技术总结
本实用新型提供一种用于太阳能电池抛光工艺的滚轮包括：转轴，围绕所述转轴的滚轮本体，所述滚轮本体表面均布多个沿所述滚轮本体轴线方向延伸的条状凸起结构，且所述滚轮本体的轴截面为具有多个凸齿的齿轮状；所述滚轮本体的外表面设置有至少两个环形凹槽，所述环形凹槽内设置有环形垫圈，相邻的两个环形垫圈之间的距离小于硅片的最大径向长度。本实用新型提供的用于太阳能电池抛光工艺的滚轮可用于解决现有技术中的滚轮结构会增大蚀刻槽内硅片表面水的溢出量，并且对背面微结构有轻微损伤的问题。
技术研发人员：周守亮;童锐;张小刚;王柏钧;杨大谊
受保护的技术使用者：太极能源科技（昆山）有限公司
文档号码：201620665892
技术研发日：2016.06.29
技术公布日：2017.01.25