技术总结
本发明公开了一种高温超导薄膜制备方法，包括：制备含有Y、Ba和Cu的三种超导靶材，并分别固定在可旋转的三靶靶台上；将金属氧化物衬底固定在可加热的工件台上；先用机械泵粗抽真空，然后用分子泵精抽真空，使真空仓的真空度达到并始终保持在6.7×10‑5Pa；将Kr+等离子体经引出、成束、加速、中和形成高能高速Kr+离子束，同时通过步进电机驱动所述靶台以周期性地转换所述三种超导靶材，使得所述Kr+离子束对所述三种超导靶材分别轰击不同时长，由所述三种超导靶材溅射出来的原子向固定在所述工件台上金属氧化物衬底依次沉积形成不同厚度的多层金属氧化物薄膜；将形成的多层金属氧化物薄膜进行热处理，使得层间热扩散及氧化，形成最终的高温超导薄膜。
技术研发人员：刁克明
受保护的技术使用者：北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司
文档号码：201610794426
技术研发日：2016.08.31
技术公布日：2017.01.04