一种用于大尺寸坩埚加热喷涂的烘箱结构的制作方法

文档序号:3330874阅读:216来源:国知局
一种用于大尺寸坩埚加热喷涂的烘箱结构的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种用于大尺寸坩埚加热喷涂的烘箱结构,通过可折叠下侧加热板上下搬运坩埚,大大提高上下搬运坩埚时的安全系数,有效防止坩埚发生隐裂,同时降低工人工作量,提高生产效率,降低生产成本。
【专利说明】一种用于大尺寸坩埚加热喷涂的烘箱结构

【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种烘箱装置,具体涉及一种用于大尺寸坩埚加热可旋转的烘箱结构。

【背景技术】
[0002]晶体硅作为一种能利用太阳能发电的材料,在再生能源紧缺的时代越来越被广泛应用,太阳能光伏早期都采用单晶硅,但单晶硅成本较高,生产效率低下,故用多晶硅替代,多晶硅其成本低,产能高,衰减低等优势,具有较高的性价比和竞争优势,目前来说,太阳能光伏领域,多晶硅铸锭技术已经发展成为一种主流技术。
[0003]多晶硅铸锭炉是通过电阻加热,将配比好的多晶硅装入喷涂有氮化硅涂层的石英坩埚内,升温熔化,再从底部开始冷却,形成垂直温度梯度,利用定向凝固的方式得到多晶硅锭。石英坩埚作为硅料熔化的容器,不能有杂志惨进,坩埚和硅液直接接触会发生化学反应,产生裂锭,故必须在坩埚内壁上涂刷高纯度的氮化硅涂层,加热喷涂和滚涂是涂刷坩埚涂层的两种工艺方法,其中滚涂技术工艺简单,涂层不均匀,时间长,氮化硅使用量大,成本高,目前多采用热喷涂技术,即在坩埚旋转烘箱上进行加热喷涂氮化硅涂层。
[0004]随着坩埚尺寸的增大,坩埚的质量也随之增加,目前G7坩埚质量为160kg_200kg,在加热旋转烘箱上下坩埚时因结构及空间局限,需两人上下搬移坩埚进行操作,人工上下搬移坩埚时容易出现滑落现象,导致坩埚碰撞受损,易产生隐裂,导致铸锭过程中发生硅液溢流现象,影响铸锭工序的生产安全,降低劳动生产效率,提高生产成本。
[0005]故,需要一种新的技术方案以解决上述问题。
实用新型内容
[0006]实用新型目的:针对上述现有技术存在的问题和不足,本实用新型的目的是提供一种用于大尺寸坩埚加热喷涂的烘箱结构,有效提高坩埚上下搬移的安全系数。
[0007]技术方案:为实现上述实用新型目的,本实用新型采用的技术方案为一种用于大尺寸坩埚加热喷涂的烘箱装置,包括支撑底座、加热装置和安装于支撑底座I上的传动装置,所述传动装置与加热装置相连;所述加热装置包括下侧加热板、左侧加热板、右侧加热板和上侧加热板,四个侧加热板两端均通过锁紧装置与相邻侧加热板锁紧,所述下侧加热板包括中间固定加热板和两端折叠加热板,所述折叠加热板通过铰链与固定加热板相连,并围绕固定加热板进行旋转折叠。
[0008]作为本实用新型进一步的优化,所述加热装置还包括前、后固定底面加热板。
[0009]作为本实用新型的进一步优化,所述左侧加热板和右侧加热板采用手动打开关闭结构。
[0010]作为本实用新型的进一步优化,所述上侧加热板与气动打开装置相连,所述气动打开装置的另一端固定在前固定底面加热板上。
[0011]作为本实用新型的进一步优化,所述下侧加热板、左侧加热板、右侧加热板、上侧加热板和前、后固定底面加热板形成的加热腔室内设有7个独立测温探头。
[0012]作为本实用新型的进一步优化,所述折叠加热板的旋转折叠角度为0-180°
[0013]有益效果:本实用新型与现有技术相比,其优点为:本实用新型通过可折叠下侧加热板上下搬运坩埚,大大提高上下搬运坩埚时的安全系数,有效防止坩埚碰撞发生隐裂,同时降低工人工作量,提高生产效率,降低生产成本,本实用新型采用七个独立测温系统,整个喷涂过程中,本实用新型所喷涂的坩埚涂层均匀,无粘锅现象。

