技术总结
本发明涉及一种磁控蒸发多功能卷绕镀膜机，包括真空腔室，在所述真空腔室的两端设置用于维持所述真空腔室内高真空环境的真空抽气系统，在所述真空腔室的底部通过法兰与蒸发组件连接，在所述真空腔室的内部还设置带有柔性卷绕基材的卷绕镀膜工作系统；利用本发明中的平面靶可以单独进行磁控镀膜、利用本发明中的蒸发组件可以单独进行蒸发镀膜，同时本发明也可以同时进行磁控镀膜及蒸发镀膜，由此避免以往为了实现不同镀膜方法而更换镀膜机器，导致未镀膜完成的膜层暴露在空气中造成的影响涂层结合力及成份的问题。
技术研发人员：陈自新;郑立冬;朱海锋;李伟
受保护的技术使用者：无锡光润真空科技有限公司
文档号码：201610956595
技术研发日：2016.10.27
技术公布日：2017.02.22