技术总结
本实用新型涉及光学薄膜技术领域，尤其是一种堆栈式溅射镀膜装置，其特征在于：所述真空镀膜室的一侧设置有搬送室，所述搬送室的内腔与所述真空镀膜室的内腔相连通，两者内腔之间的连通处为搬送口，所述进、出片室分别与所述搬送室相连接，所述搬送室的内腔与所述进、出片室的内腔相连通，所述搬送室与所述进、出片室内腔之间的连通处分别为进片口和出片口，通过搬送室与进、出片室的配合，实现所述基片的装卸。本实用新型的优点是：提高了基片搬运效率；有利于在真空镀膜室中设置多个溅射源，提升了镀膜效率；结构紧凑、占地面积小、运营成本低。
技术研发人员：戴秀海;范滨;余海春;王德智;余龙
受保护的技术使用者：光驰科技（上海）有限公司
文档号码：201620673701
技术研发日：2016.06.30
技术公布日：2016.12.07