6所在直线所成的夹角；
[0032]图11中，6为构成补偿开口的弧线。【具体实施方式】
[0033]下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能解释为对本实用新型的限制。
[0034]根据本实用新型的实施例，如图1、图4~图13所示，提供一种掩模组件，包括掩模框14和掩模板10,掩模板10固定于掩模框14上,掩模板10上设有由蒸镀孔50阵列而成的掩模图案区域11，蒸镀孔50由多边形开口 61及设置在多边形开口 61边角处的补偿开口 60构成，补偿开口 60构成多边形开口 61的外延结构，掩模板10为一体成型结构(如图1所示)或由分立的掩模单元40组成(如图4所示)。
[0035]图1所示掩模板10为一体成型结构，图4所示掩模板10由分立的掩模单元40组成，如图1和图4所示，掩模板10或掩模单元40通过激光焊接固定于掩模框14，其中12为焊点。
[0036]下面详细描述本实用新型中掩模组件的蒸镀孔50的结构，参考图6~图13，为图1或图4所示掩模组件中掩模板10上蒸镀孔放大结构示意图。
[0037]根据本实用新型的一些实施例，如图5~图8、图12~图13所示，补偿开口 60为由一条弧线3和两条线段(线段I和线段2)围成的与多边形开口 61连通的外延结构，两条线段的一端分别与多边形开口 61相邻的两边连接，两条线段的另一端分别与弧线3的两个端点连接。
[0038]根据本实用新 型的一些实施例，如图6~图8、图12~图13所示，两条线段(线段I和线段2)所在直线所成的夹角α为0°~80°，如图6、图8所示α为0° (即线段I与线段2相互平行)，图7、图12~图13所示α大于0°小于等于80°。
[0039]根据本实用新型的一些实施例，如图图8、图12~图13所示，两条线段中的任意一条线段所在的直线与其连接的多边形开口的相应边所在的直线呈0°~90°夹角(如Θ夹角)，如图图7、图12~图13所示线段2所在直线与其连接的多边形开口 61的相应边所在直线的夹角Θ为大于0°小于90°，图8中所示线段2所在直线与其连接的多边形开口 61的相应边所在直线的夹角Θ为90°。
[0040]如图6~图8、图12~图13所示为蒸镀孔50的几种放大结构示意图。其中图4中41部分的一种放大示意图如5所示，图6所示为图5中蒸镀孔50放大结构示意图，图6中多边形开口 61为矩形开口，在矩形开口 61的边角处(边角处即矩形开口 61的四个直角处)设有补偿开口 60，线段I和线段2的一端分别与矩形开口 61相邻的两边连接，线段I和线段2的另一端分别与弧线3的两个端点连接。
[0041]α角和Θ角的值可以如图8所示θ=90° , α =0。；或如图6所示Θ大于20。小于70°，α=0° (例如θ=30°或45°或60° );或如图7所示Θ大于0°且小于45°，α大于20°且小于75° (例如θ=30°、α =60° )。
[0042]根据本实用新型的一些实施例，如图图10所示，补偿开口 60为由两条线段(SP线段4和线段5)围成的与多边形开口 61连通的外延结构，两条线段(线段4和线段5)的一端分别与多边形开口 61相邻的两边连接，两条线段(线段4和线段5)的另一端相交于一点。[0043]根据本实用新型的一些实施例，如图9-图10所示，两条线段(线段4和线段5)所成的夹角β范围为10°~80°，两条线段中的任意一条线段所在的直线与其连接的多边形开口 61的相应边所在的直线呈0°~90° (如Y角为0°~90° )。
[0044]如图扩图10所示，线段4与线段5所成的夹角β为10°~80°，线段5与其连接的多边形开口 61的相应边所在的直线的夹角Y为大于等于0°小于90°，图10中线段4与其连接的多边形开口 61的相应边所在直线的夹角为0° (即线段4与其连接的多边形开口 61的相应边在同一条直线上)
[0045]如图9中所示结构，Y的值可以为30°或60°或80°，β的值可以为60°或75。或 80。。
[0046]如图10中所示结构，Y的值可以为25°或50°或70°，β的值可以为60°或75。或 80。。
