1.一种铝溅镀靶材，其特征在于：包含0.005原子％～0.04原子％的Ni、及0.005原子％～0.06原子％的La，且剩余部分为A1及不可避免的杂质。
2.根据权利要求1所述的铝溅镀靶材，其特征在于：维氏硬度为25以上。
3.根据权利要求1或2所述的铝溅镀靶材，其特征在于：包含0.01原子％～0.03原子％的Ni、及0.03原子％～0.05原子％的La。