一种喷嘴挡板及蒸镀装置的制作方法

文档序号:11146993阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种喷嘴挡板,其特征在于,包括:

板状本体,具有多个开口;

对应板状本体的每个开口设置的导流板,所述导流板与板状本体连接,用于将蒸镀材料的蒸气分子导至喷嘴的蒸镀范围之外。

2.如权利要求1所述的喷嘴挡板,其特征在于,所述多个开口并列排布,与所述多个开口分别对应的导流板包括第一部分导流板和第二部分导流板,所述第一部分导流板和第二部分导流板相对喷嘴中心呈对称设置。

3.如权利要求1所述的喷嘴挡板,其特征在于,板状本体的每个开口对应喷嘴的嘴口设置。

4.如权利要求1所述的喷嘴挡板,其特征在于,所述导流板为直板形导流板。

5.如权利要求1所述的喷嘴挡板,其特征在于,所述导流板的末端具有水平导流檐。

6.如权利要求1所述的喷嘴挡板,其特征在于,所述导流板与所述板状本体为一体结构,或者所述导流板与所述板状本体可拆卸连接。

7.如权利要求1所述的喷嘴挡板,其特征在于,所述开口为斜开口,所述斜开口的倾斜方向平行于导流板。

8.如权利要求1~7任一项所述的喷嘴挡板,其特征在于,所述板状本体的周边具有朝向喷嘴设置的凸沿。

9.如权利要求1~7任一项所述的喷嘴挡板,其特征在于,所述喷嘴挡板为金属喷嘴挡板。

10.一种蒸镀装置,其特征在于,包括如权利要求1~9任一项所述的喷嘴挡板。

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