技术总结
一种原子层沉积设备，现有的原子层沉积设备喷淋结构复杂，不利于维护及不利于降低设备成本的问题，本发明提供一种原子层沉积设备，包括反应腔室、喷淋装置、加热盘，所述加热盘包括加热盘盘面，直柄、加热盘基座；该设备还包括侧壁的进气管路、限流衬套、真空管路及机械泵。本发明通过侧壁进气管路的引入极大的简化了喷淋装置的复杂结构，并可以提高设备的通用性和可维护性。
技术研发人员：初春;齐平;高超
受保护的技术使用者：沈阳拓荆科技有限公司
技术研发日：2015.09.18
技术公布日：2019.02.01