一种oled线性蒸发源装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种OLED线性蒸发源装置，包括：蒸发源，用于容置蒸镀材料，所述蒸发源具有一正对基板的第一表面；复数个主喷嘴，沿一第一方向设置于所述蒸发源的所述第一表面上；且，所述蒸发源沿一第二方向移动进行蒸镀；沿所述蒸发源的垂直于所述第一方向的第二方向上，所述主喷嘴的两侧进一步分别设有至少一个补偿喷嘴。本发明通过在主喷嘴的两侧设置补偿喷嘴，可以将由补偿喷嘴喷出的球状的材料顶端材料量较多的区域补偿到由主喷嘴喷出的材料量较少的区域，从而使材料从喷嘴喷出后膜层是均匀的，这样，当有机材料掺杂时，每种材料蒸镀在基板上的膜层图形可以更好的相匹配，改善了掺杂效果，进而改善器件效果。
【专利说明】
【技术领域】
[0001] 本发明关于一种线性蒸发源装置，尤其是指一种能够保证0LED膜层均一性的线 性蒸发源装置。 一种OLED线性蒸发源装置
【背景技术】
[0002] 真空蒸镀法是在真空条件下，把用于蒸镀的金属元素蒸发并沉积到基板表面，从 而形成薄膜；该种方法按照蒸发热源的不同，可以分为点源蒸发和线源蒸发。点源蒸发即为 利用热源使每种元素蒸发并分别沉积到基板之上，且其中的每种元素只有单一蒸发口；线 源蒸发则是使用包含多个蒸发口的线性容器，同一时间将蒸镀材料从多个蒸发口蒸发出来 并沉积到基板上，相较之下线源蒸发具有较高的材料利用率，并可减少源与基板之间的距 离，缩小设备尺寸。
[0003] 参见图1所示，现有的线性蒸发源装置包括用于容置蒸镀材料的蒸发源90,以及 沿蒸发源90的长度方向（图中所示为a方向）设置于蒸发源90上的多个喷嘴91，材料在 蒸发源90中进行蒸发，再由喷嘴91喷出沉积到基板92上。蒸镀时，蒸发源90沿其宽度方 向移动（图中所示为b方向）。通过对多个喷嘴91在蒸发源90长度方向上的位置进行调 整，蒸镀在基板92上的膜层在蒸发源90的长度方向上可以保证膜层的均一性。
[0004] 但是参看图2所示，在微观下观察，在喷嘴91的蒸镀范围内，材料从喷嘴91喷出 时会呈现一个球形蒸汽球93,由图中可以看出，该球形蒸汽球93球形的顶端材料量最多膜 层最厚，越往外围材料越少膜层越薄。所以参见图3所示，为蒸镀后材料在基板92上沿蒸 发源90宽度方向上的膜层厚度示意图，图中X方向代表蒸发源90宽度方向上的位置，y方 向代表膜层的厚度，由于沿蒸发源90宽度方向上只有一个喷嘴91，所以会产生波峰现象。 虽然蒸发源90移动时可以改善膜层厚度不均的问题，但是当需要用到两种以上的材料掺 杂蒸镀时，由于波峰现象的存在，很难使每种材料的波峰位置重叠或是波型匹配，将会大大 影响有机材料掺杂的效果，进而影响器件效果。
[0005] 因此，需要对现有的线性蒸发源装置提出新的改进。
【发明内容】
[0006] 有鉴于上述问题，本发明的目的在于提供一种0LED线性蒸发源装置，包括：
[0007] 蒸发源，用于容置蒸镀材料，所述蒸发源具有一正对基板的第一表面；
[0008] 复数个主喷嘴，沿一第一方向设置于所述蒸发源的所述第一表面上；
[0009] 且，所述蒸发源沿垂直于所述第一方向的一第二方向移动进行蒸镀；
[0010] 沿所述蒸发源的第二方向上，所述主喷嘴的两侧进一步分别设有至少一个补偿喷 嘴。
[0011] 本发明的进一步改进在于，所述补偿喷嘴的喷嘴大小小于所述主喷嘴的喷嘴大 小。
[0012] 本发明的进一步改进在于，沿所述蒸发源的第二方向上，所述主喷嘴的两侧分别 设有一个所述补偿喷嘴。
[0013] 本发明的进一步改进在于，所述补偿喷嘴与所述蒸发源的第一表面之间夹设形成 一倾斜角。
[0014] 本发明通过在主喷嘴的两侧设置补偿喷嘴，可以将由补偿喷嘴喷出的球状的材料 顶端材料量较多的区域补偿到由主喷嘴喷出的材料量较少的区域，从而使材料从喷嘴喷出 后膜层是均匀的，这样，当有机材料掺杂时，每种材料蒸镀在基板上的膜层图形可以更好的 相匹配，改善了掺杂效果，进而改善器件效果。
【专利附图】
【附图说明】
[0015] 图1是现有的线性蒸发源装置的立体示意图。
[0016] 图2是蒸镀材料由现有的线性蒸发源装置的喷嘴喷出的侧视图。