【专利附图】

【附图说明】
[0014]图1为本实用新型的结构示意图;
[0015]图2为本实用新型的加热装置的结构示意图。

【具体实施方式】
[0016]下面结合附图,进一步阐明本实用新型,应理解这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围,在阅读了本实用新型之后,本领域技术人员对本实用新型的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。
[0017]如图1所示,本实用新型用于对大尺寸坩埚进行加热,包括支撑底座1、加热装置2和安装于支撑底座I上的传动装置3,传动装置3与加热装置2相连。
[0018]如图2所示,所述加热装置2包括前、后固定底面加热板6、下侧加热板、左侧加热板11、右侧加热板7和上侧加热板10,下侧加热板分为三段包括中间固定加热板8和两端折叠加热板9,两者之间分别用铰链12连接,左侧加热板11和右侧加热板7采用手动打开关闭结构,上侧加热板10与气动打开装置4相连,所述四个侧面加热板的两端均设有锁紧装置5,用于旋转烘箱时保护坩埚安全。
[0019]搬运坩埚时,下侧固定加热板8与水平方向夹角呈0°,打开右侧加热板7、上侧加热板10、左侧加热板11和下侧折叠加热板9,把坩埚侧放在堆高车货叉上,移动堆高车,货叉进入旋转烘箱,把坩埚放置于下固定加热板8上,同时关闭右侧加热板7、上侧加热板10、左侧加热板11和下侧折叠加热板9,用锁紧装置5锁紧相邻侧加热板,保证坩埚安全。坩埚放置安全后,打开加热电源进行加热,加热腔室内的七个独立测温系统的温度达到设定温度即可对坩埚进行喷涂。
[0020]整个喷涂过程中,本实用新型和普通旋转烘箱的加热温度相同,本实用新型所喷涂的坩埚涂层均匀,无粘锅现象,节约上下搬运坩埚时间,提升上下搬运坩埚的安全系数。
【权利要求】
1.一种用于大尺寸坩埚加热喷涂的烘箱结构,其特征在于:包括支撑底座(I)、加热装置(2)和安装于支撑底座I上的传动装置(3),所述传动装置(3)与加热装置(2)相连;所述加热装置(2)包括下侧加热板、左侧加热板(11)、右侧加热板(7)和上侧加热板(10),四个侧加热板两端均通过锁紧装置(5)与相邻侧加热板锁紧,所述下侧加热板包括中间固定加热板(8 )和两端折叠加热板(9 ),所述折叠加热板(9 )通过铰链(12 )与固定加热板(8 )相连,并围绕固定加热板(8)进行旋转折叠。
2.根据权利要求1所述的一种用于大尺寸坩埚加热喷涂的烘箱结构,其特征在于:所述加热装置(2)还包括前、后固定底面加热板(6)。
3.根据权利要求1所述的一种用于大尺寸坩埚加热喷涂的烘箱结构,其特征在于:所述左侧加热板(11)和右侧加热板(7)采用手动打开关闭结构。
4.根据权利要求1所述的一种用于大尺寸坩埚加热喷涂的烘箱结构,其特征在于:所述上侧加热板(10)与气动打开装置(4)相连,所述气动打开装置(4)的另一端固定在前固定底面加热板上。
5.根据权利要求1所述的一种用于大尺寸坩埚加热喷涂的烘箱结构,其特征在于:所述下侧加热板、左侧加热板(11)、右侧加热板(7)、上侧加热板(10)和前、后固定底面加热板(6)形成的加热腔室内设有7个独立测温探头。
6.根据权利要求1所述的一种用于大尺寸坩埚加热喷涂的烘箱结构,其特征在于:所述折叠加热板(9)的旋转折叠角度为0-180°。
【文档编号】C23C4/12GK203834002SQ201420262837
【公开日】2014年9月17日 申请日期:2014年5月22日 优先权日:2014年5月22日
【发明者】朱松涛, 冯立学, 孙海知, 赵亮, 罗英明 申请人:泗阳瑞泰光伏材料有限公司
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