技术特征:
技术总结
本发明公开了一种电极杆的电极输入锁紧装置,主要由电极夹紧板(1),设置在电极夹紧板(1)下方的压头(15),以及设置在压头(15)上的气缸(12)组成;所述压头(15)连接在气缸(12)的伸缩杆(13)上。本发明设置的压头在气缸的伸缩杆的带动下能将电极杆的电极输入盘牢牢的压在电极夹紧板上,使电极杆传输的电极更稳定,从而本发明确保了电极杆为阻蒸台提供一个稳定的电极,有效的提高了阻蒸镀膜机对靶材的蒸发速度,极大的提高了阻蒸镀膜机的工作效率。
技术研发人员:孙力;向勇;曹德
受保护的技术使用者:成都西沃克真空科技有限公司
技术研发日:2017.05.11
技术公布日:2017.07.28