用于光学元件研磨抛光的工装的制作方法

文档序号:12385603阅读:来源:国知局

技术特征:

1.用于光学元件研磨抛光的工装,包括:两用接头、基板、垫板、挡板、侧面垫片;其中,所述两用接头中心设有螺纹盲孔,螺纹盲孔底部中心设有半球形凹孔;所述两用接头外侧设有沉头孔,用于连接所述基板,使所述两用接头固定在所述基板中心;所述基板边缘设有缺口,所述基板边缘设有螺纹孔,用于连接所述挡板;所述垫板通过环氧树脂粘结在所述基板上;所述挡板中部设有螺纹孔,带有蝶形螺丝;所述侧面垫片为方形橡胶片。

2.根据权利要求1所述的用于光学元件研磨抛光的工装,其特征在于:所述两用接头的材料为45#钢,其表面电镀处理,其中心设有的螺纹盲孔是用于连接研磨抛光机主轴,螺纹盲孔底部中心设有的半球形凹孔是用于连接研磨抛光机顶针。

3.根据权利要求1所述的用于光学元件研磨抛光的工装,其特征在于:所述基板的材料为6061#铝,其外部形状为正方形、长方形、圆形中的任一种,所述基板边缘设有缺口,所述缺口有4个,所述缺口让出空间用于测量工件平行度和去除量。

4.根据权利要求1所述的用于光学元件研磨抛光的工装,其特征在于:所述垫板的材料为聚氨酯抛光垫,所述垫板通过环氧树脂粘结在所述基板上后整平,其平面度达到-1微米至-3微米。

5.根据权利要求1所述的用于光学元件研磨抛光的工装,其特征在于:所述挡板有4个,其材料为6061#铝,分布于所述基板边缘;每一个所述挡板配有一个所述侧面垫片。

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