本发明涉及一种再生处理方法，尤其涉及一种真空设备工艺腔室壁板再生处理方法。
背景技术：
目前国内TFT行业蓬勃发展，太阳能类产品也如日中天，但是给这些行业提供相应配套的电子零部件翻修服务的企业很少，尤其是国内的本土行业更是少之又少，TFT行业和太阳能类行业一直面对国外厂商的竞争，尤其是价格的竞争，所以各厂商急需寻找服务能力强而价格上又能有竞争力的供应商，目前少有的几家供应商都是日资、韩资、台资企业，而本土的公司基本没有，在此背景下，我公司决定研发真空设备工艺腔壁板、电机板等电子部件的表面清洗和阳极氧化等表面处理翻修工作。
技术实现要素：
本发明的目的是提供一种真空设备工艺腔室壁板再生处理方法，对真空设备工艺腔室壁板进行翻修再生。
为实现上述目的，本发明采用下述技术方案：
一种真空设备工艺腔室壁板再生处理方法，包括以下步骤：
1.产品受入，侧框架拆除；
2.抛光清洗前处理，人工用手持抛光机去除零部件表面的污渍，抛光过程中喷淋纯水，无粉尘产生；
3.聚氨酯贴膜，用聚氨酯贴膜贴在工件上，将不需要氧化的地方遮蔽；
4.脱脂，5%氢氧化钠的稀溶液加热，工件浸泡，浸泡2min~3min，去除表面油脂；
5.水洗，常温纯水浸洗，水洗1min，清洗表面的脱脂残留液体；
6.碱洗，10%氢氧化钠溶液，加热到50℃,工件浸泡，浸泡1min~2min，去除表面的氧化层；
7.水洗，常温纯水浸洗，水洗时间1min，清洗表面的氢氧化钠残留液体；
8.酸洗，10%硝酸稀溶液加热到50℃，工件浸泡，浸泡2min~3min，去除碱洗槽中产生的生成物；
9.水洗，常温纯水浸洗，水洗时间1min，清洗表面的硝酸残留液体；
10.化学抛光，化抛槽内加入8%的化抛液，加热到50℃，工件浸泡，浸泡1min~2min，以降低表面粗糙度；
11.水洗，常温纯水浸洗，水洗时间1min，清洗表面的化抛液残留液体；
12.钝化，50%的浓硝酸液，加热到50℃，工件浸泡，浸泡2min~3min，使工件表面产生钝化层，更容易成膜；
13.水洗1，常温纯水浸洗，水洗时间1min，清洗表面残留的硝酸溶液；
14.水洗2，常温超纯水浸洗，水洗时间1min，进一步清洗工件表面残留的硝酸溶液；
15.阳极氧化，工件通电，表面长出一层氧化铝膜；
16.水洗1，常温超纯水浸洗，水洗时间1min，清洗表面残留的硫酸溶液；
17.水洗2，50℃超纯水浸洗，水洗时间1min，同时对工件进行预热；
18.封孔，采用100℃带的超纯水沸水进行封孔；
19.水洗，50℃超纯水浸洗，水洗时间1min，对工件进行降温；
20.抛磨清洗，人工用手持抛光机，对工件表面进行打磨，降低粗糙度，抛磨过程喷淋纯水，无粉尘产生；
21.超音波清洗，纯水常温，对抛磨不到的地方进行超音波震荡清洗；
22.吹干，干燥压缩空气，吹干工件表面的水渍；
23.烘烤，工件放在烤箱内，80℃，烘烤1小时；
24.包装，工件在无尘室内，双层抽真空PE材料包装。
优选地，所述阳极氧化过程中，电流密度2~2.5安培/ 平方分米，处理10 分钟。
优选地，所述阳极氧化过程中，电解液含有硫酸100~200 克/ 升，草酸1~3 克/ 升，羟基乙酸1~5 克/ 升，甘油10~20 克/ 升，电解液温度15~20℃。
优选地，所述化学抛光液成分为氢氧化钠、硝酸钠、亚硝酸钠和水。
本发明与现有技术相比，具有以下有益效果：
本发明再生维修的壁板耐候性强，客户在使用过程中没有出现起皮现象，得到了市场的广泛认可。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本发明做进一步补充，但不以任何方式限制本发明。
一种真空设备工艺腔室壁板再生处理方法，包括以下步骤：
25.产品受入，侧框架拆除；
26.抛光清洗前处理，人工用手持抛光机去除零部件表面的污渍，抛光过程中喷淋纯水，无粉尘产生；
27.聚氨酯贴膜，用聚氨酯贴膜贴在工件上，将不需要氧化的地方遮蔽；
28.脱脂，5%氢氧化钠的稀溶液加热，工件浸泡，浸泡2min~3min，去除表面油脂；
29.水洗，常温纯水浸洗，水洗1min，清洗表面的脱脂残留液体；
30.碱洗，10%氢氧化钠溶液，加热到50℃,工件浸泡，浸泡1min~2min，去除表面的氧化层；
31.水洗，常温纯水浸洗，水洗时间1min，清洗表面的氢氧化钠残留液体；
32.酸洗，10%硝酸稀溶液加热到50℃，工件浸泡，浸泡2min~3min，去除碱洗槽中产生的生成物；
33.水洗，常温纯水浸洗，水洗时间1min，清洗表面的硝酸残留液体；
34.化学抛光，化抛槽内加入8%的化抛液，加热到50℃，工件浸泡，浸泡1min~2min，以降低表面粗糙度；
35.水洗，常温纯水浸洗，水洗时间1min，清洗表面的化抛液残留液体；
36.钝化，50%的浓硝酸液，加热到50℃，工件浸泡，浸泡2min~3min，使工件表面产生钝化层，更容易成膜；
37.水洗1，常温纯水浸洗，水洗时间1min，清洗表面残留的硝酸溶液；
38.水洗2，常温超纯水浸洗，水洗时间1min，进一步清洗工件表面残留的硝酸溶液；
39.阳极氧化，工件通电，表面长出一层氧化铝膜；
40.水洗1，常温超纯水浸洗，水洗时间1min，清洗表面残留的硫酸溶液；
41.水洗1，50℃超纯水浸洗，水洗时间1min，同时对工件进行预热；
42.封孔，采用100℃带的超纯水沸水进行封孔；
43.水洗，50℃超纯水浸洗，水洗时间1min，对工件进行降温；
44.抛磨清洗，人工用手持抛光机，对工件表面进行打磨，降低粗糙度，抛磨过程喷淋纯水，无粉尘产生；
45.超音波清洗，纯水常温，对抛磨不到的地方进行超音波震荡清洗；
46.吹干，干燥压缩空气，吹干工件表面的水渍；
47.烘烤，工件放在烤箱内，80℃，烘烤1小时；
48.包装，工件在无尘室内，双层抽真空PE材料包装。
所述阳极氧化过程中，电流密度2~2.5安培/ 平方分米，处理10 分钟。
所述阳极氧化过程中，电解液含有硫酸100~200 克/ 升，草酸1~3 克/ 升，羟基乙酸1~5 克/ 升，甘油10~20 克/ 升，电解液温度15~20℃。
所述化学抛光液成分为氢氧化钠、硝酸钠、亚硝酸钠和水。
本发明与现有技术相比，具有以下有益效果：
本发明再生的壁板耐候性强，客户在使用过程中没有出现起皮现象，得到了市场的广泛认可。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。