[0047]根据本实用新型的一些实施例，如图11所示，补偿开口 60为由弧线6围成的与多边形开口 61连通的外延结构，弧线6的两个端点分别与多边形开口 61相邻的两边连接。
[0048]上述所述线段I和线段2与所在的直线分别与其连接的多边形开口 61的相应边所在的直线的夹角不一定相等，同样线段4和线段5所在的直线分别与其连接的多边形开口 61的相应边所在的直线的夹角也不一定相等。
[0049]上述所述多边形开口 61为矩形开口(如图6~11所示)，或五边形开口(如图12所示)，或六边形开口(如图13所示)，多边形开口 61不限于矩形、五边形、六边形的开口结构。图6~13所示的多边形开口 61的相邻两边所成的夹角处(即上述所述的边角处)的虚线结构只是为了说明多边形开口 61的结构，实际上虚线不存在，即多边形开口 61与补偿开口 60为连通结构。
[0050]根据本实用新型的一些实施例，掩模板10通过电铸工艺制备或通过蚀刻工艺制备。
[0051]根据本实用新型的一些实施例，蒸镀孔50的宽度L为20~80 μ m，如图9所示。
[0052]根据本实用新型的一些实施例，掩模板10为镍基合金材质。
[0053]本实用新型的有益效果在于，掩模板10上的蒸镀孔50由多边形开口 61及设置在多边形开口边角处的补偿开口 60构成，补偿开口 60构成多边形开口 61的外延结构，蒸镀孔50设置了补偿开口 60后提高了掩模组件上蒸镀孔50的开口率，从而有效地提高OLED显示器的质量。
[0054]尽管参照本实用新型的多个示意性实施例对本实用新型的【具体实施方式】进行了详细的描述，但是必须理解，本领域技术人员可以设计出多种其他的改进和实施例，这些改进和实施例将落在本实用新型原理的精神和范围之内。具体而言，在前述公开、附图以及权利要求的范围之内，可以在零部件和/或者从属组合布局的布置方面作出合理的变型和改进，而不会脱离本实用新型的精神。除了零部件和/或布局方面的变型和改进，其范围由所附权利要求及其等同物限定。
【权利要求】
1.一种掩模组件，包括掩模框和掩模板，所述掩模板固定于所述掩模框上，所述掩模板上设有由蒸镀孔阵列而成的掩模图案区域，其特征在于:所述蒸镀孔由多边形开口及设置在所述多边形开口边角处的补偿开口构成，所述补偿开口构成所述多边形开口的外延结构，所述掩模板为一体成型结构或由分立的掩模单元组成。
2.根据权利要求1所述的掩模组件，其特征在于，所述补偿开口为由一条弧线和两条线段围成的与所述多边形开口连通的外延结构，所述两条线段的一端分别与所述多边形开口相邻的两边连接，所述两条线段的另一端分别与所述弧线的两个端点连接。
3.根据权利要求2所述的掩模组件，其特征在于，所述两条线段所在直线所成的夹角为O。?80°。
4.根据权利要求3所述的掩模组件，其特征在于，所述两条线段中的任意一条线段所在的直线与其连接的所述多边形开口的相应边所在的直线呈0°?90°夹角。
5.根据权利要求1所述的掩模组件，其特征在于，所述补偿开口为由两条线段围成的与所述多边形开口连通的外延结构，所述两条线段的一端分别与所述多边形开口相邻的两边连接，所述两条线段的另一端相交于一点。
6.根据权利要求5所述的掩模组件，其特征在于，所述两条线段所成的夹角为10°?80°，所述两条线段中的任意一条线段所在的直线与其连接的所述多边形开口的相应边所在的直线呈0°?90°夹角。
7.根据权利要求1所述的掩模组件，其特征在于，所述补偿开口为由弧线围成的与所述多边形开口连通的外延结构，所述弧线的两个端点分别与所述多边形开口相邻的两边连接。
8.根据权利要求1所述的掩模组件，其特征在于，所述掩模板通过电铸工艺制备或通过蚀刻工艺制备。
9.根据权利要求1所述的掩模组件，其特征在于，所述蒸镀孔的宽度为20?80μπι。
10.根据权利要求1所述的掩模组件，其特征在于，所述掩模板为镍基合金材质。
【文档编号】C23C14/04GK203728917SQ201320842785
【公开日】2014年7月23日 申请日期:2013年12月20日 优先权日:2013年12月20日
【发明者】魏志凌, 高小平, 魏志浩, 莫松亭, 刘学明 申请人:昆山允升吉光电科技有限公司