一种磁控蒸发多功能卷绕镀膜机的制作方法

文档序号:12251492阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种磁控蒸发多功能卷绕镀膜机,其特征在于:包括真空腔室(2),在所述真空腔室(2)的两端设置用于维持所述真空腔室(2)内高真空环境的真空抽气系统(1),在所述真空腔室(2)的底部通过法兰与蒸发组件(3)连接,在所述真空腔室(2)的内部还设置带有柔性卷绕基材的卷绕镀膜工作系统;

所述蒸发组件(3)采用感应式蒸发、电阻式蒸发或电子束蒸发中的任意一种,以实现待镀材料向上蒸发后以气态沉积至真空腔室(2)内的柔性卷绕基材的表面;

所述卷绕工作系统包括第一收放辊(6)及第二收放辊(7),所述第一收放辊(6)及第二收放辊(7)自上而下均通过需要镀膜的同一组柔性卷绕基材顺序连接第一导向辊(801)、张力辊(9)、第二导向辊(802)、第三导向辊(13)后与镀膜辊(11)连接;沿所述镀膜辊(11)的外周,在所述真空腔室(2)内还设置多个平面靶(10)。

2.如权利要求1所述的一种磁控蒸发多功能卷绕镀膜机,其特征在于:所述真空抽气系统(1)由粗抽泵、增压泵、精抽泵、维持泵、阀门及多根管道连接组成;所述粗抽泵采用旋片泵或滑阀泵中的任意一种;所述增压泵为罗茨泵;所述精抽泵采用扩散泵或分子泵中的任意一种;所述维持泵采用旋片泵。

3.如权利要求1所述的一种磁控蒸发多功能卷绕镀膜机,其特征在于:在所述真空腔室(2)的两侧分别活动连接第一真空腔室门(4)及第二真空腔室门(5),所述第一真空腔室门(4)及第二真空腔室门(5)在闭合时使所述真空腔室(2)密闭。

4.如权利要求1所述的一种磁控蒸发多功能卷绕镀膜机,其特征在于:于所述真空腔室(2)内,沿所述镀膜辊(11)的外周还设置用于防止感应蒸发部分污染真空腔室(2)的固定水冷挡板(12)。

5.如权利要求1所述的一种磁控蒸发多功能卷绕镀膜机,其特征在于:所述平面靶(10)通过支撑板固定于所述真空腔室(2)的内壁。

6.如权利要求1所述的一种磁控蒸发多功能卷绕镀膜机,其特征在于:于所述镀膜辊(11)的下部、在所述蒸发组件(3)上部还设置移动式水冷挡板(14),所述移动式水冷挡板(14)由外部电机及齿轮传动机构控制启闭,在所述移动式水冷挡板(14)开启时,由所述蒸发组件(3)向真空腔室(2)内的柔性卷绕基材表面进行蒸发镀膜。

7.如权利要求1所述的一种磁控蒸发多功能卷绕镀膜机,其特征在于:所述镀膜辊(11)为液体冷却结构,于所述镀膜辊(11)的外部连接制冷机,所述制冷机使镀膜辊温度控制在-15℃至室温范围内。

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