技术特征：
技术总结
本发明涉及用于原子层沉积系统的石英晶体微天平组件，其包括原子层沉积系统的反应室的盖体。QCM晶体设置在形成于盖体中的中央腔的底部中。QCM晶体的前表面的中央部裸露于反应室的内部中。固定器设置于中央腔中且位于QCM晶体上方，固定器把QCM晶体压靠于盖体中的台肩上，以在QCM晶体的前表面与台肩之间形成密封，同时也建立与QCM晶体的电接触。法兰紧邻于盖体的顶表面且密封中央腔，同时也通过固定器提供与QCM晶体的电接触。传感器位于反应室外，其通过法兰内的连接器与QCM晶体电接触并驱动QCM晶体。
技术研发人员：L·莱克蒂尔;M·鲁弗
受保护的技术使用者：超科技公司
技术研发日：2017.03.08
技术公布日：2017.09.15