一种金刚石粉体表面镀钨的方法与流程

文档序号:12099366阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种金刚石粉体表面镀钨的方法,其特征在于,采用的是化学气相沉积法,化学气相沉积前对金刚石粉体进行预处理,具体工艺过程依次为:丙酮超声清洗除有机物→在NaOH溶液中超声清洗除油→在HNO3中超声清洗粗化→烘干,每一步之后,都用去离子水冲洗至中性,烘干;

将烘干的金刚石颗粒均匀的平铺于加热平台上,然后将平台固定于加热炉中,在通氢气气氛下将温度加热到550℃~700℃后保温10~60min,然后再通入WF6,反应沉积一段时间,沉积过程中保持平台震动,然后关闭WF6,再保温10~60min,然后自然冷却至室温,最后关闭H2通入。

2.按照权利要求1的一种金刚石粉体表面镀钨的方法,其特征在于,通入反应气体配比为H2:WF6=1L:1~3g。

3.按照权利要求1的一种金刚石粉体表面镀钨的方法,其特征在于,在10g/L的NaOH溶液中超声清洗除油。

4.按照权利要求1的一种金刚石粉体表面镀钨的方法,其特征在于,在质量百分含量10%的HNO3中超声清洗粗化。

5.按照权利要求1的一种金刚石粉体表面镀钨的方法,其特征在于,采用的设备:加热平台为T型平台,加热炉上端侧面设有气体进口,下端侧面设有气体出口,加热炉下端内底面还设有凹槽,T型平台可置于加热炉内,T型平台的底端可以固定在凹槽内。

6.按照权利要求5的一种金刚石粉体表面镀钨的方法,其特征在于,T型平台采用加热棒制备而成,能够进行加热,进一步T型平台外表面还设有一层导热膜。

7.按照权利要求1-6任一项方法制备得到的表面镀钨的金刚石粉体。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1