1.一种真空设备工艺腔室壁板再生处理方法，其特征在于：包括以下步骤：
（1）产品受入，侧框架拆除；
（2）抛光清洗前处理，人工用手持抛光机去除零部件表面的污渍，抛光过程中喷淋纯水，无粉尘产生；
（3）聚氨酯贴膜，用聚氨酯贴膜贴在工件上，将不需要氧化的地方遮蔽；
（4）脱脂，5%氢氧化钠的稀溶液加热，工件浸泡，浸泡2min~3min，去除表面油脂；
（5）水洗，常温纯水浸洗，水洗1min，清洗表面的脱脂残留液体；
（6）碱洗，10%氢氧化钠溶液，加热到50℃,工件浸泡，浸泡1min~2min，去除表面的氧化层；
（7）水洗，常温纯水浸洗，水洗时间1min，清洗表面的氢氧化钠残留液体；
（8）酸洗，10%硝酸稀溶液加热到50℃，工件浸泡，浸泡2min~3min，去除碱洗槽中产生的生成物；
（9）水洗，常温纯水浸洗，水洗时间1min，清洗表面的硝酸残留液体；
（10）化学抛光，化抛槽内加入8%的化抛液，加热到50℃，工件浸泡，浸泡1min~2min，以降低表面粗糙度；
（11）水洗，常温纯水浸洗，水洗时间1min，清洗表面的化抛液残留液体；
（12）钝化，50%的浓硝酸液，加热到50℃，工件浸泡，浸泡2min~3min，使工件表面产生钝化层，更容易成膜；
（13）水洗1，常温纯水浸洗，水洗时间1min，清洗表面残留的硝酸溶液；
（14）水洗2，常温超纯水浸洗，水洗时间1min，进一步清洗工件表面残留的硝酸溶液；
（15）阳极氧化，工件通电，表面长出一层氧化铝膜；
（16）水洗1，常温超纯水浸洗，水洗时间1min，清洗表面残留的硫酸溶液；
（17）水洗2，50℃超纯水浸洗，水洗时间1min，同时对工件进行预热；
（18）封孔，采用100℃带的超纯水沸水进行封孔；
（19）水洗，50℃超纯水浸洗，水洗时间1min，对工件进行降温；
（20）抛磨清洗，人工用手持抛光机，对工件表面进行打磨，降低粗糙度，抛磨过程喷淋纯水，无粉尘产生；
（21）超音波清洗，纯水常温，对抛磨不到的地方进行超音波震荡清洗；
（22）吹干，干燥压缩空气，吹干工件表面的水渍；
（23）烘烤，工件放在烤箱内，80℃，烘烤1小时；
（24）包装，工件在无尘室内，双层抽真空PE材料包装。
2.根据权利要求1所述的真空设备工艺腔室壁板再生处理方法，其特征在于，所述阳极氧化过程中，电流密度2~2.5安培/ 平方分米，处理10 分钟。
3.根据权利要求1所述的真空设备工艺腔室壁板再生处理方法，其特征在于，所述阳极氧化过程中，电解液含有硫酸100~200 克/ 升，草酸1~3 克/ 升，羟基乙酸1~5 克/ 升，甘油10~20 克/ 升，电解液温度15~20℃。
4.根据权利要求1所述的真空设备工艺腔室壁板再生处理方法，其特征在于，所述化学抛光液成分为氢氧化钠、硝酸钠、亚硝酸钠和水。