过滤装置及金属有机化学气相沉积设备的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供一种过滤装置及金属有机化学气相沉积设备，该过滤装置包括：N个过滤器组，各过滤器组包括M个过滤器与一个开关，各过滤器组并联连接，其中，N≥2，M≥1，且N、M为整数。由于各过滤器组具有一开关且各过滤器组相互并联，使得各过滤器组相互独立，实际使用过程中，可通过开关的开启与关闭对过滤器组的工作状态进行控制，无需对整个过滤装置进行替换，而是仅通过简单的开关打开与闭合即可实现过滤器的切换，从而节约时间，降低过滤装置的更换频率，实现提高MOCVD设备生产效率、降低LED造价成本的目的。
【专利说明】过滤装置及金属有机化学气相沉积设备
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体制造业中的过滤技术，尤其涉及一种过滤装置及金属有机化学气相沉积设备。
【背景技术】
[0002]目前,半导体技术中生产发光二极管(Light-emitting diode,LED)的设备主要是金属有机化学气相沉积(Metal-organic Chemical Vapor Deposition,MOCVD)设备,MOCVD设备一般由德国爱思强(AIXTR0N)、美国维易科(VEECO)等国际厂商提供。
[0003]为避免废弃物对真空设备的损坏并维持反应腔压力的稳定，需在MOCVD设备中设置过滤装置，由过滤装置对反应腔中产生的固体废弃物进行过滤，避免固体废弃物到达真空泵，对真空泵造成损坏从而影响反应腔压力。
[0004]然而，过滤装置具有一定的生命周期，到达生命周期后需要更换，每次更换需要大量的时间，使得MOCVD设备生成效率低、LED造价成本高。
实用新型内容
[0005]本实用新型提供一种过滤装置及金属有机化学气相沉积设备，通过降低过滤装置的更换频率，实现提高MOCVD设备生产效率、降低LED造价成本的目的。
[0006]第一个方面，本实用新型提供一种过滤装置，包括:
[0007]N个过滤器组，各所述过滤器组包括M个过滤器与一个开关，各所述过滤器组并联连接，其中，N≥2，M≥1，且N、M为整数。
[0008]在第一个方面的第一种可能的实现方式中，当M=I时，各所述过滤器组中的过滤器与所述开关串联连接。
[0009]在第一个方面的第二种可能的实现方式中，当M > 2时，各所述过滤器组中的各过滤器串联连接，所述开关与串联连接的各所述过滤器串联连接；或者，
[0010]当M >2时，各所述过滤器组中的各过滤器并联连接，所述开关与并联连接的各所述过滤器串联连接。
[0011]结合第一个方面、第一个方面的第一种或二种可能的实现方式，在第一个方面的第三种可能的实现方式中，所述N=4，所述M=I。
[0012]第二个方面，本实用新型实施例提供一种金属有机化学气相沉积设备，其包括如上第一个方面、第一个方面的第一种、第二种或第三种所述的过滤装置。
[0013]本实用新型提供的过滤装置及金属有机化学气相沉积设备，各过滤器组具有一开关且各过滤器组相互并联，使得各过滤器组相互独立，实际使用过程中，可通过开关的开启与关闭对过滤器组的工作状态进行控制，无需对整个过滤装置进行替换，而是仅通过简单的开关打开与闭合即可实现过滤器的切换，从而节约时间，降低过滤装置的更换频率，实现提高MOCVD设备生产效率、降低LED造价成本的目的。【专利附图】
【附图说明】
[0014]图1为本实用新型提供的一个过滤装置的结构示意图；
[0015]图2为本实用新型提供的再一个过滤装置的结构示意图；
[0016]图3为本实用新型提供的又一个过滤装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0017]为了更清楚的说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中多需要使用的附图作简单的介绍，显而易见的，下面描写的附图仅是本实用新型的一些实例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1为本实用新型提供的一个过滤装置的结构示意图。如图1所示，本实施例提供的过滤装置包括N组过滤器，即N个过滤器组，第一过滤器组中包括串联连接的一个开关与一个过滤器，第二过滤器组中包括串联连接的一个开关与一个过滤器，第N过滤器组中包括串联连接的一个开关与M个过滤器，其中，M个过滤器相互并联连接。
