一种聚对二甲苯有机靶的制备方法
【专利摘要】本发明涉及镀膜工艺【技术领域】，尤其是涉及一种聚对二甲苯有机靶的制备方法，该制备方法采用真空气相沉积，通过在真空条件下,将粉体聚对二甲苯粉升华，沉积在低温靶座上，获得聚对二甲苯有机靶，本发明制备的聚对二甲苯有机靶，表面致密光滑，密度达到聚对二甲苯的理论密度，含氧量小于0.05%，孔隙率小于0.5%，材料吸附率低，因此在150℃升华时，靶材中的氧及水份的影响极小，用于镀膜生产，生产品质稳定，并且一次更换靶材可以使用1个月左右时间，无需频繁换靶，节约镀膜周期；工艺简单，投资成本低，节能、环保。
【专利说明】一种聚对二甲苯有机靶的制备方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及镀膜工艺【技术领域】，尤其是涉及镀膜使用的靶材制作。
【背景技术】
[0002] 聚对二甲苯膜具有极其优良的电性能、耐热性、耐候性和化学稳定性，主要用于电 子元器件的电绝缘介质、保护性涂料和包封材料等。目前的真空沉积防水膜装置，一般是采 用化学气相沉积聚对二甲苯膜。其制作过程如下：首先，将粉末状的聚对二甲苯置于蒸发 室中，并加热到150°C，使粉末状的聚对二甲苯汽化；然后，将聚对二甲苯气体传送至裂解 室，并加热到650°C以进行裂解；之后，将聚对二甲苯单体传送沉积室，并沉积在基板上。上 述工艺使用的是粉体聚对二甲苯粉，利用加热电阻丝加热粉体，然而粉体的聚对二甲苯松 散不致密，占用空间较大，因此一次药剂的装载量较少，这导致镀一炉产品就要添加一次粉 体，并且需要对加药室由150°C降到室温，加药完后，重新再升到150°C，操作过于频繁，反 复升降温，严重影响镀膜周期。
[0003] 此外，聚对二甲苯粉体易吸水气及空气，不易保存，当高温加热升华时，就会导致 聚对二甲苯氧化，裂解不彻底，从而影响镀膜质量，甚至会导致产品防水失效。因而，目前粉 体聚对二甲苯很难加工成型制成块状靶材，也没有有关聚对二甲苯有机靶制备方法。
[0004] 在此背景下，本 申请人:迎合市场发展的需求及新材料的应用，秉持着研究创新、精 益求精之精神，利用其专业眼光和专业知识，研究出一种适宜产业利用的聚对二甲苯有机 靶的制备方法。
【发明内容】
[0005] 本发明的目的在于提供一种工艺简单，操作简便，聚对二甲苯有机靶的制备方法， 可制备出致密无孔的有机靶材。
[0006] 为达到上述目的，本发明采用如下技术方案： 一种聚对二甲苯有机靶的制备方法，该制备方法采用真空气相沉积，通过在真空条件 下，将粉体聚对二甲苯粉升华，沉积在低温靶座上，获得聚对二甲苯有机靶，具体步骤如 下： 步聚1)、将聚对二甲苯粉称重并加入真空炉中的加热槽里； 步骤2)、将加工好的靶座安装在真空炉中； 步骤3)、将真空炉抽真空到达ITorr，进行真空等离子清洗，将靶座表面的水汽及氧去 除，并产生一定粗化效果，增加靶座表面的结合力； 步骤4)、将真空炉抽真空到达0. ITorr，然后通入lOsccm的氩气保护，真空炉升温至 150摄氏度，将粉体聚对二甲苯粉升华，同时将靶座通过水冷控制在35摄氏度以内，以便升 华的聚对二甲苯沉积在靶座上，真空沉积时间40小时，制备出聚对二甲苯有机靶。
[0007] 上述方案中，所述步骤3)的真空等离子清洗是通入500sccm的氦气，偏压1000V， 时间lOmin。
【权利要求】
1. 一种聚对二甲苯有机靶的制备方法，其特征在于：该制备方法采用真空气相沉积， 通过在真空条件下，将粉体聚对二甲苯粉升华，沉积在低温靶座上，获得聚对二甲苯有机 靶，具体步骤如下： 步聚1)、将聚对二甲苯粉称重并加入真空炉中的加热槽里； 步骤2)、将加工好的靶座安装在真空炉中； 步骤3)、将真空炉抽真空到达ITorr，进行真空等离子清洗，将靶座表面的水汽及氧去 除，并产生一定粗化效果，增加靶座表面的结合力； 步骤4)、将真空炉抽真空到达0. ITorr，然后通入lOsccm的氩气保护，真空炉升温至 150摄氏度，将粉体聚对二甲苯粉升华，同时将靶座通过水冷控制在35摄氏度以内，以便升 华的聚对二甲苯沉积在靶座上，真空沉积时间40小时，制备出聚对二甲苯有机靶。
2. 根据权利要求1所述的一种聚对二甲苯有机靶的制备方法，其特征在于：所述步骤 3)的真空等离子清洗是通入500sccm的氦气，偏压1000V，时间lOmin。
3. 根据权利要求1所述的一种聚对二甲苯有机靶的制备方法，其特征在于：所述聚对 二甲苯粉包括N型、C型、D型及HT型。
4. 根据权利要求1所述的一种聚对二甲苯有机靶的制备方法，其特征在于：所述靶座 为不锈钢材质制成，所得的聚对二甲苯有机靶的形状是矩形、圆形或棒形。
【文档编号】C23C16/448GK104087911SQ201410289903
【公开日】2014年10月8日 申请日期:2014年6月26日 优先权日:2014年6月26日
【发明者】吴子豹 申请人:广东易能纳米科技有限公司