一种在线抛光微细工具的装置的制作方法

文档序号:12161874阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种在线抛光微细工具的装置,其特征在于,所述装置包括微细电加工机床和在线抛光加工工作液槽,所述微细电加工机床包括机床本体、主轴系统、微三维运动工作台和微细电加工装置;所述工作液槽的底部设置有超声振动系统,所述工作液槽内相对设置有块电极和电泳辅助电极,所述工作液槽内分布有超微磨粒,所述装置还包括电泳直流电源,电泳电源的正负极与所述块电极和电泳辅助电极相对应连接。

2.根据权利要求1所述在线抛光微细工具的装置,其特征在于,所述微细电加工机床为微细电火花加工机床、微细超声加工机床或微细电化学加工机床。

3.根据权利要求1所述在线抛光微细工具的装置,其特征在于,所述超微磨粒的直径小于1μm。

4.根据权利要求1所述在线抛光微细工具的装置,其特征在于,所述工作液槽为长方体。

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