[0019]请参照图1，由于各个过滤器组并联连接，各过滤器组相互独立。因此，可通过开关的打开与闭合控制各过滤器组的工作状态。例如，打开第一过滤器组的开关，而闭合其他过滤器组的开关，此时，第一过滤器组工作，其他过滤器组处于备份状态，当第一过滤器组堵塞后，可切换到第二过滤器组或其他过滤器组。在实际应用中，可根据需求设置每个过滤器组中过滤器的数量和每次处于工作状态的过滤器组的数量，例如，每次使用两个过滤器，其余的过滤器组的开关保持闭合状态，从而与主管道隔离。当需要更换过滤器时将未使用过的过滤器组开关打开，使其与主管道导通；将使用过的过滤器组开关关闭，使其与主管道隔离。如此一来，无需对整个过滤装置进行替换，而是仅通过简单的开关打开与闭合即可实现过滤器的切换，从而节约时间，降低过滤装置的更换频率，实现提高MOCVD设备生产效率、降低LED造价成本的目的。
[0020]举例来说，上述图1实施例中，第一过滤器组中的串联连接的过滤器也可以是多个，同理，第二过滤器组中的过滤器的数量也可以为多个。另外，第N过滤器组中的M个过滤器，也可以部分串联后再与其他过滤器并联连接，具体的，可参见图2。
[0021]图2为本实用新型提供的再一个过滤装置的结构示意图。本实施例与上述图1实施例的差异之处在于:本实施例中，第N过滤器组中的M个过滤器，假设以M=3为例，其中两个过滤器串联连接后与第三个过滤器并联。
[0022]本实用新型实施例提供的过滤装置，各过滤器组具有一开关且各过滤器组相互并联，使得各过滤器组相互独立，实际使用过程中，可通过开关的开启与关闭对过滤器组的工作状态进行控制，无需对整个过滤装置进行替换，而是仅通过简单的开关打开与闭合即可实现过滤器的切换，从而节约时间，降低过滤装置的更换频率，实现提高MOCVD设备生产效率、降低LED造价成本的目的。
[0023]图3为本实用新型提供的又一个过滤装置的结构示意图。如图3所示，作为本实用新型的优选方案，本实施例提供的过滤装置包括四个过滤器组，各过滤器组包括一个开关与一个过滤器。在实际的使用过程中，可以将其中的第一过滤器组与第二过滤器组的开关开启，将第三过滤器组与第四过滤器组的开关闭合，即将第三过滤器组与第四过滤器组作为备用过滤器组。当第一过滤器组与第二过滤器组发生故障，如堵塞后，可开启第三过滤器组与第四过滤器组的开关。该过程中，无需对过滤装置进行更换，节约时间从而实现提高MOCVD设备生产效率、降低LED造价成本的目的。
[0024]另外，在上述过滤装置的基础上，本实用新型还提供一种MOCVD设备，其包括如上述图1?图3任一所示的过滤装置，具体实现过程此处不再赘述。
[0025]最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。
【权利要求】
1.一种过滤装置，其特征在于，包括: N个过滤器组，各所述过滤器组包括M个过滤器与一个开关，各所述过滤器组并联连接，其中，N≥2，M≥1，且N、M为整数。
2.根据权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，当M=I时，各所述过滤器组中的过滤器与所述开关串联连接。
3.根据权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，当M≥ 2时，各所述过滤器组中的各过滤器串联连接，所述开关与串联连接的各所述过滤器串联连接；或者， 当M ≥ 2时，各所述过滤器组中的各过滤器并联连接，所述开关与并联连接的各所述过滤器串联连接。
4.根据权利要求1~3任一项所述的过滤装置，其特征在于，所述N=4，所述M=I。
5.一种金属有机化学气相沉积设备，其特征在于，包括如权利要求1~4任一项所述的过滤装置。
【文档编号】C23C16/44GK203668511SQ201420014401
【公开日】2014年6月25日 申请日期:2014年1月9日 优先权日:2014年1月9日
【发明者】焦建军, 郑远志, 周德保, 杨东, 陈向东, 康建, 梁旭东 申请人:圆融光电科技有限公司