[0017] 图3是利用现有的线性蒸发源装置蒸镀后材料在基板上沿蒸发源宽度方向上的 膜层厚度示意图。
[0018] 图4是本发明的0LED线性蒸发源装置的立体示意图 [0019] 图5是本发明的0LED线性蒸发源装置侧视图。
[0020] 图6是利用本发明的0LED线性蒸发源装置蒸镀后材料在基板上沿蒸发源宽度方 向上的膜层厚度示意图。
[0021] 图7是本发明的0LED线性蒸发源装置的一种实施例的侧视图。
【具体实施方式】
[0022] 为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对 本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不 用于限定本发明。
[0023] 本发明的0LED线性蒸发源装置，包括：
[0024] 蒸发源10,用于容置蒸镀材料，所述蒸发源10具有一正对基板20的第一表面 101 ；
[0025] 复数个主喷嘴30,沿一第一方向（图中所示为a方向）设置于所述蒸发源10的第 一表面101上；
[0026] 且，所述蒸发源10沿垂直于所述第一方向的一第二方向（图中所示为b方向）移 动进行蒸镀；
[0027] 沿所述蒸发源10的第二方向上，所述主喷嘴30的两侧进一步分别设有至少一个 补偿喷嘴40,且所述补偿喷嘴40的喷嘴大小小于所述主喷嘴30的喷嘴大小。在图4、图5 所示的实施例中，优选的，所述主喷嘴30的两侧分别设有一个补偿喷嘴40。
[0028] 配合参看图6所示，图中X方向代表蒸发源10第二方向上的位置，y方向代表膜 层的厚度，白色的点代表经过补偿后膜层的厚度，本发明通过在主喷嘴30的两侧设置补偿 喷嘴40,可以将由补偿喷嘴40喷出的球状的材料顶端材料量较多的区域补偿到由主喷嘴 30喷出的材料量较少的区域，从而使材料从喷嘴喷出后膜层是均匀的，这样，当有机材料掺 杂时，每种材料蒸镀在基板上的膜层图形可以更好的相匹配，改善了掺杂效果，进而改善器 件效果。
[0029] 配合参看7所示，优选的，所述补偿喷嘴40可以设置成与所述蒸发源10的第一表 面101之间夹设形成一倾斜角Θ，优选的，所述倾斜角Θ为60°，这样可以更加准确并且 有指向性的对材料量较少的区域进行补偿，使补偿效果更佳。
[0030] 以上所述仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明做任何形式上的限制，虽 然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人 员，在不脱离本发明技术方案的范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修 饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实 质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围 内。
【权利要求】
1. 一种OLED线性蒸发源装置，包括： 蒸发源，用于容置蒸镀材料，所述蒸发源具有一正对基板的第一表面； 复数个主喷嘴，沿一第一方向设置于所述蒸发源的所述第一表面上； 且，所述蒸发源沿垂直于所述第一方向的一第二方向移动进行蒸镀； 其特征在于： 沿所述蒸发源的第二方向上，所述主喷嘴的两侧进一步分别设有至少一个补偿喷嘴。
2. 如权利要求1所述的0LED线性蒸发源装置，其特征在于所述补偿喷嘴的喷嘴大小小 于所述主喷嘴的喷嘴大小。
3. 如权利要求1所述的0LED线性蒸发源装置，其特征在于沿所述蒸发源的第二方向 上，所述主喷嘴的两侧分别设有一个所述补偿喷嘴。
4. 如权利要求1-3中任一项所述的0LED线性蒸发源装置，其特征在于所述补偿喷嘴与 所述蒸发源的第一表面之间夹设形成一倾斜角。
【文档编号】C23C14/24GK203904446SQ201420316433
【公开日】2014年10月29日 申请日期:2014年6月13日 优先权日:2014年6月13日
【发明者】黄俊允 申请人:上海和辉光电有限公司