技术总结
本发明属于靶材制备加工技术领域，具体涉及一种高纯金属溅射靶材的表面处理方法。靶材经表面精密机加工、表面研磨、表面清洗后，采用连续波激光热处理法、扫描电子束法或非相干宽带频光源法对靶材表面快速热处理，通过快速热处理的肌肤效应，使靶材表面硬化层发生再结晶，消除硬化层中的应力和位错，得到与基体基本一致的再结晶组织。该方法工艺简单、速度快、通用性高、适用于不同尺寸靶材、制备过程中材料无污染、材料损耗小，且该法绿色环保。
技术研发人员：罗俊锋;徐国进;丁照崇;李勇军;崔佳;熊晓东;万小勇;陈明
受保护的技术使用者：有研亿金新材料有限公司
文档号码：201611102780
技术研发日：2016.12.05
技术公布日：2017.05.31