技术总结
本实用新型涉及一种全自动管式PECVD石墨舟工艺点安装装置，包括工艺点上料装置、石墨舟输送装置和工艺点压装装置，工艺点上料装置为所述石墨舟输送装置提供工艺点，工艺点压装装置设置在石墨舟输送装置的正上方。本实用新型使用工艺点上料装置进行工艺点的排布与输送，将排布好的工艺点输送到石墨舟输送装置中的石墨舟上，再使用工艺点压装装置将工艺点压装入石墨舟内，全部工序均通过机器自动完成，节省了人力，提高了安装效率，提高了劳动生产率。
技术研发人员：邹海军;吴佳俊;吴俊;王少华
受保护的技术使用者：常州亿晶光电科技有限公司
文档号码：201620652548
技术研发日：2016.06.27
技术公布日：2017.01.04